一种硅片清洗周转载具制造技术

技术编号:29685763 阅读:33 留言:0更新日期:2021-08-13 22:10
本实用新型专利技术公开了一种硅片清洗周转载具,包括第一侧板以及第二侧板,所述第一侧板与第二侧板之间背侧的顶部以及底部均设有第一侧杆,且所述第一侧杆分别与第一侧板以及第二侧板固定连接,所述第一侧杆的侧面固定设有第一齿板,所述第一齿板设置为多个,且多个所述第一齿板之间呈等距设置,所述第一侧板与第二侧板之间侧面的顶部以及底部均设有第二侧杆。本实用新型专利技术通过第一底杆以及第二底杆支撑硅片,每两个第一齿板之间设有一个空隙,每两个第二齿板之间设有一个空隙,硅片的两边分别位于两个位置相对应的空隙中,多个硅片之间通过第一齿板以及第二齿板分隔,该载具将硅片分隔式放置,避免硅片之间粘在一起,便于使用。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片清洗周转载具
本技术涉及硅片转运
,具体涉及一种硅片清洗周转载具。
技术介绍
硅片制成的芯片是有名的神算子,有着惊人的运算能力,无论多么复杂的数学问题、物理问题和工程问题,也无论计算的工作量有多大,工作人员只要通过计算机键盘把问题告诉它,并下达解题的思路和指令,计算机就能在极短的时间内把答案告诉你,广泛用于计算机领域,硅片生产后需要进行清洗;现有技术存在以下不足:现有硅片生产后,由人工收集到载具中,再整体转运至清洗区域清洗,由于硅片为直接堆放,会导致多个硅片之间粘在一起,不便于清洗。在所述
技术介绍
部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解,因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种硅片清洗周转载具,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为了实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种硅片清洗周转载具,包括第一侧板以及第二侧板,所述第一侧板与第二侧板之间背侧的顶部以及底部均设有第一侧杆,且所述第一侧杆分别与第一侧板以及第二侧板固定连接,所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片清洗周转载具,包括第一侧板(1)以及第二侧板(2),其特征在于:所述第一侧板(1)与第二侧板(2)之间背侧的顶部以及底部均设有第一侧杆(3),且所述第一侧杆(3)分别与第一侧板(1)以及第二侧板(2)固定连接,所述第一侧杆(3)的侧面固定设有第一齿板(4),所述第一齿板(4)设置为多个,且多个所述第一齿板(4)之间呈等距设置,所述第一侧板(1)与第二侧板(2)之间侧面的顶部以及底部均设有第二侧杆(5),且所述第二侧杆(5)分别与第一侧板(1)以及第二侧板(2)固定连接,所述第二侧杆(5)的背侧固定设有第二齿板(6),所述第二齿板(6)设置为多个,且多个所述第二齿板(6)之间呈等距设...

【技术特征摘要】
1.一种硅片清洗周转载具,包括第一侧板(1)以及第二侧板(2),其特征在于:所述第一侧板(1)与第二侧板(2)之间背侧的顶部以及底部均设有第一侧杆(3),且所述第一侧杆(3)分别与第一侧板(1)以及第二侧板(2)固定连接,所述第一侧杆(3)的侧面固定设有第一齿板(4),所述第一齿板(4)设置为多个,且多个所述第一齿板(4)之间呈等距设置,所述第一侧板(1)与第二侧板(2)之间侧面的顶部以及底部均设有第二侧杆(5),且所述第二侧杆(5)分别与第一侧板(1)以及第二侧板(2)固定连接,所述第二侧杆(5)的背侧固定设有第二齿板(6),所述第二齿板(6)设置为多个,且多个所述第二齿板(6)之间呈等距设置,所述第一侧板(1)以及第二侧板(2)之间底部的中心处设有第一底杆(7),所述第一底杆(7)的侧面设有第二底杆(8),且所述第一底杆(7)分别与第一侧板(1)以及第二侧板(2)固定连接,所述第二底杆(8)分别与第一侧板(1)以及第二侧板(2)固定连接,所述第一底杆(7)以及第二底杆(8)的两端底部均设有万向轮(9)。


2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗周转载具,其特征在于:所述第一侧板(1)以及第二侧板(2)之间呈平行设置,且所述第一侧板(1)以及第二侧板(2)关...

【专利技术属性】
技术研发人员:季红生叶品华蒋超徐进
申请(专利权)人:华生管道科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1