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本发明提供一种密闭非透明腔室内工件的监控方法，用于装载工件的载板能在密闭非透明腔室内运行，包括以下步骤：检测进入密闭非透明腔室的载板上是否放置有工件；对载板进行初次识别，并获得初次识别信息；依据初次识别信息生成工艺设备的工艺运行信息；向针对...该专利属于宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙）所有，仅供学习研究参考，未经过宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙）授权不得商用。