一种用于硅片的石英清洗槽制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于硅片的石英清洗槽，包括清洗筐和卡合槽，所述清洗筐一侧固定有第一固定块，所述第一固定块顶部连接有第二固定块；所述第二固定块内部开设有第一连接槽。该用于硅片的石英清洗槽设置有拉动固定杆挤压挤压块，挤压块会挤压扭簧，扭簧受到挤压会带动旋转杆转动，旋转杆转动会拉动第一夹持环与第二夹持环翘起，第一夹持环与第二夹持环翘起会带动第一连接轴与第二连接轴转动，第一夹持环与第二夹持环翘起后拉动提手杆放置在中间，松开挤压块扭簧会进行复位，扭簧复位会带动旋转杆回转，提手杆会将扭簧卡住，扭簧不能完全复位时会对提手杆进行挤压时从而使提手杆与固定杆之间被固定，便于安装固定杆。

【技术实现步骤摘要】
一种用于硅片的石英清洗槽
本技术涉及硅片清洗
，具体为一种用于硅片的石英清洗槽。
技术介绍
半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。会导致各种缺陷。清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种目前市场上的用于硅片的石英清洗槽虽然种类和数量非常多，但是大多数的用于硅片的石英清洗槽不便于调节间距，不便于拆卸提手杆，不便于安装固定杆，因此市面上迫切需要能改进用于硅片的石英清洗槽结构的技术，来完善此设备。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于硅片的石英清洗槽，以解决上述
技术介绍
提出的目前市场上的用于硅片的石英清洗槽不便于调节间距，不便于拆卸提手杆，不便于安装固定杆的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于硅片的石英清洗槽，包括清洗筐和卡合槽，所述清洗筐一侧固定有第一固定块，所述第一固定块顶部连接有第二固定块；所述第二固定块内部开设有第一连接槽，所述第一连接槽内部嵌合有提手杆，所述第一连接槽两侧开设有第二连接槽，靠近第二连接槽的所述提手杆两侧固定有凸块；所述提手杆顶部设置有固定杆，所述固定杆一侧连接有第一连接轴，所述第一连接轴一侧连接有连接杆，所述连接杆一侧连接有第二连接轴，所述第二连接轴一侧连接有第一连接块，所述第一连接块一侧连接有第一夹持环，靠近第一夹持环的所述第一连接块一侧连接有第二夹持环，所述第一夹持环与第二夹持环一侧固定有挤压块，所述挤压块一侧连接有第二连接块，所述第二连接块之间连接有旋转杆，靠近挤压块的所述旋转杆一侧套接有扭簧；所述清洗筐内部开设有第一滑槽，所述第一滑槽内部嵌合有第一滑块，远离第一滑槽的所述清洗筐内部开设有第二滑槽，所述第二滑槽内部嵌合有第二滑块，所述第一滑块与第二滑块一侧连接有间隔板，所述第一滑块内部开设有挤压槽，所述挤压槽内部嵌合有钢珠，所述钢珠与挤压槽之间连接有弹簧，靠近钢珠的所述卡合槽开设在清洗筐一侧。优选的，所述提手杆与第二固定块之间通过第一连接槽构成滑动连接，且凸块与第二固定块之间通过第二连接槽构成卡合结构，并且凸块为硬塑料材质。优选的，所述固定杆与连接杆之间通过第一连接轴构成转动连接，且连接杆与第一连接块之间通过第二连接轴构成转动连接。优选的，所述第一夹持环与第二夹持环同为弧形，且第一夹持环与第二夹持环的尺寸相吻合。优选的，所述第二连接块与旋转杆之间构成旋转结构，且第二连接块设置有四组。优选的，所述钢珠与弹簧之间构成伸缩结构，且钢珠的直径与卡合槽的直径尺寸相吻合，并且卡合槽设置有若干组。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该用于硅片的石英清洗槽：1.