本实用新型专利技术公开了一种高低浓度废液排放装置，包括第一侧壳体、第二侧壳体和中心壳体；所述中心壳体开设有进液口、第一出液口和第二出液口，所述中心壳体的内部具有三通切换结构，所述进液口通过所述三通切换结构与所述第一出液口连通形成低浓度废液排放通道，所述进液口通过所述三通切换结构与所述第二出液口连通形成高浓度废液排放通道；所述第一侧壳体开设有第一进气孔，所述第二侧壳体开设有第二进气孔，所述第一进气孔和所述第二进气孔分别连接进气管道。本实用新型专利技术根据废液浓度的不同，通过空气控制三通切换结构的运行，使废液从不同浓度的排放通道排出，便于对不同浓度的废液进行后续处理。废液进行后续处理。废液进行后续处理。
【技术实现步骤摘要】
高低浓度废液排放装置
[0001]本技术属于废水回收处理
，特别是涉及一种高低浓度废液排放装置。
技术介绍
[0002]在半导体的制备工艺流程中会产生大量的废液，例如在蚀刻工艺中需要对半导体进行酸洗除去表面的杂质、氧化膜等从而会产生大量含酸废液，在化学机械研磨工艺中也同样会产生大量含有研磨液、研磨颗粒以及氨水的废液。
[0003]对不同浓度废液的处理工艺、设备及试剂的用量等会有所不同，若混合处理会增加废液处理成本，因此，有必要将不同浓度的废液分开排放以利于对不同浓度的废液单独处理。
技术实现思路
[0004]本技术主要解决的技术问题是提供一种高低浓度废液排放装置，根据废液浓度的不同，通过空气控制三通切换结构的运行，使废液从不同浓度的排放通道排出，便于对不同浓度的废液进行后续处理。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：一种高低浓度废液排放装置，包括第一侧壳体、第二侧壳体和中心壳体，所述第一侧壳体与所述中心壳体连接，所述第二侧壳体与所述中心壳体连接；
[0006]所述中心壳体开设有进液口、第一出液口和第二出液口，所述中心壳体的内部具有三通切换结构，所述进液口通过所述三通切换结构与所述第一出液口连通形成低浓度废液排放通道，所述进液口通过所述三通切换结构与所述第二出液口连通形成高浓度废液排放通道；
[0007]所述第一侧壳体开设有第一进气孔，所述第二侧壳体开设有第二进气孔，所述第一进气孔和所述第二进气孔分别连接进气管道；
[0008]所述进液口安装有水阻值计。
[0009]本技术为解决其技术问题所采用的进一步技术方案是：
[0010]进一步地说，所述三通切换结构包括第一推杆、第一连接盘、连杆、第二连接盘和第二推杆，所述第一连接盘和所述第二连接盘分别与所述连杆的两端连接，所述第一推杆的一端与所述第一连接盘连接，所述第二推杆的一端与所述第二连接盘连接，所述第一推杆的另一端与所述第一侧壳体套接，所述第二推杆的另一端与所述第二侧壳体套接。
[0011]进一步地说，所述中心壳体的内部形成有限制第一连接盘向第二出液口移动的第一挡圈和限制第二连接盘向第一出液口移动的第二挡圈。
[0012]进一步地说，所述第一侧壳体靠近所述中心壳体的一端形成有限制第一连接盘向第一侧壳体方向移动的第三挡圈；所述第二侧壳体靠近所述中心壳体的一端形成有限制第二连接盘向第二侧壳体方向移动的第四挡圈。
[0013]进一步地说，所述第一侧壳体远离所述中心壳体的一端安装有第一挡块；所述第二侧壳体远离所述中心壳体的一端安装有第二挡块。
[0014]进一步地说，所述第一推杆靠近所述第一进气孔的一端套接有第一密封圈，所述第一进气孔位于所述第一密封圈和所述第一挡块之间；所述第二推杆靠近所述第二进气孔的一端套接有第二密封圈，所述第二进气孔位于所述第二密封圈和所述第二挡块之间。
[0015]进一步地说，所述第一连接盘与所述第一挡圈相对的侧壁开设有第一密封槽，所述第二连接盘与所述第二挡圈相对的侧壁开设有第二密封槽，所述第一密封槽和所述第二密封槽内皆安装有密封圈。
[0016]本技术的有益效果：
[0017]本技术根据水阻值计测定废液中氟离子的浓度，并通过在第一进气孔中通入空气，推动第一推杆向第二出液口方向移动，进而进液口和第二出液口连通使高浓度废液排出；或通过在第二进气孔中通入空气，推动第二推杆向第一出液口方向移动，进而进液口和第一出液口连通使低浓度废液排出。
附图说明
[0018]图1是本技术的整体结构示意图；
[0019]图2是本技术的剖面结构示意图之一；
[0020]图3是本技术的剖面结构示意图之二(无三通切换结构)；
[0021]图4是本技术三通切换结构的结构示意图；
[0022]附图中各部分标记如下：
