显示面板、显示设备、显示面板的制备方法技术

本申请提供了一种显示面板、显示设备、显示面板的制备方法，基板和薄膜晶体膜层组层叠设置；薄膜晶体膜层组包括层叠设置的有源层、绝缘层以及栅极层；有源层包括多个沟道区域，多个沟道区域分为载流子浓度较高的第一沟道区域、以及载流子浓度较低的第二沟道区域；绝缘层的第一部分设置在第一沟道区域，绝缘层的第二部分设置在第二沟道区域，绝缘层中第一部分的厚度大于第二部分的厚度；栅极层包括多个栅极，各栅极与各沟道区域一一对应。该显示面板较大程度地减小了因第一沟道区域和第二沟道区域的载流子浓度的差异而导致的不同薄膜晶体管之间的性能差异，提升了显示面板中各薄膜晶体管的均一性，从而有效避免显示面板在使用时出现Mura现象。

【技术实现步骤摘要】
显示面板、显示设备、显示面板的制备方法
本申请涉及显示
，具体而言，本申请涉及一种显示面板、显示设备、显示面板的制备方法。
技术介绍
在显示设备领域，显示面板在使用时容易出现Mura现象(亮度不均匀，造成各种痕迹的现象)。本申请的专利技术人经过研究发现，导致上述缺陷的原因之一在于，在显示面板的有源层中，某些沟道区域之间的载流子浓度的差别较大，这就造成显示面板中薄膜晶体管的性能的差异化，进而导致显示面板易出现Mura现象。
技术实现思路
本申请针对现有方式的缺点，提出一种显示面板、显示设备、显示面板的制备方法，用以因某些沟道区域之间的载流子浓度的差别较大，而导致的显示面板易出现Mura现象的技术问题。第一方面，本申请实施例提供了一种显示面板，包括层叠设置的基板和薄膜晶体膜层组；薄膜晶体膜层组包括层叠设置的有源层、绝缘层以及栅极层；有源层包括多个沟道区域，多个沟道区域分为载流子浓度较高的第一沟道区域、以及载流子浓度较低的第二沟道区域；绝缘层的第一部分设置在第一沟道区域，绝缘层的第二部分设置在第二沟道区域，绝缘层中第一部分的厚度大于第二部分的厚度；栅极层包括多个栅极，各栅极与各沟道区域一一对应。第二方面，本申请实施例提供了一种显示设备，包括本申请实施例提供的显示面板。第三方面，本申请实施例提供了一种显示面板的制备方法，用于制备本申请实施例提供的显示面板，包括：在基板上制备薄膜晶体膜层组，使得绝缘层中较厚的第一部分设置在有源层的第一沟道区域，绝缘层中较薄的第一部分设置在有源层的第二沟道区域。本申请实施例提供的技术方案带来的有益技术效果是：在制备本申请实施例提供的显示面板时，可以根据各沟道区域的载流子浓度预先确定沟道区域的类型，根据沟道区域的类型来制备具有不同厚度的绝缘层。若沟道区域的载流子浓度高于正常载流子浓度，则在对应于该沟道区域的位置制备绝缘层中较厚的第一部分，以抵消因载流子浓度较高而导致的阈值电压偏低的影响，使得该部分的薄膜晶体管的阈值电压尽可能接近正常值；若沟道区域的载流子浓度低于正常载流子浓度，则在对应于该沟道区域的位置制备绝缘层中较厚的第二部分，以抵消因载流子浓度较低而导致的阈值电压偏高的影响，使得该部分的薄膜晶体管的阈值电压尽可能接近正常值。最终使得绝缘层中较厚的第一部分设置在载流子浓度较高的第一沟道区域，绝缘层中较薄的第二部分设置在载流子浓度较低的第二沟道区域，较大程度地减小了因第一沟道区域和第二沟道区域的载流子浓度的差异而导致的不同薄膜晶体管之间的性能差异，提升了显示面板中各薄膜晶体管的均一性，从而有效地避免显示面板在使用时出现Mura现象。本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。附图说明本申请上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1为本申请实施例提供的第一种显示面板的结构示意图；图2为本申请实施例提供的第二种显示面板的结构示意图；图3为本申请实施例提供的一种显示面板的制备方法的流程示意图；图4为本申请实施例提供的针对第一种显示面板的制备方法的流程示意图；图5至图9为提供的针对第一种显示面板的制备方法的多个步骤的状态示意图；图10为本申请实施例提供的针对第二种显示面板的制备方法的流程示意图；图11至图15为提供的针对第二种显示面板的制备方法的多个步骤的状态示意图。附图标号的说明如下：1-基板；2-缓冲层；3-有源层；31-第一沟道区域；32-第二沟道区域；33-非沟道区域；4-绝缘层；41-栅极绝缘层；411-凹槽；42-第一材料膜；400-第一材料；5-栅极；6-阻挡层；7-第一光刻胶层；8-光刻机；9-基台；10-掩膜版。具体实施方式下面详细描述本申请，本申请的实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的部件或具有相同或类似功能的部件。此外，如果已知技术的详细描述对于示出的本申请的特征是不必要的，则将其省略。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能解释为对本申请的限制。本
技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)，具有与本申请所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。本
技术人员可以理解，除非特意声明，这里使用的单数形式“一”、“一个”、“所述”和“该”也可包括复数形式。应该进一步理解的是，本申请的说明书中使用的措辞“包括”是指存在所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或组件，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。应该理解，当我们称元件被“连接”或“耦接”到另一元件时，它可以直接连接或耦接到其他元件，或者也可以存在中间元件。此外，这里使用的“连接”或“耦接”可以包括无线连接或无线耦接。这里使用的措辞“和/或”包括一个或更多个相关联的列出项的全部或任一单元和全部组合。下面以具体地实施例对本申请的技术方案以及本申请的技术方案如何解决上述技术问题进行详细说明。本申请实施例提供了一种显示面板，图1和图2都示出了该显示面板的部分结构，显示面板包括依次层叠的基板1(Glass)和薄膜晶体膜层组。薄膜晶体膜层组包括层叠设置的有源层3(Active)、绝缘层4以及栅极层。有源层3包括多个沟道区域，多个沟道区域分为载流子浓度较高的第一沟道区域31、以及载流子浓度较低的第二沟道区域32。绝缘层4的第一部分设置在第一沟道区域31，绝缘层4的第二部分设置在第二沟道区域32，绝缘层4中第一部分的厚度大于第二部分的厚度；栅极层包括多个栅极5，各栅极5与各沟道区域一一对应。沟道区域分为第一沟道区域31和第二沟道区域32这两种类型，在确定沟道区域的类型时，根据沟道区域中的载流子浓度而定。可选地，可以预先设定一个正常载流子浓度，对于不同类型或批次的显示面板，该正常载流子浓度可以是不同的。正常载流子浓度可以是一个范围值，正常载流子浓度的具体范围需要根据显示面板所属类型或批次的实际设计需要而定。同样地，绝缘层4的第一部分的厚度和第二部分的厚度，也需要根据显示面板所属类型或批次的实际设计需要而定。若一个沟道区域中的载流子浓度高于正常载流子浓度，则认为该沟道区域中的载流子浓度较高，该沟道区域为第一沟道区域31；若一个沟道区域中的载流子浓度低于正常载流子浓度，则认为该沟道区域中的载流子浓度较低，该沟道区域为第二沟道区域32。可选地，可以预先设定第一浓度范围和第二浓度范围，若一个沟道区域中的载流子浓度在第一浓度范本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示面板，其特征在于，包括层叠设置的基板和薄膜晶体膜层组；/n所述薄膜晶体膜层组包括层叠设置的有源层、绝缘层以及栅极层；/n所述有源层包括多个沟道区域，多个所述沟道区域分为载流子浓度较高的第一沟道区域、以及载流子浓度较低的第二沟道区域；/n所述绝缘层的第一部分设置在所述第一沟道区域，所述绝缘层的第二部分设置在所述第二沟道区域，所述绝缘层中第一部分的厚度大于第二部分的厚度；所述栅极层包括多个栅极，各所述栅极与各所述沟道区域一一对应。/n

