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本申请公开了一种分子泵防震装置，包括防震机构，所述防震机构设置于分子泵与闸板阀之间，所述防震机构与分子泵和闸板阀均可拆卸连接。本申请具有提高在闸板阀作用时分子泵的稳定性的效果。...
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