推拉控制设备和扩散炉系统技术方案

本申请提供的推拉控制设备和扩散炉系统，涉及半导体器件生产技术领域。在本申请中，推拉控制设备用于对扩散炉的推拉舟进行驱动，推拉控制设备包括步进电机、电机驱动器、可编程控制器、第一继电器和终端控制设备。终端控制设备用于根据设定触发信号控制第一继电器输出第一控制信号给可编程控制器，可编程控制器基于第一控制信号输出第一脉冲信号给电机驱动器，电机驱动器基于第一脉冲信号驱动步进电机带动推拉舟运动出扩散腔室。基于上述设置，可以改善现有技术中半导体器件的生产效率较低和产品质量不佳的问题。低和产品质量不佳的问题。低和产品质量不佳的问题。

【技术实现步骤摘要】
推拉控制设备和扩散炉系统


[0001]本申请涉及半导体器件生产
，具体而言，涉及一种推拉控制设备和扩散炉系统。

技术介绍

[0002]扩散工序是半导体器件生产制造过程中的重要工序，对应地，扩散炉属于半导体器件生产制造过程中的重要设备。其中，扩散炉包括推拉舟和扩散腔室，推拉舟用于将半导体器件推送进扩散腔室执行扩散工序，并在扩散工序完成之后将半导体器件推离扩散腔室。
[0003]但是，经专利技术人研究发现，在现有技术中，由于对推拉舟的驱动控制的效果不好，因而，存在半导体器件的生产效率较低和质量不佳的问题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本申请的目的在于提供一种推拉控制设备和扩散炉系统，以改善现有技术中半导体器件的生产效率较低和产品质量不佳的问题。
[0005]为实现上述目的，本申请实施例采用如下技术方案：
[0006]一种推拉控制设备，用于对扩散炉的推拉舟进行驱动，所述推拉控制设备包括：
[0007]步进电机，所述步进电机与所述推拉舟连接；
[0008]电机驱动器，所述电机驱动器与所述步进电机电连接；
[0009]可编程控制器，所述可编程控制器的输出端与所述电机驱动器电连接；
[0010]第一继电器，所述第一继电器的输出端与所述可编程控制器的输入端电连接，以控制输入端的信号是否传输给所述可编程控制器；
[0011]终端控制设备，所述终端控制设备的输出端与所述第一继电器的控制端电连接，所述终端控制设备用于根据设定触发信号控制所述第一继电器输出第一控制信号给所述可编程控制器，所述可编程控制器基于所述第一控制信号输出第一脉冲信号给所述电机驱动器，所述电机驱动器基于所述第一脉冲信号驱动所述步进电机带动所述推拉舟运动出扩散腔室。
[0012]在本申请实施例较佳的选择中，在上述推拉控制设备中，所述推拉控制设备还包括：
[0013]第一限位开关，所述第一限位开关电连接在所述终端控制设备的输出端与所述第一继电器的控制端之间；
[0014]其中，当所述电机驱动器基于所述第一脉冲信号驱动所述步进电机带动所述推拉舟运动至第一目标位置时，触发所述第一限位开关断开，以使所述第一继电器停止输出所述第一控制信号给所述可编程控制器，所述可编程控制器停止输出所述第一脉冲信号给所述电机驱动器，所述电机驱动器停止驱动所述步进电机带动所述推拉舟运动，使得所述推拉舟保持在所述第一目标位置。
[0015]在本申请实施例较佳的选择中，在上述推拉控制设备中，所述推拉控制设备还包括：
[0016]第二继电器，所述第二继电器的输出端与所述可编程控制器的输入端电连接，以控制输入端的信号是否传输给所述可编程控制器，且所述第二继电器的控制端与所述终端控制设备的输出端电连接；
[0017]其中，所述终端控制设备还用于根据设定触发信号控制所述第二继电器输出第二控制信号给所述可编程控制器，所述可编程控制器基于所述第二控制信号输出第二脉冲信号给所述电机驱动器，所述电机驱动器基于所述第二脉冲信号驱动所述步进电机带动所述推拉舟运动进所述扩散腔室。
[0018]在本申请实施例较佳的选择中，在上述推拉控制设备中，所述推拉控制设备还包括：
[0019]第二限位开关，所述第二限位开关电连接在所述终端控制设备的输出端与所述第二继电器的控制端之间；
[0020]其中，当所述电机驱动器基于所述第二脉冲信号驱动所述步进电机带动所述推拉舟运动至第二目标位置时，触发所述第二限位开关断开，以使所述第二继电器停止输出所述第二控制信号给所述可编程控制器，所述可编程控制器停止输出所述第二脉冲信号给所述电机驱动器，所述电机驱动器停止驱动所述步进电机带动所述推拉舟运动，使得所述推拉舟保持在所述第二目标位置。
[0021]在本申请实施例较佳的选择中，在上述推拉控制设备中，所述推拉控制设备还包括：
[0022]可编程触摸屏，所述可编程触摸屏与所述可编程控制器电连接，用于响应对应用户的操作生成控制指令，并将所述控制指令传输给所述可编程控制器，所述可编程控制器基于所述控制指令对输出的脉冲信号进行控制。
[0023]在本申请实施例较佳的选择中，在上述推拉控制设备中，所述推拉控制设备还包括：
[0024]总电源开关，所述总电源开关的输入端用于电连接外部供电电源；
[0025]第一开关电源，所述第一开关电源的输入端与所述总电源开关的输出端电连接，用于在所述总电源开关闭合之后基于所述供电电源的供电对所述可编程控制器提供第一电压，并对所述终端控制设备提供第二电压。
