一种硅基OLED显示面板、及其制备方法、显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及显示技术领域，公开了一种硅基OLED显示面板、及其制备方法、显示装置，该硅基OLED显示面板包括：晶圆基底；金属反射层，金属反射层设于晶圆基底上、且与晶圆基底上的晶体管开关电连接，金属反射层中具有朝向背离晶圆基底方向凸出的凸起；第一绝缘层，第一绝缘层设于金属反射层背离晶圆基底的一侧，且第一绝缘层中与金属反射层对应的部位背离金属反射层的表面与凸起的顶面平齐；透明阳极层，透明阳极层设于第一绝缘层背离金属反射层的一侧。该硅基OLED显示面板中，金属反射层上的第一绝缘层的中与金属反射层对应的表面与凸起的顶面平齐，使设置在第一绝缘层上的透明阳极层不受凸起的影响，使透明阳极层比较平整。

【技术实现步骤摘要】
一种硅基OLED显示面板、及其制备方法、显示装置
本专利技术涉及显示
，特别涉及一种硅基OLED显示面板、及其制备方法、显示装置。
技术介绍
OLED(OrganicLight-EmittingDiodes)显示技术作为新型的显示技术，已广泛应用于智能手表、手机、平板电脑、显示器等领域。硅基OLED显示因为采用单晶硅晶圆作为有源驱动背板，具有高像素密度、高度集成、体积小、易于携带、抗震性能好、超低功耗等优异特性，是目前显示技术研究的热点之一。现有的硅基OLED结构中，在硅基衬底上的晶圆顶层设置有金属层，金属层之上设有透明阳极层结构，金属层与透明阳极层结构之间设有绝缘层，并且金属层与透明阳极层结构之间通过连接过孔连接，连接过孔中设置有连接金属，在制备加工过程中，由于化学机械研磨对绝缘层和连接金属之的研磨速率不同，对绝缘层的研磨速率高于对连接金属的研磨速率，导致连接金属通常会凸起而高于绝缘层表面，且阳极层结构包括依次叠置绝缘层上的金属反射层、钝化层、以及与金属反射层电连接的透明阳极金属层，由于连接金属通常会凸起而高于绝缘层表面，所以，后续透明阳极层结构中的每层膜层结构与连接金属对应的部位会形成凸起，所以，连接金属凸起导致的不平整问题会转移到透明阳极层金属层，从而造成透明阳极层金属层不平整，现有技术中，通常解决此问题的方法是将连接金属排列在像素区边缘位置，并用像素定义层PDL(PixelDefinitionLayer)覆盖住不平整区域，但此解决方法会导致工艺步骤的增加，同时还会导致发光面积的减小，因此，如何解决连接金属凸起导致的透明阳极层金属层不平整的问题是目前亟需解决的问题。
技术实现思路
本专利技术公开了一种硅基OLED显示面板、及其制备方法、显示装置，该硅基OLED显示面板中，金属反射层上的第一绝缘层的中与金属反射层对应的表面与凸起的顶面平齐以形成平坦的表面，使设置在第一绝缘层上的透明阳极层不受凸起的影响，使透明阳极层比较平整，且膜层设置结构简单，不会增加制备工艺流程，有利于保证发光单元的发光面积不会减小。为达到上述目的，本专利技术提供以下技术方案：一种硅基OLED显示面板，包括：晶圆基底，所述晶圆基底具有晶体管开关；金属反射层，所述金属反射层设于所述晶圆基底上、且与所述晶圆基底上的晶体管开关电连接，所述金属反射层中具有朝向背离所述晶圆基底方向凸出的凸起；第一绝缘层，所述第一绝缘层设于金属反射层背离所述晶圆基底的一侧，且所述第一绝缘层中与所述金属反射层对应的部位背离所述金属反射层的表面与所述凸起的顶面平齐，以使所述凸起背离所述第一绝缘层的表面裸露；透明阳极层，所述透明阳极层设于所述第一绝缘层背离所述金属反射层的一侧，且所述透明阳极层与所述凸起的顶面接触连接。上述硅基OLED显示面板中，晶圆基底上包括多个子像素单元，每个子像素单元中具有晶体管开关，为便于说明，以垂直于晶圆基底的方向为竖直方向，以晶圆基底上设置晶体管开关的一侧为的晶圆基底的顶侧(或者上侧)，在晶圆基底设置晶体管开关的一侧设置有发光单元，发光单元具体包括在晶圆基底设置晶体管开关的一侧设置的与晶体管开关电连接的金属反射层，金属反射层背离晶圆基底的一侧具有凸起，在金属反射层上面形成第一绝缘层，其中，设置第一绝缘层中与金属反射层对应的部位的上表面与凸起的顶面平齐，且使凸起的顶面裸露，使第一绝缘层中与金属反射层对应的部位的表面与凸起的顶面形成一平坦的表面，则在第一绝缘层上设置透明阳极层时，透明阳极层直接设置在第一绝缘层上，且直接与凸起顶面接触电连接，且透明阳极层可以形成平坦的透明阳极层，不会有受反射金属层中凸起影响而导致不平整的问题，缓解了现有技术中由于解决阳极层不平整而导致发光单元的发光面积减小的问题。因此，上述硅基OLED显示面板中，金属反射层上的第一绝缘层的中与金属反射层对应的表面与凸起的顶面平齐以形成平坦的表面，使设置在第一绝缘层上的透明阳极层不受凸起的影响，使透明阳极层比较平整，且膜层设置结构简单，不会增加制备工艺流程，有利于保证发光单元的发光面积不会减小。可选地，沿垂直于所述晶圆基底的方向上，所述第一绝缘层的厚度与所述凸起的高度相等。