真空泵及用于真空泵的连接端口制造技术

提供在不使排气性能下降的情况下能够小型化的真空泵及用于真空泵的连接端口。将真空泵（1）和辅助泵连接的排气端口（14）具备能够与真空泵（1）连接的卵圆状的第1开口（14a）和能够与辅助泵连接的圆形形状的第2开口（14b），在真空泵（1）的轴向方向上，第1开口（14a）的径向尺寸被设定成比第2开口（14b）的径向尺寸小。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空泵及用于真空泵的连接端口
本专利技术涉及真空泵及用于真空泵的连接端口。
技术介绍
在存储器、集成回路等半导体装置的制造中，进行绝缘膜、金属膜、半导体膜等成膜的处理、进行蚀刻的处理为了避免受到空气中的灰尘等的影响而被在高真空状态的处理腔内进行。处理腔内的排气上例如使用涡轮分子泵等真空泵。作为这样的真空泵，已知如下真空泵：在具有从外部吸入气体的吸气口和将被吸入的气体向外部排出的排气口的罩内，配置具有沿轴向交替地多层排列的旋转翼及固定翼的涡轮分子机构。专利文献1中，公开了如下真空泵1：构成为，将经由吸气口4导入的气体借助气体移送机构向轴线方向的下方移送，将被压缩的气体从排气口6向外部排出。另外，附图标记是专利文献1中记载的附图标记。专利文献1：日本特开2018-35718号公报。然而，如上所述的真空泵中，形成为大致圆筒状的排气口占据比较大的空间，有无法将真空泵在轴线方向上小型化的问题。对于这样的问题，也考虑将排气口缩径来作出剩余空间，但即使仅使排气口变小，也无法将气体顺畅地排出，从而使真空泵的排气性能下降。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空泵，在与被连接的外部设备之间将气体吸入或排出，其特征在于，/n将前述外部设备和前述真空泵连接的连接端口具备能够与前述真空泵连接的非圆形状的第1开口和能够与前述外部设备连接的圆形形状的第2开口，/n在相对于前述气体的流动方向垂直的方向上，前述第1开口的径向尺寸被设定成比前述第2径向尺寸小。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20190204 JP 2019-0183101.一种真空泵，在与被连接的外部设备之间将气体吸入或排出，其特征在于，
将前述外部设备和前述真空泵连接的连接端口具备能够与前述真空泵连接的非圆形状的第1开口和能够与前述外部设备连接的圆形形状的第2开口，
在相对于前述气体的流动方向垂直的方向上，前述第1开口的径向尺寸被设定成比前述第2径向尺寸小。


2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，
相对于前述气体的流动方向垂直的前述连接端口的开口截面积被设定成从前述第1开口遍及至前述第2开口大致相同。


3.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，
前述第1开口形成为卵圆状，被设定成，其短轴与前述真空泵的...

【专利技术属性】
技术研发人员：高阿田勉，时永伟，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP