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真空泵及用于真空泵的连接端口制造技术
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下载真空泵及用于真空泵的连接端口的技术资料
文档序号:29767216
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提供在不使排气性能下降的情况下能够小型化的真空泵及用于真空泵的连接端口。将真空泵(1)和辅助泵连接的排气端口(14)具备能够与真空泵(1)连接的卵圆状的第1开口(14a)和能够与辅助泵连接的圆形形状的第2开口(14b),在真空泵(1)的轴向...
该专利属于埃地沃兹日本有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过埃地沃兹日本有限公司授权不得商用。
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