旋转靶材的绑定加热装置、方法及计算机可读存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种旋转靶材的绑定加热装置、方法及计算机可读存储介质。加热装置设有内加热结构和外加热结构：内加热结构的环状定位管用于引导热风向背管传递热量，在环状定位管与背管之间通热风后实现对背管的快速升温；外加热结构为多节环状加热罩，各个环状加热罩可密封叠置以适应不用高度的靶材，外加热结构的密封盖可拆卸地安装在最上层环状加热罩顶部，外加热结构与安装底座一起构成全密封结构，将背管和靶材罩在内部。通过内加热结构的热风通道和外加热结构的加热管同步工作，使得背管内外温度处于预设差值范围内，如此则待绑定的靶管内外温度保持一致，减少外管靶材崩裂的几率。

Binding heating device, method and computer-readable storage medium of rotating target

【技术实现步骤摘要】
旋转靶材的绑定加热装置、方法及计算机可读存储介质
本专利技术涉及磁控溅射靶材制备
，特别涉及一种旋转靶材的绑定加热装置，利用该绑定加热装置实现的旋转靶材的绑定加热方法以及计算机可读存储介质，计算机可读存储介质存储在绑定加热装置中，绑定加热装置处理器执行计算机可读存储介质中的计算机程序时实现绑定加热的方法。
技术介绍
近年来，采用溅射法制备的薄膜材料因其高致密度、优良附着性等优点，受到平面显示器、电子处理器、玻璃镀膜、光学薄膜等行业的青睐。随着上述领域的高速发展，溅射靶材的需求量急剧增加。根据溅射面的形状，靶材通常可分为平面靶材，旋转靶材和异型靶材。平面靶材溅射使用可达到30％～40％，而旋转靶材溅射使用率可达到80％，旋转靶材呈空心圆管状，能够围绕在固定的磁控溅射设备上旋转，可360度均匀刻蚀靶面，这样均匀的使用让靶材表面光滑，减少“结瘤”现象的产生，提升镀膜均匀性，提高靶材的利用率，从而降低镀膜成本，因此旋转靶材是未来发展的一大趋势。在旋转靶材的制备工艺中，对于无法用喷涂浇筑方式生产的陶瓷靶材和某些金属靶材，需用绑定贴合法(绑定)将需要溅射的靶材与背管绑定。目前绑定方法大多是将直径较大的外管靶材套在直径相对较小的背管上，用金属铟或导电胶等具有良好导电导热性能的焊料填充两者的间隙，将外管靶材和背管焊接。用金属铟绑定的方法需要将铟加热并维持在熔点以上的状态时注入，因此在绑定过程中的温度控制极为重要，一旦加热温度控制失误，就有可能造成背管膨胀进而导致外管靶材崩裂。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是：提供一种简化的绑定加热设备，其能减少靶材崩裂风险。提供一种旋转靶材的绑定加热装置，旋转靶材包括背管和多节环状靶管，该绑定加热装置包括内加热结构和外加热结构；所述内加热结构包括供待绑定背管套装在其管壁外的环状定位管，环状定位管底部为进风口，顶部为出风口；所述外加热结构包括多节环状加热罩和分别安装在各节加热罩内壁的加热管，以及用于固定最下层环状加热罩的安装底座，所述外加热结构还包括密封盖，所述密封盖可拆卸地安装在最上层环状加热罩顶部；所述内加热结构的热风通道和外加热结构的加热管同步工作以使背管内外温度处于预设差值范围内。优选地，所述环状定位管以中心轴竖置的方式竖向固定在所述安装底座上。优选地，包括设在环状定位管外壁的背管温度检测装置。优选地，所述环状定位管外壁和/或所述加热罩内部设有螺旋向上的导流叶片。优选地，所述加热罩开有高温可视操作窗口。优选地，所述安装底座上还固定有绑定材料进料装置，所述绑定材料进料装置自侧面开口进料而从顶部开口出料，在背管安装在环状定位管外、靶管套设在背管外的状态下，所述顶部开口对准靶管与背管之间的间隙；所述绑定材料进料装置的侧面开口还连接有送风装置。优选地，所述绑定材料进料装置的外壁绕设有加热管。优选地，所述绑定材料进料装置的中心设有密封的通槽，有进风管从该通槽内向上伸入环状定位管内。优选地，相邻两节靶管之间的间隙设有间隙垫片。还提供一种旋转靶材的绑定加热方法，其通过上述加热装置对靶管和背管进行加热时，分别控制内加热结构和外加热结构的温度以使背管内外温度处于预设差值范围内。还提供一种计算机可读存储介质，该存储介质存储有可执行计算机程序，计算机程序被旋转靶材的绑定加热装置的处理器执行时能够实现上述旋转靶材的绑定加热方法。有益效果：该旋转靶材的绑定加热装置设有内加热结构和外加热结构：内加热结构的环状定位管一方面用于限制待绑定背管的位置，另一方面用于引导热风向背管传递热量，在环状定位管与背管之间通热风后实现对背管的快速升温；外加热结构为多节环状加热罩，各个环状加热罩可密封叠置以适应不用高度的靶材，外加热结构的密封盖可拆卸地安装在最上层环状加热罩顶部，外加热结构与安装底座一起构成全密封结构，将背管和靶材罩在内部。通过内加热结构的热风通道和外加热结构的加热管同步工作，使得背管内外温度处于预设差值范围内，如此则待绑定的靶管内外温度保持一致，减少外管靶材崩裂的几率。附图说明图1是本专利技术的旋转靶材的绑定加热装置的结构示意图。图2是本专利技术的旋转靶材的绑定加热装置的外加热结构示意图。图3是本专利技术的旋转靶材的绑定加热装置的内加热结构与靶材、背管的安装结构示意图。图4是绑定材料进料装置的结构示意图。图5是本专利技术的旋转靶材的绑定加热装置的环状定位管外壁导流叶片结构示意图。图6是本专利技术的旋转靶材的绑定加热装置的绑定密封结构的位置示意图。图7是图6的绑定密封结构中A处放大结构示意图。图8是图7的绑定密封结构中A处内部a处放大的密封结构密封层次示意图。具体实施方式以下结合具体实施方式对本专利技术创造作进一步详细说明。本实施例的旋转靶材的绑定加热装置如图1和2所示，旋转靶材包括一根内径为125mm的背管5和多节靶管6，绑定过程即为将各节靶管6都以导热导电的方式套装固定到背管5外壁的过程。本实施例采用在背管5和靶管6之间灌注铟液(绑定材料)的方式实现绑定，其中需要对铟液进行加热以使其保持流动，本实施例采用的绑定加热装置包括内加热结构和外加热结构。如图2所示，外加热结构包括多节环状加热罩3和分别安装在各节加热罩3内壁的加热管32，以及用于固定最下层环状加热罩3的安装底座，外加热结构还包括密封盖4，密封盖4可拆卸地安装在最上层环状加热罩3顶部。待绑定的靶管6越多则需要叠置的环状加热罩3越多，相邻的环状加热罩3之间通过垫圈密封。加热罩3内设有多处靶管温度检测装置，加热罩3外壁开有高温可视操作窗口31，以便观察靶管6加热状态。见图3，内加热结构包括供待绑定背管5套装在其管壁外的环状定位管81，环状定位管81的外径为90mm左右，环状定位管81以中心轴竖置的方式竖向固定在安装底座上。环状定位管81底部为进风口，进风管82从安装底座底部向上穿出安装底座后伸入到环状定位管81与背管5之间，从而为背管5提供热风加热。环状定位管81顶部为出风口，密封件7安装在该出风口处从而挡住出风口顶面，密封件7的中心轴处往上伸出有出风管71，出风管71底部侧壁开有过风孔，被密封件7挡住的热风自过风孔处进入出风管71后向外排出。内加热结构还包括设在环状定位管81外壁的背管温度检测装置。其中，见图3和图4，安装底座上还固定有绑定材料进料装置83，绑定材料进料装置83自侧面开口831进料而从顶部开口832出料，在背管5安装在环状定位管81外、靶管6分节套设在背管5外的状态下，绑定材料进料装置83顶部开口832对准靶管6与背管5之间的间隙。绑定材料进料装置83的侧面开口831还连接有送风装置(外部热循环加热风机)。其中，绑定材料进料装置83的中心设有对内密封的通槽，以使绑定材料进料装置83主体形成环状结构，该环状主体的外壁绕设有加热管，上述进风管82从该通槽内向上伸入环状定位管81与背管5之间。外部热循环加热风机一方面为内加热结构供热风本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.旋转靶材的绑定加热装置，旋转靶材包括背管和多节环状靶管，其特征是，该绑定加热装置包括内加热结构和外加热结构；所述内加热结构包括供待绑定背管套装在其管壁外的环状定位管，环状定位管底部为进风口，顶部为出风口；所述外加热结构包括多节环状加热罩和分别安装在各节加热罩内壁的加热管，以及用于固定最下层环状加热罩的安装底座，所述外加热结构还包括密封盖，所述密封盖可拆卸地安装在最上层环状加热罩顶部；所述内加热结构的热风通道和外加热结构的加热管同步工作以使背管内外温度处于预设差值范围内。/n

