温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于光伏晶硅电池领域。一种检测炉管真空泵漏率方法，对同一个炉管，首先采用完好的真空泵对炉管抽真空，当炉管内的压力为300mTorr，给炉管通气，保持炉管内的压力不变，每隔一分钟，测量通气流量S与真空泵蝶阀开度γ的对应关系，拟合得到斜率...
该专利属于山西潞安太阳能科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过山西潞安太阳能科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。