【技术特征摘要】
1.一种显示面板，其特征在于，包括层叠设置的基板和薄膜晶体膜层组；
所述薄膜晶体膜层组包括层叠设置的有源层、绝缘层以及栅极层；
所述有源层包括多个沟道区域，多个所述沟道区域分为载流子浓度较高的第一沟道区域、以及载流子浓度较低的第二沟道区域；
所述绝缘层的第一部分设置在所述第一沟道区域，所述绝缘层的第二部分设置在所述第二沟道区域，所述绝缘层中第一部分的厚度大于第二部分的厚度；所述栅极层包括多个栅极，各所述栅极与各所述沟道区域一一对应。


2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述绝缘层包括栅极绝缘层和至少一个第一材料膜，所述栅极绝缘层贴合于所述有源层，至少一个所述第一材料膜设置在于所述栅极绝缘层中远离所述有源层的一侧；
所述栅极绝缘层与所述第一材料膜叠置的区域为所述绝缘层的第一部分，所述栅极绝缘层中未被所述第一材料膜设置在的区域为所述绝缘层的第二部分；
所述第一沟道区域具有第一浓度的载流子，所述第二沟道区域具有正常浓度的载流子，所述第一浓度高于所述正常浓度。


3.根据权利要求2所述的显示面板，所述第一材料膜采用的材料包括温变材料，所述温变材料包括二氧化钒。


4.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述绝缘层为栅极绝缘层，所述栅极绝缘层中远离所述有源层的一侧设置有至少一个凹槽；
所述栅极绝缘层中未开设所述凹槽的区域为所述绝缘层的第一部分，所述栅极绝缘层中设置有所述凹槽的区域为所述绝缘层的第二部分；
所述第一沟道区域具有正常浓度的载流子，所述第二沟道区域具有第二浓度的载流子，所述第二浓度低于所述正常浓度。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的显示面板，多个所述沟道区域都属于像素电路中薄膜晶体管的沟道区域。


6.一种显示设备，其特征在于，包括如权利要求1-5中任一项所述的显示面板。


7.一种显示面板的制备方法，用于制备如权利要求1-5中任一项所述的显示面板，其特征在于，包括：
在基板上制备薄膜晶体膜层组，使得绝缘层中较厚的第一部分设置在有源层的第一沟道区域，绝缘层中较薄的第一部分设置在有源层的第二沟道区域。


8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，包括：
在基板上制备初始态有源层，对所述初始态有源层中各沟道区域进行掺杂，形成有源层；
在所述有源层上制备初始态绝缘层；
在所述初始态绝缘层上制备第一光刻胶层；
根据所述有源层中各所述沟道区域的载流子浓度和位置信息，保留所述第一光刻胶层中对应所述有源层中各第一沟道区域的部分，并去除所述第一光刻胶层的其它部分；或者，根据所述有源层中各所述沟道区域的载流子浓度和位置信息，去除所述第一光刻胶层中对应所述有源层中各第二沟道区域的部分，并保留所述第一光刻胶层的其它部分；
以被保留的所述第一光刻胶层为掩膜，对所述初始态绝...

【专利技术属性】
技术研发人员：倪柳松，赵策，王明，王庆贺，胡迎宾，宋威，程磊磊，黄勇潮，
申请(专利权)人：合肥鑫晟光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34