【技术特征摘要】
1.旋转靶材的绑定加热装置，旋转靶材包括背管和多节环状靶管，其特征是，该绑定加热装置包括内加热结构和外加热结构；所述内加热结构包括供待绑定背管套装在其管壁外的环状定位管，环状定位管底部为进风口，顶部为出风口；所述外加热结构包括多节环状加热罩和分别安装在各节加热罩内壁的加热管，以及用于固定最下层环状加热罩的安装底座，所述外加热结构还包括密封盖，所述密封盖可拆卸地安装在最上层环状加热罩顶部；所述内加热结构的热风通道和外加热结构的加热管同步工作以使背管内外温度处于预设差值范围内。


2.根据权利要求1所述的旋转靶材的绑定加热装置，其特征是，所述环状定位管以中心轴竖置的方式竖向固定在所述安装底座上。


3.根据权利要求1所述的旋转靶材的绑定加热装置，其特征是，包括设在环状定位管外壁的背管温度检测装置。


4.根据权利要求1所述的旋转靶材的绑定加热装置，其特征是，所述环状定位管外壁和/或所述加热罩内部设有螺旋向上的导流叶片。


5.根据权利要求1所述的旋转靶材的绑定加热装置，其特征是，所述加热罩开有高温可视操作窗口...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷雨，周志宏，肖世洪，周昭宇，汪政军，刘芳，
申请(专利权)人：广州市尤特新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44