一种硅晶片用化学镀容器保温装置制造方法及图纸

技术编号:29672206 阅读:33 留言:0更新日期:2021-08-13 21:53
本实用新型专利技术公开了一种硅晶片用化学镀容器保温装置,包括底座,所述底座上端固定安装有转动轴承,所述转动轴承上端套接有伸缩控制器,所述伸缩控制器上端固定连接有伸缩杆,所述伸缩杆右端下部固定连接有支撑杆,所述支撑杆右端固定连接有把手杆,所述伸缩杆左端上部固定连接有密封装置,所述伸缩杆左端下部固定连接有支撑装置,所述支撑装置上端套接有保温筒。本实用新型专利技术所述的一种硅晶片用化学镀容器保温装置,通过设置密封装置,可避免放置在保温筒内的化学镀容器中的热量大量的散失,并且保温筒中的导热层和绝热层能够对化学镀容器进行最大限度的保温,使整个装置的保温效果更好,该装置结构简单牢固,实用性强。

【技术实现步骤摘要】
一种硅晶片用化学镀容器保温装置
本技术硅晶片设备领域,特别涉及一种硅晶片用化学镀容器保温装置。
技术介绍
硅材料是目前世界上最主要的元素半导体材料,在半导体工业中广泛应用,是电子工业的基础材料,硅晶片在生产过程中常需要使用化学镀对其表面进行金属化处理,而为了使硅晶片化学镀效果更好则需要对化学镀容器进行保温,目前所使用的这种保温装置结构过于简单,保温效果不好,这些化学镀容器保温装置没有对化学镀容器的上端进行密封保温,导致热量易从容器的上端流失,并且这些化学镀容器保温装置对保温筒和化学镀容器的固定不够牢固,导致化学镀容器易受到损坏而且这些装置在使用时也不够灵活,故此,我们提出一种新型的硅晶片用化学镀容器保温装置。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种硅晶片用化学镀容器保温装置,可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种硅晶片用化学镀容器保温装置,包括底座,所述底座上端固定安装有转动轴承,所述转动轴承上端套接有伸缩控制器,所述伸缩控制器上端固定连接有伸缩杆,所述伸缩杆右端下部固定连本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅晶片用化学镀容器保温装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)上端固定安装有转动轴承(6),所述转动轴承(6)上端套接有伸缩控制器(5),所述伸缩控制器(5)上端固定连接有伸缩杆(9),所述伸缩杆(9)右端下部固定连接有支撑杆(8),所述支撑杆(8)右端固定连接有把手杆(7),所述伸缩杆(9)左端上部固定连接有密封装置(2),所述伸缩杆(9)左端下部固定连接有支撑装置(4),所述支撑装置(4)上端套接有保温筒(3)。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅晶片用化学镀容器保温装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)上端固定安装有转动轴承(6),所述转动轴承(6)上端套接有伸缩控制器(5),所述伸缩控制器(5)上端固定连接有伸缩杆(9),所述伸缩杆(9)右端下部固定连接有支撑杆(8),所述支撑杆(8)右端固定连接有把手杆(7),所述伸缩杆(9)左端上部固定连接有密封装置(2),所述伸缩杆(9)左端下部固定连接有支撑装置(4),所述支撑装置(4)上端套接有保温筒(3)。


2.根据权利要求1所述的一种硅晶片用化学镀容器保温装置,其特征在于:所述密封装置(2)包括L型杆(21),所述L型杆(21)右端固定连接有固定扣(25),所述L型杆(21)下端固定连接有盖板(22),所述盖板(22)下端固定连接有橡胶垫(23),所述橡胶垫(23)下端固定连接有封体(24),所述密封装置(2)通过固定扣(25)固定安装在伸缩杆(9)左端上部。


3.根据权利要求1所述的一种硅晶片用化学镀容器保温装置,其特征在于:所述保温筒(3)包括底板(31),所述底板(31)上端左部和上端右部均固定连接有螺纹扣(32),所述底板(31)上端通过螺纹扣...

【专利技术属性】
技术研发人员:冯正怀
申请(专利权)人:晶智上海光学仪器设备有限公司
类型:新型
国别省市:上海;31

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