本实用新型专利技术公开了一种金属有机化学气相沉积反应器喷淋装置，包括蒸汽室和喷淋反应室，所述喷淋反应室内部设置有沉淀板，所述喷淋反应室设置于所述蒸汽室上方，且通过单向透气结构连通，该单向透气结构的透气方向为自蒸汽室向喷淋反应室，所述喷淋反应室内部设置有喷淋结构，所述蒸汽室一侧设置有蒸汽管。有益效果在于：通过在喷淋反应室内侧底部设置扰流结构，可通过向喷淋反应室内部送入氮气，减少反应气体下沉，提高反应气体结合的效率，减少原材料浪费；设置扰流结构后，在向喷淋反应室内部送入氮气的过程中，可使蒸汽的分布更加均匀，从而提高喷淋反应室内部温度的一致性，进而提高沉淀反应的均匀性和稳定性。
【技术实现步骤摘要】
一种金属有机化学气相沉积反应器喷淋装置
本技术涉及金属有机化学气相沉淀
，具体涉及一种金属有机化学气相沉积反应器喷淋装置。
技术介绍
金属有机化合物化学气相沉淀技术具有可以生长纯度很高的材料、生长易于控制、生长超薄外延层、大规模生产等优点，所以金属有机化合物化学气相技术成为制备化合物半导体薄膜的关键技术，如Zn(C2H5)2，即二乙基锌气体和水蒸气反应制备氧化锌薄膜，被广泛的运用于太阳能电池、传感器、发光管等领域。反应时，首先在蒸汽室内部充气，而后将蒸汽室内的高温蒸汽均匀送入反应室内，而后通过喷淋头向反应室内部送入二乙基锌气体，通过二乙基锌气体与蒸汽反应，在沉淀板上形成氧化锌薄膜。此种反应在进行时，由于二乙基锌气体较重，进入反应室内部后下沉，无法与沉淀板接触，其虽能够与水蒸气剧烈反应，但是依旧存在一定的浪费；由于蒸汽向反应室内部输入点位不能做到绝对均匀，导致反应室内部温度存在一定的误差，会在一定程度上影响沉淀反应的均匀性。基于此，申请人提出一种可提高沉淀反应稳定性的喷淋装置。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种金属有机化学气相沉积反应器喷淋装置，本技术提供的诸多技术方案中优选的技术方案具有：可使二乙基锌气体与蒸汽的接触更加均匀，提高反应的彻底性，同时能够提高反应室内部温度的均匀性，从而提高沉淀反应的稳定性等技术效果，详见下文阐述。为实现上述目的，本技术提供了以下技术方案：本技术提供的一种金属有机化学气相沉积反应器喷淋装置，包括蒸汽室和喷淋反应室，所述喷淋反应室内部设置有沉淀板，所述喷淋反应室设置于所述蒸汽室上方，且通过单向透气结构连通，该单向透气结构的透气方向为自蒸汽室向喷淋反应室，所述喷淋反应室内部设置有喷淋结构，所述蒸汽室一侧设置有蒸汽管；所述喷淋反应室内侧底部设置有扰流结构，所述蒸汽室内部设置有向所述扰流结构输送氮气的氮气管。作为优选，所述单向透气结构为单向透气膜，所述单向透气结构设置有多个，且均匀分布在所述蒸汽室与所述喷淋反应室之间。作为优选，所述蒸汽管自所述蒸汽室一侧插入其内部，且所述蒸汽管插入所述蒸汽室内部一端设置有喷口挡板，所述喷口挡板与所述蒸汽管端部的轴向相互垂直。作为优选，所述扰流结构设置有多个，且均匀分布在所述喷淋反应室的底部，所述氮气管上对应所述扰流结构设置有多个氮气喷管，所述氮气喷管竖直向上设置于所述扰流结构的正下方。作为优选，所述扰流结构包括扰流帽和支撑架，所述支撑架与所述扰流帽焊接固定，且所述氮气喷管竖直设置于所述扰流帽的正下方中间位置。作为优选，所述扰流帽为圆形帽，且中部成型有向上的凸起，所述扰流帽下方对应所述凸起成型有帽腔。作为优选，所述氮气管自所述蒸汽室的一侧插入蒸汽室内部，所述氮气喷管自下而上穿入喷淋反应室内。综上，本技术的有益效果在于：1、通过在喷淋反应室内侧底部设置扰流结构，可通过向喷淋反应室内部送入氮气，减少反应气体下沉，提高反应气体结合的效率，减少原材料浪费；2、设置扰流结构后，在向喷淋反应室内部送入氮气的过程中，可使蒸汽的分布更加均匀，从而提高喷淋反应室内部温度的一致性，进而提高沉淀反应的均匀性和稳定性。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术的结构示意图；图2是本技术扰流结构的主视结构示意图；图3是图2的剖面结构示意图；图4是图2的仰视结构示意图。附图标记说明如下：1、蒸汽室；2、蒸汽管；3、氮气管；4、扰流结构；41、扰流帽；42、支撑架；5、喷淋结构；6、沉淀板；7、喷淋反应室；8、单向透气结构。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本技术的技术方案进行详细的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式，都属于本技术所保护的范围。