设置有拉动固定杆挤压挤压块，挤压块会挤压扭簧，扭簧受到挤压会带动旋转杆转动，旋转杆转动会拉动第一夹持环与第二夹持环翘起，第一夹持环与第二夹持环翘起会带动第一连接轴与第二连接轴转动，第一夹持环与第二夹持环翘起后拉动提手杆放置在中间，松开挤压块扭簧会进行复位，扭簧复位会带动旋转杆回转，提手杆会将扭簧卡住，扭簧不能完全复位时会对提手杆进行挤压时从而使提手杆与固定杆之间被固定，便于安装固定杆；2.设置有按压凸块，凸块会沿第二连接槽向内挤压，凸块向内挤压后拉动提手杆，提手杆会沿第一连接槽进行滑动，当提手杆两端滑出第一连接槽后会与第二固定块，从而使提手杆与清洗筐分离，便于拆卸提手杆；3.设置有按压钢珠推动间隔板，钢珠会沿挤压槽挤压弹簧，间隔板移动会带动第一滑块与第二滑块滑动，当间隔板滑动到适应位置后钢珠会与卡合槽对接，受到挤压的弹簧会通过自身的张力将钢珠弹出，钢珠弹出后会与卡合槽卡合，便于根据硅片的尺寸调节间隔板的距离。附图说明图1为本技术主视结构示意图；图2为本技术主视剖面结构示意图；图3为本技术侧视结构示意图；图4为本技术俯视视结构示意图；图5为本技术第一夹持环与第二夹持环侧视结构示意图；图6为本技术挤压块俯视结构示意图；图7为本技术A部放大结构示意图；图8为本技术B部放大结构示意图。图中：1、清洗筐；2、第一固定块；3、第二固定块；4、第一连接槽；5、提手杆；6、第二连接槽；7、凸块；8、固定杆；9、第一连接轴；10、连接杆；11、第二连接轴；12、第一连接块；13、第一夹持环；14、第二夹持环；15、挤压块；16、第二连接块；17、旋转杆；18、扭簧；19、第一滑槽；20、第一滑块；21、间隔板；22、第二滑块；23、第二滑槽；24、挤压槽；25、弹簧；26、钢珠；27、卡合槽。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-8，本技术提供一种技术方案：一种用于硅片的石英清洗槽，包括清洗筐1、第一固定块2、第二固定块3、第一连接槽4、提手杆5、第二连接槽6、凸块7、固定杆8、第一连接轴9、连接杆10、第二连接轴11、第一连接块12、第一夹持环13、第二夹持环14、挤压块15、第二连接块16、旋转杆17、扭簧18、第一滑槽19、第一滑块20、间隔板21、第二滑块22、第二滑槽23、挤压槽24、弹簧25、钢珠26和卡合槽27，所述清洗筐1一侧固定有第一固定块2，所述第一固定块2顶部连接有第二固定块3；所述第二固定块3内部开设有第一连接槽4，所述第一连接槽4内部嵌合有提手杆5，所述提手杆5与第二固定块3之间通过第一连接槽4构成滑动连接，且凸块7与第二固定块3之间通过第二连接槽6构成卡合结构，并且凸块7为硬塑料材质，按压凸块7，凸块7会沿第二连接槽6向内挤压，凸块7向内挤压后拉动提手杆5，提手杆5会沿第一连接槽4进行滑动，所述第一连接槽4两侧开设有第二连接槽6，靠近第二连接槽6的所述提手杆5两侧固定有凸块7；所述提手杆5顶部设置有固定杆8，所述固定杆8与连接杆10之间通过第一连接轴9构成转动连接，且连接杆10与第一连接块12之间通过第二连接轴11构成转动连接，第一夹持环13与第二夹持环14翘起会带动第一连接轴9与第二连接轴11转动，第一连接轴9会沿固定杆8转动，第二连接轴11会沿连接杆10转动，所述固定杆8一侧连接有第一连接轴9，所述第一连接轴9一侧连接有连接杆10，所述连接杆10一侧连接有第二连接轴11，所述第二连接轴11一侧连接有第一连接块12，所述第一连接块12一侧连接有第一夹持环13，靠近第一夹持环13的所述第一连接块12一侧连接有第二夹持