一种具有预热机构的燃气罩式退火炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有预热机构的燃气罩式退火炉，包括炉台和炉体，每个所述出气杆的另一端均设置有尾气收集箱，所述尾气收集箱设置在所述炉台的上端面，所述炉体内部设置有预热管，所述预热管的一端延伸至所述炉体的外侧形成进气口，所述进气口设置有导气杆，所述导气杆远离所述进气口的一端设置有热风机。本实用新型专利技术中炉体内部设置螺旋形的预热管，预热管的侧面开设有通气孔，炉体在急剧升温之前为了防止炉体内部的零件因为温度骤变导致结构变化，可以先用热风机通过导气杆向预热管内输入热气流对零件进行预热，炉体内产生的尾气可以通过出气杆输入到尾气收集箱内，防止有害气体流入空气中。气体流入空气中。气体流入空气中。

【技术实现步骤摘要】
一种具有预热机构的燃气罩式退火炉


[0001]本技术涉及退火炉
，尤其涉及一种具有预热机构的燃气罩式退火炉。

技术介绍

[0002]退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。燃气罩式退火炉是其中的一种，现有的退火炉内没有预热机构，导致零件在炉体内急剧升温，导致机构可能发生改变，导致废品率较高。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于：为了解决上述问题，而提出的一种具有预热机构的燃气罩式退火炉。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0005]一种具有预热机构的燃气罩式退火炉，包括炉台和炉体，所述炉体的顶部外侧均匀分布有至少三个出气杆，所述出气杆的一端延伸入所述炉体，每个所述出气杆的另一端均设置有尾气收集箱，所述尾气收集箱设置在所述炉台的上端面，所述炉体内部设置有预热管，所述预热管的一端延伸至所述炉体的外侧形成进气口，所述进气口设置有导气杆，所述导气杆远离所述进气口的一端设置有热风机。
[0006]作为上述技术方案的进一步描述：
[0007]所述预热管为螺旋形，所述预热管的每一圈均通过固定夹和所述炉体的内壁固定连接。
[0008]作为上述技术方案的进一步描述：
[0009]所述固定夹的外侧通过支撑杆和所述炉体的内壁固定连接，所述固定夹为圆环型，所述固定夹的内部设置有减震机构。
[0010]作为上述技术方案的进一步描述：
[0011]所述减震机构包括套环，所述套环的外侧均匀分布有至少三个弹簧，所述弹簧的一端和所述套环的外侧固定连接，所述弹簧的另一端和所述固定夹）8的内侧固定连接。
[0012]作为上述技术方案的进一步描述：
[0013]所述预热管的侧面开合有通气孔。
[0014]综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术的有益效果是：
[0015]本技术中，设置有炉台、炉体、出气杆、尾气收集箱、导气杆、热风机、预热管、固定夹、支撑杆、弹簧、套环和进气口结构，炉体内部设置螺旋形的预热管，预热管的侧面开设有通气孔，炉体在急剧升温之前为了防止炉体内部的零件因为温度骤变导致结构变化，
可以先用热风机通过导气杆向预热管内输入热气流对零件进行预热，炉体内产生的尾气可以通过出气杆输入到尾气收集箱内，防止有害气体流入空气中。
附图说明
[0016]图1示出了根据本技术实施例提供的第一视角结构示意图；
[0017]图2示出了根据本技术实施例提供的第二视角结构示意图；
[0018]图3示出了根据本技术实施例提供的炉体内部第一视角结构示意图；
[0019]图4示出了根据本技术实施例提供的炉体内部第二视角结构示意图； 图5示出了根据本技术实施例提供的固定夹第一视角结构示意图；
[0020]图6示出了根据本技术实施例提供的固定夹第二视角结构示意图。
[0021]图例说明：
[0022]1、炉台；2、炉体；3、出气杆；4、尾气收集箱；5、导气杆；6、热风机；7、预热管；8、固定夹；9、支撑杆；10、弹簧；11、套环；12、进气口。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]请参阅图1
‑
6，本技术提供一种技术方案：一种具有预热机构的燃气罩式退火炉，包括炉台1和炉体2，炉体2的顶部外侧均匀分布有至少三个出气杆3，出气杆3的一端延伸入炉体2，每个出气杆3的另一端均设置有尾气收集箱4，尾气收集箱4设置在炉台1的上端面，炉体2内部设置有预热管7，预热管7的一端延伸至炉体2的外侧形成进气口12，进气口12设置有导气杆5，导气杆5远离进气口12的一端设置有热风机6，炉体2在急剧升温之前为了防止炉体2内部的零件因为温度骤变导致结构变化，可以先用热风机6通过导气杆5向预热管7内输入热气流对零件进行预热，炉体2内产生的尾气可以通过出气杆3输入到尾气收集箱4内，防止有害气体流入空气中。
[0025]具体的，如图3和图4所示，预热管7为螺旋形，预热管7的每一圈均通过固定夹8和炉体2的内壁固定连接，预热管7的侧面开合有通气孔，预热管7以螺旋的形式围绕在炉体2的内部，通气孔潮着炉体2的内部喷射热气流对零件进行预热。
[0026]具体的，如图5和图6所示，固定夹8的外侧通过支撑杆9和炉体2的内壁固定连接，固定夹8为圆环型，固定夹8的内部设置有减震机构，减震机构的存在是为了防止炉体2内部的零件取出时碰到预热管7使其变形。
[0027]具体的，如图5和图6所示，减震机构包括套环11，套环11的外侧均匀分布有至少三个弹簧10，弹簧10的一端和套环11的外侧固定连接，弹簧10的另一端和固定夹8的内侧固定连接，在预热管7被碰触到时，弹簧10的存在可将预热管7受到的冲击势能转化成弹性势能，减小预热管7受到的损害。
[0028]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本实用
新型的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有预热机构的燃气罩式退火炉，包括炉台（1）和炉体（2），其特征在于，所述炉体（2）的顶部外侧均匀分布有至少三个出气杆（3），所述出气杆（3）的一端延伸入所述炉体（2），每个所述出气杆（3）的另一端均设置有尾气收集箱（4），所述尾气收集箱（4）设置在所述炉台（1）的上端面，所述炉体（2）内部设置有预热管（7），所述预热管（7）的一端延伸至所述炉体（2）的外侧形成进气口（12），所述进气口（12）设置有导气杆（5），所述导气杆（5）远离所述进气口（12）的一端设置有热风机（6）。2.根据权利要求1所述的一种具有预热机构的燃气罩式退火炉，其特征在于，所述预热管（7）为螺旋形，所述预热管（7）的每一圈均通过固定夹（8...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵阳，
申请(专利权)人：江苏润阳工业炉有限公司，
类型：新型
国别省市：