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本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种旋转靶材的绑定加热装置、方法及计算机可读存储介质。加热装置设有内加热结构和外加热结构：内加热结构的环状定位管用于引导热风向背管传递热量，在环状定位管与背管之间通热风后实现对背管的快速升温；外加...
该专利属于广州市尤特新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州市尤特新材料有限公司授权不得商用。

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