参见图1-图4所示，本技术提供了一种金属有机化学气相沉积反应器喷淋装置，包括蒸汽室1和喷淋反应室7，所述喷淋反应室内部设置有沉淀板6，所述喷淋反应室7设置于所述蒸汽室1上方，且通过单向透气结构8连通，该单向透气结构8的透气方向为自蒸汽室1向喷淋反应室7，所述喷淋反应室7内部设置有喷淋结构5，所述蒸汽室1一侧设置有蒸汽管2；所述喷淋反应室7内侧底部设置有扰流结构4，所述蒸汽室1内部设置有向所述扰流结构4输送氮气的氮气管3，设置扰流结构4后，在向扰流结构4输送氮气时，可通过扰流结构4将喷淋反应室7内部下沉的反应气体吹起，从而提高反应的彻底性，同时可使得喷淋反应室7内部蒸汽的分布更加均匀，提高喷淋反应室7内部温度的稳定性，提高气相沉淀的反应效果。作为可选的实施方式，所述单向透气结构8为单向透气膜，所述单向透气结构8设置有多个，且均匀分布在所述蒸汽室1与所述喷淋反应室7之间；单向透气结构8至少设置有两个，且对称分布在蒸汽室1与喷淋反应室7的两侧，以提高蒸汽室1内向喷淋反应室7内部输送蒸汽的均匀性；所述蒸汽管2自所述蒸汽室1一侧插入其内部，且所述蒸汽管2插入所述蒸汽室1内部一端设置有喷口挡板，所述喷口挡板与所述蒸汽管2端部的轴向相互垂直；设置喷口挡板后，可防止蒸汽管2内输送的蒸汽直接喷在蒸汽室1的内壁上，提高蒸汽在蒸汽室1内部扩散的均匀度；所述扰流结构4设置有多个，且均匀分布在所述喷淋反应室7的底部，所述氮气管3上对应所述扰流结构4设置有多个氮气喷管，所述氮气喷管竖直向上设置于所述扰流结构4的正下方；所述扰流结构4包括扰流帽41和支撑架42，所述支撑架42与所述扰流帽41焊接固定，且所述氮气喷管竖直设置于所述扰流帽41的正下方中间位置；所述扰流帽41为圆形帽，且中部成型有向上的凸起，所述扰流帽41下方对应所述凸起成型有帽腔；所述氮气管3自所述蒸汽室1的一侧插入蒸汽室1内部，可对氮气进行预加热，所述氮气喷管自下而上穿入喷淋反应室7内，且竖直向上正对扰流帽41的帽腔中间，从而在输送氮气时，可首先与帽腔中心接触，而后沿帽腔壁向四周的斜下方扩散，从而将下沉在喷淋反应室7底部的反应气体吹起，同时可以在喷淋反应室7内部形成无规则的扰流风，使得喷淋反应室7内部的蒸汽分布更加均匀，提高温度的均匀性，从而提高气相沉淀反应的稳定性。采用上述结构，通过在喷淋反应室7内侧底部设置扰流结构4，可通过向喷淋反应室7内部送入氮气，减少反应气体下沉，提高反应气体结合的效率，减少原材料浪费；设置扰流结构4后，在向喷淋反应室7内部送入氮气的过程中，可使蒸汽的分布更加均匀，从而提高喷淋反应室7内部温度的一致性，本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种金属有机化学气相沉积反应器喷淋装置，其特征在于，包括蒸汽室(1)和喷淋反应室(7)，所述喷淋反应室(7)内部设置有沉淀板(6)，所述喷淋反应室(7)设置于所述蒸汽室(1)上方，且通过单向透气结构(8)连通，该单向透气结构(8)的透气方向为自蒸汽室(1)向喷淋反应室(7)，所述喷淋反应室(7)内部设置有喷淋结构(5)，所述蒸汽室(1)一侧设置有蒸汽管(2)；/n所述喷淋反应室(7)内侧底部设置有扰流结构(4)，所述蒸汽室(1)内部设置有向所述扰流结构(4)输送氮气的氮气管(3)。/n
【技术特征摘要】
1.一种金属有机化学气相沉积反应器喷淋装置，其特征在于，包括蒸汽室(1)和喷淋反应室(7)，所述喷淋反应室(7)内部设置有沉淀板(6)，所述喷淋反应室(7)设置于所述蒸汽室(1)上方，且通过单向透气结构(8)连通，该单向透气结构(8)的透气方向为自蒸汽室(1)向喷淋反应室(7)，所述喷淋反应室(7)内部设置有喷淋结构(5)，所述蒸汽室(1)一侧设置有蒸汽管(2)；
所述喷淋反应室(7)内侧底部设置有扰流结构(4)，所述蒸汽室(1)内部设置有向所述扰流结构(4)输送氮气的氮气管(3)。
2.根据权利要求1所述一种金属有机化学气相沉积反应器喷淋装置，其特征在于：所述单向透气结构(8)为单向透气膜，所述单向透气结构(8)设置有多个，且均匀分布在所述蒸汽室(1)与所述喷淋反应室(7)之间。
3.根据权利要求1所述一种金属有机化学气相沉积反应器喷淋装置，其特征在于：所述蒸汽管(2)自所述蒸汽室(1)一侧插入其内部，且所述蒸汽管(2)插入所述蒸汽室(1)内部一端设置有喷口挡板，所述喷口挡板与所述蒸汽管(2)端...
【专利技术属性】
技术研发人员：张银冰，
申请(专利权)人：张银冰，
类型：新型
国别省市：湖北;42
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