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一种用于硅片的石英清洗槽制造技术
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下载一种用于硅片的石英清洗槽的技术资料
文档序号:29599585
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本实用新型公开了一种用于硅片的石英清洗槽,包括清洗筐和卡合槽,所述清洗筐一侧固定有第一固定块,所述第一固定块顶部连接有第二固定块;所述第二固定块内部开设有第一连接槽。该用于硅片的石英清洗槽设置有拉动固定杆挤压挤压块,挤压块会挤压扭簧,扭簧受...
该专利属于浙江浩锐石英科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江浩锐石英科技有限公司授权不得商用。
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