【技术实现步骤摘要】
分子泵防震装置
本申请涉及分子泵保护设备的
，尤其是涉及分子泵防震装置。
技术介绍
分子泵为真空泵的一种，其利用高速旋转的转子将动量传输给气体分子，使气体分子获得定向速度，压缩气体分子，将气体分子驱向排气口。由于其转子转速较高，因此其使用过程中的稳定性有严格要求。参照图1，为现有一种分子泵1，分子泵1包括排气口11，排气口11表面可拆卸连接有闸板阀2，排气口11穿设有连接螺栓12，连接螺栓12穿过排气口11的一端与闸板阀2螺纹连接，连接螺栓12沿排气口11的周向间隔均匀设置有多个，连接螺栓12与闸板阀2螺纹连接，将分子泵1与闸板阀2连接稳定。上述中的现有技术方案存在以下缺陷：闸板阀开启时，分子泵进行工作可以进行抽真空操作，闸板阀关闭时，分子泵一端封闭，保持分子泵内的真空环境。但闸板阀开启或关闭的过程中有较大震动，导致分子泵也随之震动，影响分子泵的稳定性。
技术实现思路
为了提高在闸板阀作用时分子泵的稳定性，本申请提供分子泵防震装置。本申请提供的分子泵防震装置采用如下的技术方案：<...
【技术保护点】
1.分子泵防震装置，其特征在于：包括防震机构(3)，所述防震机构(3)设置于分子泵(1)与闸板阀(2)之间，所述防震机构(3)与分子泵(1)和闸板阀(2)均可拆卸连接。/n
【技术特征摘要】
1.分子泵防震装置，其特征在于：包括防震机构(3)，所述防震机构(3)设置于分子泵(1)与闸板阀(2)之间，所述防震机构(3)与分子泵(1)和闸板阀(2)均可拆卸连接。
2.根据权利要求1所述的分子泵防震装置，其特征在于：所述防震机构(3)为弹性减震型补偿器，所述防震机构(3)两端均穿设有安装螺栓(31)；
朝向分子泵(1)的所述安装螺栓(31)穿过排气口(11)并螺纹连接有安装螺母(32)；
朝向闸板阀(2)的所述安装螺栓(31)与闸板阀(2)螺纹连接。
3.根据权利要求2所述的分子泵防震装置，其特征在于：所述安装螺栓(31)沿防震机构(3)周向间隔均匀设置有多个。
4.根据权利要求2所述的分子泵防震装置，其特征在于：所述防震机构(3)包括连接头(33)，所述连接头(33)沿防震机构(3)周向间隔均匀设置有多个，所述防震机构(3)可拆卸连接有支撑机构(4)。
5.根据权利要求4所述的分子泵防震装置，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘纯，孟大伟，
申请(专利权)人：北京哲勤科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11
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