一种具有预热机构的燃气罩式退火炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有预热机构的燃气罩式退火炉，包括炉台和炉体，每个所述出气杆的另一端均设置有尾气收集箱，所述尾气收集箱设置在所述炉台的上端面，所述炉体内部设置有预热管，所述预热管的一端延伸至所述炉体的外侧形成进气口，所述进气口设置有导气杆，所述导气杆远离所述进气口的一端设置有热风机。本实用新型专利技术中炉体内部设置螺旋形的预热管，预热管的侧面开设有通气孔，炉体在急剧升温之前为了防止炉体内部的零件因为温度骤变导致结构变化，可以先用热风机通过导气杆向预热管内输入热气流对零件进行预热，炉体内产生的尾气可以通过出气杆输入到尾气收集箱内，防止有害气体流入空气中。气体流入空气中。气体流入空气中。

【技术实现步骤摘要】
一种具有预热机构的燃气罩式退火炉


[0001]本技术涉及退火炉
，尤其涉及一种具有预热机构的燃气罩式退火炉。

技术介绍

[0002]退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。燃气罩式退火炉是其中的一种，现有的退火炉内没有预热机构，导致零件在炉体内急剧升温，导致机构可能发生改变，导致废品率较高。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于：为了解决上述问题，而提出的一种具有预热机构的燃气罩式退火炉。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0005]一种具有预热机构的燃气罩式退火炉，包括炉台和炉体，所述炉体的顶部外侧均匀分布有至少三个出气杆，所述出气杆的一端延伸入所述炉体，每个所述出气杆的另一端均设置有尾气收集箱，所述尾气收集箱本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有预热机构的燃气罩式退火炉，包括炉台（1）和炉体（2），其特征在于，所述炉体（2）的顶部外侧均匀分布有至少三个出气杆（3），所述出气杆（3）的一端延伸入所述炉体（2），每个所述出气杆（3）的另一端均设置有尾气收集箱（4），所述尾气收集箱（4）设置在所述炉台（1）的上端面，所述炉体（2）内部设置有预热管（7），所述预热管（7）的一端延伸至所述炉体（2）的外侧形成进气口（12），所述进气口（12）设置有导气杆（5），所述导气杆（5）远离所述进气口（12）的一端设置有热风机（6）。2.根据权利要求1所述的一种具有预热机构的燃气罩式退火炉，其特征在于，所述预热管（7）为螺旋形，所述预热管（7）的每一圈均通过固定夹（8...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵阳，
申请(专利权)人：江苏润阳工业炉有限公司，
类型：新型
国别省市：