[0026]在本申请实施例较佳的选择中，在上述推拉控制设备中，所述推拉控制设备还包括：
[0027]第二开关电源，所述第二开关电源的输入端与所述总电源开关的输出端电连接，用于在所述总电源开关闭合之后基于所述供电电源的供电对所述电机驱动器、所述第一继电器提供第一电压。
[0028]在本申请实施例较佳的选择中，在上述推拉控制设备中，所述推拉控制设备还包括：
[0029]电源空气开关，所述电源空气开关的输入端与所述总电源开关的输出端电连接；
[0030]电源按钮开关，所述电源按钮开关的输入端与所述电源空气开关的输出端电连接，所述电源按钮开关的输出端与所述第二开关电源的输入端电连接，以使所述第二开关
电源的输入端与所述总电源开关的输出端通过所述电源空气开关和所述电源按钮开关电连接。
[0031]在上述基础上，本申请实施例还提供了一种扩散炉系统，包括：
[0032]扩散炉，所述扩散炉包括扩散腔室和推拉舟；
[0033]上述的推拉控制设备，所述推拉控制设备与所述推拉舟连接，用于驱动所述推拉舟相对所述扩散腔室运动。
[0034]在本申请实施例较佳的选择中，在上述扩散炉系统中，所述扩散炉为多个，所述推拉控制设备包括多个步进电机，所述多个步进电机分别用于带动多个所述扩散炉的推拉舟相对对应的所述扩散腔室运动。
[0035]本申请提供的推拉控制设备和扩散炉系统，通过步进电机、电机驱动器、可编程控制器、第一继电器和终端控制设备的配合设置，使得终端控制设备可以根据设定触发信号控制第一继电器输出第一控制信号给可编程控制器，可编程控制器基于第一控制信号输出第一脉冲信号给电机驱动器，电机驱动器基于第一脉冲信号驱动步进电机带动推拉舟运动出扩散腔室。基于此，相较于在扩散工序完成之后需要操作人员手动控制推拉舟运动出扩散炉的常规技术方案，采用本申请提供的技术方案，由于可以基于设定触发信号自动控制推拉舟运动出扩散炉，因而，可以避免未能及时运动出扩散炉而导致对应的半导体器件的产品参数发送异常改变的问题，并避免未能及时出炉而因等待所导致的效率较低的问题，从而改善现有技术中半导体器件的生产效率较低和产品质量不佳的问题。
[0036]为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
[0037本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种推拉控制设备，其特征在于，用于对扩散炉的推拉舟进行驱动，所述推拉控制设备包括：步进电机，所述步进电机与所述推拉舟连接；电机驱动器，所述电机驱动器与所述步进电机电连接；可编程控制器，所述可编程控制器的输出端与所述电机驱动器电连接；第一继电器，所述第一继电器的输出端与所述可编程控制器的输入端电连接，以控制输入端的信号是否传输给所述可编程控制器；终端控制设备，所述终端控制设备的输出端与所述第一继电器的控制端电连接，所述终端控制设备用于根据设定触发信号控制所述第一继电器输出第一控制信号给所述可编程控制器，所述可编程控制器基于所述第一控制信号输出第一脉冲信号给所述电机驱动器，所述电机驱动器基于所述第一脉冲信号驱动所述步进电机带动所述推拉舟运动出扩散腔室。2.根据权利要求1所述的推拉控制设备，其特征在于，所述推拉控制设备还包括：第一限位开关，所述第一限位开关电连接在所述终端控制设备的输出端与所述第一继电器的控制端之间；其中，当所述电机驱动器基于所述第一脉冲信号驱动所述步进电机带动所述推拉舟运动至第一目标位置时，触发所述第一限位开关断开，以使所述第一继电器停止输出所述第一控制信号给所述可编程控制器，所述可编程控制器停止输出所述第一脉冲信号给所述电机驱动器，所述电机驱动器停止驱动所述步进电机带动所述推拉舟运动，使得所述推拉舟保持在所述第一目标位置。3.根据权利要求1所述的推拉控制设备，其特征在于，所述推拉控制设备还包括：第二继电器，所述第二继电器的输出端与所述可编程控制器的输入端电连接，以控制输入端的信号是否传输给所述可编程控制器，且所述第二继电器的控制端与所述终端控制设备的输出端电连接；其中，所述终端控制设备还用于根据设定触发信号控制所述第二继电器输出第二控制信号给所述可编程控制器，所述可编程控制器基于所述第二控制信号输出第二脉冲信号给所述电机驱动器，所述电机驱动器基于所述第二脉冲信号驱动所述步进电机带动所述推拉舟运动进所述扩散腔室。4.根据权利要求3所述的推拉控制设备，其特征在于，所述推拉控制设备还包括：第二限位开关，所述第二限位开关电连接在所述终端控制设备的输出端与所述第二继电器的控制端之间；其中，当所述电机驱动器基于所述第二脉冲信号驱动所述步进电机带动所述推拉舟运动至第二目标位置时，触发所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘大力，
申请(专利权)人：吉林麦吉柯半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：