环14，所述第一夹持环13与第二夹持环14同为弧形，且第一夹持环13与第二夹持环14的尺寸相吻合，旋转杆1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于硅片的石英清洗槽，包括清洗筐(1)和卡合槽(27)，其特征在于：所述清洗筐(1)一侧固定有第一固定块(2)，所述第一固定块(2)顶部连接有第二固定块(3)；/n所述第二固定块(3)内部开设有第一连接槽(4)，所述第一连接槽(4)内部嵌合有提手杆(5)，所述第一连接槽(4)两侧开设有第二连接槽(6)，靠近第二连接槽(6)的所述提手杆(5)两侧固定有凸块(7)；/n所述提手杆(5)顶部设置有固定杆(8)，所述固定杆(8)一侧连接有第一连接轴(9)，所述第一连接轴(9)一侧连接有连接杆(10)，所述连接杆(10)一侧连接有第二连接轴(11)，所述第二连接轴(11)一侧连接有第一连接块(12)，所述第一连接块(12)一侧连接有第一夹持环(13)，靠近第一夹持环(13)的所述第一连接块(12)一侧连接有第二夹持环(14)，所述第一夹持环(13)与第二夹持环(14)一侧固定有挤压块(15)，所述挤压块(15)一侧连接有第二连接块(16)，所述第二连接块(16)之间连接有旋转杆(17)，靠近挤压块(15)的所述旋转杆(17)一侧套接有扭簧(18)；/n所述清洗筐(1)内部开设有第一滑槽(19)，所述第一滑槽(19)内部嵌合有第一滑块(20)，远离第一滑槽(19)的所述清洗筐(1)内部开设有第二滑槽(23)，所述第二滑槽(23)内部嵌合有第二滑块(22)，所述第一滑块(20)与第二滑块(22)一侧连接有间隔板(21)，所述第一滑块(20)内部开设有挤压槽(24)，所述挤压槽(24)内部嵌合有钢珠(26)，所述钢珠(26)与挤压槽(24)之间连接有弹簧(25)，靠近钢珠(26)的所述卡合槽(27)开设在清洗筐(1)一侧。/n...

【技术特征摘要】
1.一种用于硅片的石英清洗槽，包括清洗筐(1)和卡合槽(27)，其特征在于：所述清洗筐(1)一侧固定有第一固定块(2)，所述第一固定块(2)顶部连接有第二固定块(3)；
所述第二固定块(3)内部开设有第一连接槽(4)，所述第一连接槽(4)内部嵌合有提手杆(5)，所述第一连接槽(4)两侧开设有第二连接槽(6)，靠近第二连接槽(6)的所述提手杆(5)两侧固定有凸块(7)；
所述提手杆(5)顶部设置有固定杆(8)，所述固定杆(8)一侧连接有第一连接轴(9)，所述第一连接轴(9)一侧连接有连接杆(10)，所述连接杆(10)一侧连接有第二连接轴(11)，所述第二连接轴(11)一侧连接有第一连接块(12)，所述第一连接块(12)一侧连接有第一夹持环(13)，靠近第一夹持环(13)的所述第一连接块(12)一侧连接有第二夹持环(14)，所述第一夹持环(13)与第二夹持环(14)一侧固定有挤压块(15)，所述挤压块(15)一侧连接有第二连接块(16)，所述第二连接块(16)之间连接有旋转杆(17)，靠近挤压块(15)的所述旋转杆(17)一侧套接有扭簧(18)；
所述清洗筐(1)内部开设有第一滑槽(19)，所述第一滑槽(19)内部嵌合有第一滑块(20)，远离第一滑槽(19)的所述清洗筐(1)内部开设有第二滑槽(23)，所述第二滑槽(23)内部嵌合有第二滑块(22)，所述第一滑块(20)与第二滑块(22)一侧连接有间隔板(21)，所述第一滑块(...

【专利技术属性】
技术研发人员：汤芳，常永喜，
申请(专利权)人：浙江浩锐石英科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33