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本实用新型公开了一种硅片清洗周转载具，包括第一侧板以及第二侧板，所述第一侧板与第二侧板之间背侧的顶部以及底部均设有第一侧杆，且所述第一侧杆分别与第一侧板以及第二侧板固定连接，所述第一侧杆的侧面固定设有第一齿板，所述第一齿板设置为多个，且多个...
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