[0023]第一侧壳体1、第一进气孔11、第三挡圈12、第二侧壳体2、第二进气孔21、第四挡圈22、中心壳体3、进液口31、第一出液口32、第二出液口33、第一挡圈34、第二挡圈35、三通切换结构4、第一推杆41、第一连接盘42、第一密封槽421、连杆43、第二连接盘44、第二密封槽441、第二推杆45、第一挡块5、第二挡块6、第一密封圈7和第二密封圈8。
具体实施方式
[0024]下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0025]实施例：一种高低浓度废液排放装置，如图1
‑
图4所示，包括第一侧壳体1、第二侧壳体2和中心壳体3，所述第一侧壳体与所述中心壳体连接，所述第二侧壳体与所述中心壳体连接；
[0026]所述中心壳体开设有进液口31、第一出液口32和第二出液口33，所述中心壳体的内部具有三通切换结构4，所述进液口通过所述三通切换结构与所述第一出液口连通形成低浓度废液排放通道，所述进液口通过所述三通切换结构与所述第二出液口连通形成高浓度废液排放通道；
[0027]所述第一侧壳体开设有第一进气孔11，所述第二侧壳体开设有第二进气孔21，所述第一进气孔和所述第二进气孔分别连接进气管道；
[0028]所述进液口安装有水阻值计。
[0029]所述三通切换结构包括第一推杆41、第一连接盘42、连杆43、第二连接盘44和第二推杆45，所述第一连接盘和所述第二连接盘分别与所述连杆的两端连接，所述第一推杆的一端与所述第一连接盘连接，所述第二推杆的一端与所述第二连接盘连接，所述第一推杆的另一端与所述第一侧壳体套接，所述第二推杆的另一端与所述第二侧壳体套接。
[0030]所述中心壳体的内部形成有限制第一连接盘向第二出液口移动的第一挡圈34和限制第二连接盘向第一出液口移动的第二挡圈35。
[0031]所述第一侧壳体靠近所述中心壳体的一端形成有限制第一连接盘向第一侧壳体方向移动的第三挡圈12；所述第二侧壳体靠近所述中心壳体的一端形成有限制第二连接盘向第二侧壳体方向移动的第四挡圈22。
[0032]所述第一侧壳体远离所述中心壳体的一端安装有第一挡块5；所述第二侧壳体远离所述中心壳体的一端安装有第二挡块6。
[0033]所述第一推杆靠近所述第一进气孔的一端套接有第一密封圈7，所述第一进气孔位于所述第一密封圈和所述第一挡块之间；所述第二推杆靠近所述第二进气孔的一端套接有第二密封圈8，所述第二进气孔位于所述第二密封圈和所述第二挡块之间。
[0034]所述第一连接盘与所述第一挡圈相对的侧壁开设有第一密封槽421，所述第二连接盘与所述第二挡圈相对的侧壁开设有第二密封槽441，所述第一密封槽和所述第二密封槽内皆安装有密封圈。
[0035]本技术的工作原理如下：
[0036]本技术根据水阻值计测定废液中氟离子的浓度，并通过在第一进气孔中通本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高低浓度废液排放装置，其特征在于：包括第一侧壳体(1)、第二侧壳体(2)和中心壳体(3)，所述第一侧壳体与所述中心壳体连接，所述第二侧壳体与所述中心壳体连接；所述中心壳体开设有进液口(31)、第一出液口(32)和第二出液口(33)，所述中心壳体的内部具有三通切换结构(4)，所述进液口通过所述三通切换结构与所述第一出液口连通形成低浓度废液排放通道，所述进液口通过所述三通切换结构与所述第二出液口连通形成高浓度废液排放通道；所述第一侧壳体开设有第一进气孔(11)，所述第二侧壳体开设有第二进气孔(21)，所述第一进气孔和所述第二进气孔分别连接进气管道；所述进液口安装有水阻值计。2.根据权利要求1所述的高低浓度废液排放装置，其特征在于：所述三通切换结构包括第一推杆(41)、第一连接盘(42)、连杆(43)、第二连接盘(44)和第二推杆(45)，所述第一连接盘和所述第二连接盘分别与所述连杆的两端连接，所述第一推杆的一端与所述第一连接盘连接，所述第二推杆的一端与所述第二连接盘连接，所述第一推杆的另一端与所述第一侧壳体套接，所述第二推杆的另一端与所述第二侧壳体套接。3.根据权利要求2所述的高低浓度废液排放装置，其特征在于：所述中心壳体的内部形成有限...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈铁龙，林智颖，陈坤，张振，孙东初，
申请(专利权)人：苏州睿智源自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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