可选地，所述晶圆基底包括多个子像素单元，且所述晶圆基底的顶侧具有位于所述子像素单元的晶体管开关之上且与所述晶体管开关电连接的金属导线层，以及位于所述金属导线层上的第二绝缘层，所述第二绝缘层中设有过孔，所述过孔内设有与所述金属导线连接的连接金属，沿垂直于所述晶圆基底的方向，所述连接金属的顶面高于所述第二绝缘层背离所述金属导线层一侧的表面；所述金属反射层位于所述第二绝缘层背离所述金属导线层的一侧，且所述金属反射层通过所述连接金属与所述金属导线层电连接，所述金属反射层中的凸起与所述连接金属相对。可选地，所述连接金属包括钨。可选地，所述透明阳极层包括ITO。可选地，所述硅基OLED显示面板还包括依次所述透明阳极层之上的有机发光器件层和透明阴极层。基于相同的专利技术构思，本专利技术还提供了一种硅基OLED显示面板的制备方法，包括：形成晶圆基底，所述晶圆基底具有晶体管开关；在晶圆基底上形成图案化的金属反射层，所述金属反射层与所述晶圆基底上的晶体管开关电连接，且所述金属反射层中具有朝向背离所述晶圆基底的方向凸出的凸起；在所述金属反射层背离所述晶圆基底的一侧形成第一绝缘层，且通过掩膜工艺对所述第一绝缘层进行处理，以使所述第一绝缘层中与所述金属反射层对应的部位背离所述金属反射层的表面与所述凸起顶面平齐，所述凸起的顶面裸露；在所述第一绝缘层背离所述金属反射层的一侧形成图案化的透明阳极层，所述透明阳极层与所述凸起的顶面接触连接。可选地，沿垂直于所述晶圆基底的方向上，所述第一绝缘层的厚度与所述凸起的高度相等。可选地，形成所述晶圆基底具体包括：在晶圆上形成多个子像素单元，每个所述子像素单元包括晶体管开关；在所述晶体管开关背离所述晶圆的一侧形成有与所述晶体管开关电连接且图案化的金属导线层；在所述金属导线层背离所述晶圆的一侧形成第二绝缘层，并在所述第二绝缘层中形成过孔，在过孔中形成连接金属；采用化学机械研磨方法对所述第一绝缘层和连接金属的表面进行处理。本专利技术还提供了一种显示装置，包括如上述技术方案中提供的任意一种硅基OLED显示面板。附图说明图1-图4为本专利技术实施例提供的一种硅基OLED显示面板的制备过程中的膜层变化示意图；图5为本专利技术实施例提供的一种硅基OLED显示面板的制备方法流程图；图标：1-晶圆基底；2-金属反射层；3-第一绝缘层；4-透明阳极层；11-金属导线层；12-第二绝缘层；13-连接金属；21-凸起。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅基OLED显示面板，其特征在于，包括：/n晶圆基底，所述晶圆基底具有晶体管开关；/n金属反射层，所述金属反射层设于所述晶圆基底上、且与所述晶圆基底上的晶体管开关电连接，所述金属反射层中具有朝向背离所述晶圆基底方向凸出的凸起；/n第一绝缘层，所述第一绝缘层设于金属反射层背离所述晶圆基底的一侧，且所述第一绝缘层中与所述金属反射层对应的部位背离所述金属反射层的表面与所述凸起的顶面平齐，以使所述凸起背离所述第一绝缘层的表面裸露；/n透明阳极层，所述透明阳极层设于所述第一绝缘层背离所述金属反射层的一侧，且所述透明阳极层与所述凸起的顶面接触连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅基OLED显示面板，其特征在于，包括：
晶圆基底，所述晶圆基底具有晶体管开关；
金属反射层，所述金属反射层设于所述晶圆基底上、且与所述晶圆基底上的晶体管开关电连接，所述金属反射层中具有朝向背离所述晶圆基底方向凸出的凸起；
第一绝缘层，所述第一绝缘层设于金属反射层背离所述晶圆基底的一侧，且所述第一绝缘层中与所述金属反射层对应的部位背离所述金属反射层的表面与所述凸起的顶面平齐，以使所述凸起背离所述第一绝缘层的表面裸露；
透明阳极层，所述透明阳极层设于所述第一绝缘层背离所述金属反射层的一侧，且所述透明阳极层与所述凸起的顶面接触连接。


2.根据权利要求1所述的硅基OLED显示面板，其特征在于，沿垂直于所述晶圆基底的方向上，所述第一绝缘层的厚度与所述凸起的高度相等。


3.根据权利要求1所述的硅基OLED显示面板，其特征在于，所述晶圆基底包括多个子像素单元，且所述晶圆基底的顶侧具有位于所述子像素单元的晶体管开关之上且与所述晶体管开关电连接的金属导线层，以及位于所述金属导线层上的第二绝缘层，所述第二绝缘层中设有过孔，所述过孔内设有与所述金属导线连接的连接金属，沿垂直于所述晶圆基底的方向，所述连接金属的顶面高于所述第二绝缘层背离所述金属导线层一侧的表面；
所述金属反射层位于所述第二绝缘层背离所述金属导线层的一侧，且所述金属反射层通过所述连接金属与所述金属导线层电连接，所述金属反射层中的凸起与所述连接金属相对。


4.根据权利要求3所述的硅基OLED显示面板，其特征在于，所述连接金属包括钨。


5.根据权利要求1所述的硅基OLED显示面板，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘李，魏俊波，卢鹏程，杨盛际，黄冠达，施蓉蓉，田元兰，张大成，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11