一种检测炉管真空泵漏率方法技术

本发明专利技术属于光伏晶硅电池领域。一种检测炉管真空泵漏率方法，对同一个炉管，首先采用完好的真空泵对炉管抽真空，当炉管内的压力为300mTorr，给炉管通气，保持炉管内的压力不变，每隔一分钟，测量通气流量S与真空泵蝶阀开度γ的对应关系，拟合得到斜率为β的一条直线；将待测真空泵安装在炉管上，启动启动待测真空泵抽真空，当炉管内的压力为300mTorr，给炉管通气，保持炉管内的压力不变，观察待测真空泵蝶阀开度γ，待其稳定后得到真空泵蝶阀开度γ

【技术实现步骤摘要】
一种检测炉管真空泵漏率方法
本专利技术涉及太阳能电池生产领域。
技术介绍
工业化光伏电池生产过程中，设备的完好性可保证工艺的稳定，而镀膜工艺设备真空泵的漏率问题，直接关系镀膜质量的好坏，由于专业侧漏设备价格高昂，且操作复杂，不利于在生产过程中的应用。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是：如何提供一种可快速检测炉管真空泵漏率方法。本专利技术所采用的技术方案是：一种检测炉管真空泵漏率方法，按如下步骤进行步骤一、将待测真空泵安装在炉管上，启动待测真空泵抽真空，检测炉管内部压力是否可以低于50mTorr，如果不能，说明真空泵漏率大于等于2000PaL/S；步骤二、对同一个炉管，首先采用完好的真空泵对炉管抽真空，当炉管内的压力为300mTorr，给炉管通气，保持炉管内的压力不变，每隔一分钟，测量通气流量S与真空泵蝶阀开度γ的对应关系，以γ为横坐标，S为纵坐标，建立直接坐标系，拟合得到斜率为β的一条直线；步骤三、将待测真空泵安装在炉管上，启动启动待测真空泵抽真空，当炉管内的压力为300mTorr，给炉管通气，保持炉管内的压力不变，观察待测真空泵蝶阀开度γ，待其稳定后得到真空泵蝶阀开度γ0，待测真空泵漏率Q漏=Pstp*(β/γ0)，其中，Pstp为炉管内外压力差，Pstp取大气压，如果Q漏大于等于800PaL/S，则得到待测真空泵漏率Q漏即为待测真空泵的真实漏率，否则进行步骤四；步骤四、对同一个炉管，首先采用完好的真空泵对炉管抽真空，当炉管内的压力低于50mTorr时，关闭真空泵，给炉管通气，通气流量逐渐增加，最大达到500sccm，通气流量每增加50sccm，记录一次炉管通气流量，同时计算出炉管压力增加速率ωΔP，以为炉管压力增加速率ωΔP横坐标，炉管通气流量为纵坐标，建立直接坐标系拟合得到斜率为α的一条直线；步骤五、将待测真空泵安装在炉管上，启动启动待测真空泵抽真空，当炉管内的压力低于50mTorr时，关闭真空泵，记录每分钟炉管压力增加值，取平均值计为炉管压力增加速率ωΔP，待测真空泵真实漏率Q漏修=Pstp*(ωΔP/α)，Pstp为炉管内外压力差，Pstp取大气压，Q漏修小于800PaL/S。本专利技术的有益效果是：本专利技术专利提出了一种检测炉管真空泵漏率方法，可针对不同漏率使用，成本低且操作简单，有利于工业化生产中的推广应用。具体实施方式一种检测炉管真空泵漏率方法，安如下步骤进行步骤一、将待测真空泵安装在炉管上，启动待测真空泵抽真空，检测炉管内部压力是否可以低于50mTorr，如果不能，说明真空泵漏率大于等于2000PaL/S；真空泵的漏率大于等于2000PaL/S时，人工可以直接观察到，不需要进行测试检测。步骤二、对同一个炉管，首先采用完好的真空泵对炉管抽真空，当炉管内的压力为300mTorr，给炉管通气，保持炉管内的压力不变，每隔一分钟，测量通气流量S与真空泵蝶阀开度γ的对应关系，以γ为横坐标，S为纵坐标，建立直接坐标系，拟合得到斜率为β的一条直线；通气流量S与真空泵蝶阀开度γ成直线关系。步骤三、将待测真空泵安装在炉管上，启动启动待测真空泵抽真空，当炉管内的压力为300mTorr，给炉管通气，保持炉管内的压力不变，观察待测真空泵蝶阀开度γ，待其稳定后得到真空泵蝶阀开度γ0，待测真空泵漏率Q漏=Pstp*(β/γ0)，其中，Pstp为炉管内外压力差（炉管内的压力为300mTorr相对于外界的大气压压力很小），计算时Pstp取大气压，如果Q漏大于等于800PaL/S，则得到待测真空泵漏率Q漏即为待测真空泵的真实漏率，否则进行步骤四；步骤四、对同一个炉管，首先采用完好的真空泵对炉管抽真空，当炉管内的压力等于30mTorr时，关闭真空泵，给炉管通气，通气流量逐渐增加，最大达到500sccm，通气流量每增加50sccm，记录一次炉管通气流量，同时计算出炉管压力增加速率ωΔP，以为炉管压力增加速率ωΔP横坐标，炉管通气流量为纵坐标，建立直接坐标系拟合得到斜率为α的一条直线；步骤五、将待测真空泵安装在炉管上，启动启动待测真空泵抽真空，当炉管内的压力低于50mTorr时，关闭真空泵，记录每分钟炉管压力增加值，取平均值计为炉管压力增加速率ωΔP，待测真空泵真实漏率Q漏修=Pstp*(ωΔP/α)，Pstp为炉管内外压力差（炉管内的压力相对于外界的大气压压力来说很小），Pstp取大气压，Q漏修小于800PaL/S。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测炉管真空泵漏率方法，其特征在于：安如下步骤进行/n步骤一、将待测真空泵安装在炉管上，启动待测真空泵抽真空，检测炉管内部压力是否可以低于50mTorr，如果不能，说明真空泵漏率大于等于2000PaL/S；/n步骤二、对同一个炉管，首先采用完好的真空泵对炉管抽真空，当炉管内的压力为300mTorr，给炉管通气，保持炉管内的压力不变，每隔一分钟，测量通气流量S与真空泵蝶阀开度γ的对应关系，以γ为横坐标，S为纵坐标，建立直接坐标系，拟合得到斜率为β的一条直线；/n步骤三、将待测真空泵安装在炉管上，启动启动待测真空泵抽真空，当炉管内的压力为300mTorr，给炉管通气，保持炉管内的压力不变，观察待测真空泵蝶阀开度γ，待其稳定后得到真空泵蝶阀开度γ

