一种密闭非透明腔室内工件的监控方法、装置和镀膜设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种密闭非透明腔室内工件的监控方法，用于装载工件的载板能在密闭非透明腔室内运行，包括以下步骤：检测进入密闭非透明腔室的载板上是否放置有工件；对载板进行初次识别，并获得初次识别信息；依据初次识别信息生成工艺设备的工艺运行信息；向针对于密闭非透明腔室内的工件执行操作的工艺设备发送的工艺运行信息，工艺运行信息包括运行信息和不运行信息；对载板上放置有工件的位置执行运行信息，对载板上无工件的位置执行不运行信息；载板持续运行和监控，直至载板输出密闭非透明腔室。本发明专利技术通过监控方法对工件的状态进行监控，能够实时了解及掌握工件的工艺状态，避免密闭非透明腔室内载板上无工件的位置仍然进行非必要的操作。然进行非必要的操作。然进行非必要的操作。

【技术实现步骤摘要】
一种密闭非透明腔室内工件的监控方法、装置和镀膜设备


[0001]本专利技术属于太阳能电池制造领域，涉及生产制造过程中监控技术，具体为一种密闭非透明腔室内工件的监控方法、装置和镀膜设备。

技术介绍

[0002]在生产制造过程，需要对各个工序的产品状态进行监控，以便于实时了解、掌握产品的生产状态，及时发现制造过程中的异常现象并及时采取相应的措施，确保生产顺利的进行。目前，很多产品的各个生产工序的监控大多通过人工进行的，但是，对于密闭非透明的装置内产品状态的监控是无法通过人工实现的。例如，太阳能电池生产过程中，在PVD(Physical Vapor Deposition)镀膜工序中，由于PVD镀膜设备是真空密封且非透明的，因此，通过人工是无法监测并了解PVD镀膜设备的内部情况，从而产生以下弊端：
[0003]1.目前在PVD设备中只能监控载板在PVD设备中的状态，不能获得硅片状态(如载板区域分块排序、载板上的硅片分布、载板装载率等)；
[0004]2.载板上是否有硅片无法获得信息，所以无硅片的载板继续正常工艺，导致不能有效的控制靶材的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种密闭非透明腔室内工件的监控方法，用于装载工件的载板能在密闭非透明腔室内运行，其特征在于：包括以下步骤：检测进入所述密闭非透明腔室的所述载板上是否放置有所述工件；对所述载板进行初次识别，并获得初次识别信息；依据所述初次识别信息生成工艺设备的工艺运行信息；向针对于所述密闭非透明腔室内的所述工件执行操作的工艺设备发送的所述工艺运行信息，所述工艺运行信息包括运行信息和不运行信息；对所述载板上放置有所述工件的位置执行运行信息，对所述载板上无所述工件的位置执行不运行信息；所述载板持续运行和监控，直至所述载板输出所述密闭非透明腔室。2.根据权利要求1所述的密闭非透明腔室内工件的监控方法，其特征在于：所述初次识别信息包括所述载板上是否有所述工件、所述工件在所述载板上的位置、所述载板上所述工件的总数量、所述载板上所述工件装载率。3.根据权利要求2所述的密闭非透明腔室内工件的监控方法，其特征在于：所述初次识别信息经所述载板上有无工件的颜色差异获取。4.根据权利要求1至3任一项所述的密闭非透明腔室内工件的监控方法，其特征在于：监控方法还包括以下步骤：对所述载板进行第二次识别，获取第二次识别信息；将所述第二次识别信息与所述初次识别信息进行对比：若对比结果相同，则判断工艺完成；若对比结果不相同，则判断工艺有误，并发送报警信号。5.根据权利要求4所述的密闭非透明腔室内工件的监控方法，其特征在于：所述第二次识别信息包括所述载板上是否有所述工件、所述工件在所述载板上的位置、所述载板上所述工件的总数量、所述载板上所述工件装载率中的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业有限合伙，
类型：发明
国别省市：