一种遮覆板反变形治具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种遮覆板反变形治具，包括底板、顶板、定位夹持组件、反变形支撑组件；底板、顶板两者之间相对沿Z轴竖直滑动，并且所述底板和所述顶板上均阵列贯穿有若干螺纹导套；定位夹持组件包括X轴滑轨副、Y轴滑轨副、压紧钳；X轴滑轨副设置于底板上；Y轴滑轨副设置于X轴滑轨副上；压紧钳设置于Y轴滑轨副上；压紧钳通过X轴滑轨副、Y轴滑轨副进行联合移动至遮覆板的周侧，并对遮覆板进行压紧；反变形支撑组件包括调节修复螺杆、接触软垫；调节修复螺杆设有若干个，其通过螺纹导套装配于底板、顶板上，并对应遮覆板的变形点进行位置分布；接触软垫设置于调节修复螺杆的末端；本实用新型专利技术具有使用便捷，变形修复效果好的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种遮覆板反变形治具
本技术设涉及面板变形修复
，特别涉及一种遮覆板反变形治具。
技术介绍
在半导体制程中，必须定期或不定期地对半导体制程设备的零件进行清洗及再生，以维持半导体制程设备的效能，并可延长设备的使用寿命。清洗的工艺包括有高压水刀冲洗，采用高压水刀对半导体制程设备中的遮覆板上的金属镀层进行冲洗，以防金属镀膜在后续的生产过程中破裂或剥落，产生的微尘粒子散布至设备内影响良率。在高压清洗的过程中，很容易导致遮覆板变形，在后续的工艺中需要对遮覆板进行反变形修复，而现有的对于遮覆板的反变形方式大多采用平口钳进行固定，再通过人力使用工具对变形的位置进行反向敲打，最后使用测量仪进行测量，但这种方式工作效率慢，并且质量不稳定。因此，需要研发一种针对遮覆板的反变形治具，以解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的就在于提供一种遮覆板反变形治具，以解决上述问题。本技术通过以下技术方案来实现上述目的：一种遮覆板反变形治具，包括底板、顶板、定位夹持组件、反变形支撑组件；所述底板、所述顶板两者之间相对沿Z轴竖直滑动，并且所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种遮覆板反变形治具，其特征在于：包括底板、顶板、定位夹持组件、反变形支撑组件；所述底板、所述顶板两者之间相对沿Z轴竖直滑动，并且所述底板和所述顶板上均阵列贯穿有若干螺纹导套；所述定位夹持组件包括X轴滑轨副、Y轴滑轨副、压紧钳；所述X轴滑轨副设置于所述底板上；所述Y轴滑轨副设置于所述X轴滑轨副上；所述压紧钳设置于所述Y轴滑轨副上；所述压紧钳通过所述X轴滑轨副、所述Y轴滑轨副进行联合移动至遮覆板的周侧，并对遮覆板进行压紧；所述反变形支撑组件包括调节修复螺杆、接触软垫；所述调节修复螺杆设有若干个，其通过所述螺纹导套装配于所述底板、所述顶板上，并对应遮覆板的变形点进行位置分布；所述接触软垫设置于...

【技术特征摘要】
1.一种遮覆板反变形治具，其特征在于：包括底板、顶板、定位夹持组件、反变形支撑组件；所述底板、所述顶板两者之间相对沿Z轴竖直滑动，并且所述底板和所述顶板上均阵列贯穿有若干螺纹导套；所述定位夹持组件包括X轴滑轨副、Y轴滑轨副、压紧钳；所述X轴滑轨副设置于所述底板上；所述Y轴滑轨副设置于所述X轴滑轨副上；所述压紧钳设置于所述Y轴滑轨副上；所述压紧钳通过所述X轴滑轨副、所述Y轴滑轨副进行联合移动至遮覆板的周侧，并对遮覆板进行压紧；所述反变形支撑组件包括调节修复螺杆、接触软垫；所述调节修复螺杆设有若干个，其通过所述螺纹导套装配于所述底板、所述顶板上，并对应遮覆板的变形点进行位置分布；所述接触软垫设置于所述调节修...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘得志，
申请(专利权)人：东莞市世平光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44