【技术特征摘要】
1.一种检测炉管真空泵漏率方法，其特征在于：安如下步骤进行
步骤一、将待测真空泵安装在炉管上，启动待测真空泵抽真空，检测炉管内部压力是否可以低于50mTorr，如果不能，说明真空泵漏率大于等于2000PaL/S；
步骤二、对同一个炉管，首先采用完好的真空泵对炉管抽真空，当炉管内的压力为300mTorr，给炉管通气，保持炉管内的压力不变，每隔一分钟，测量通气流量S与真空泵蝶阀开度γ的对应关系，以γ为横坐标，S为纵坐标，建立直接坐标系，拟合得到斜率为β的一条直线；
步骤三、将待测真空泵安装在炉管上，启动启动待测真空泵抽真空，当炉管内的压力为300mTorr，给炉管通气，保持炉管内的压力不变，观察待测真空泵蝶阀开度γ，待其稳定后得到真空泵蝶阀开度γ0，待测真空泵漏率Q漏=Pstp*(β/γ0)，其中，Pstp为炉管内外压力差，Pstp取...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨飞飞，张波，赵科巍，刘东林，申开愉，梁玲，李雪方，张云鹏，郭丽，吕爱武，杜泽霖，李陈阳，
申请(专利权)人：山西潞安太阳能科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：山西;14