对准装置、透镜对准系统制造方法及图纸

该对准装置具备：基座工作台；多个电动致动器，它们安装于基座工作台；以及对准工作台，其支承于多个电动致动器。多个电动致动器分别具有在相对于基座工作台接近远离的方向上驱动对准工作台的直动装置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】对准装置、透镜对准系统
本专利技术涉及对准装置、透镜对准系统。本申请基于2018年12月3日在日本申请的特愿2018-226797号、以及2019年7月18日在日本申请的特愿2019-132721号而主张优先权，并将它们的内容援引于此。
技术介绍
下述专利文献1所记载的对准装置具备倾斜调整机构(参照专利文献1的第10图及第11图)。该倾斜调整机构具备夹设在滑动基座(基座工作台)与搭载有光学系统的共用基座(对准工作台)之间的第1～第4调整螺钉。在该对准装置中，通过使这些第1～第4调整螺钉可动，从而相对于滑动基座来调整共用基座的倾斜。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开昭59-86200号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题为了相对于滑动基座来调整共用基座的倾斜，在上述调整螺钉的螺母与丝杠轴之间需要一定程度的间隙。然而，需要的间隙量与作为目标的倾斜相应地变化，因此难以选定适当的螺母和丝杠轴。本专利技术提供相对于作为目标的对准工作台的倾斜，具备适当的螺母和丝杠轴的间隙量的对准本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电动对准装置，其中，/n所述电动对准装置具备：/n基座工作台；/n多个电动致动器，它们安装于所述基座工作台；以及/n对准工作台，其支承于所述多个电动致动器，/n所述多个电动致动器分别具有在相对于所述基座工作台接近远离的方向上驱动所述对准工作台的直动装置。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20181203 JP 2018-226797;20190718 JP 2019-1327211.一种电动对准装置，其中，
所述电动对准装置具备：
基座工作台；
多个电动致动器，它们安装于所述基座工作台；以及
对准工作台，其支承于所述多个电动致动器，
所述多个电动致动器分别具有在相对于所述基座工作台接近远离的方向上驱动所述对准工作台的直动装置。


2.根据权利要求1所述的电动对准装置，其中，
所述直动装置具有：
螺母，其固定于所述基座工作台和所述对准工作台中的一方；以及
丝杠轴，其对所述螺母在相对于所述基座工作台和所述对准工作台中的另一方接近远离的轴向上进行驱动。


3.根据权利要求2所述的电动对准装置，其中，
在所述丝杠轴与所述螺母之间形成有用于使所述对准工作台相对于所述基座工作台倾斜的摆动角调整部。


4.根据权利要求2或3所述的电动对准装置，其中，
所述电动对准装置具有施力构件，该施力构件向相对于所述基座工作台远离的方向对所述对准工作台施力。


5.根据权利要求2～4中任一项所述的电动对准装置，其中，
所述电动对准装置具有定位销，该定位销对所述基座工作台和所述对准工作台中的一方以及所述螺母在与轴向交叉的平面方向上进行定位。


6.一种透镜对准系统，其中，
所述透镜对准系统具备：
权利要求1～5中任一项所述的电动对准装置，其对投射光的透镜的摆动角以及该透镜的聚焦中的至少任一个进行调整；以及
电动透镜移位装置，其对所述电动对准装置进行支承，并使该电动对准装置至少在与所述光的光轴方向正交的2轴正交方向上移动。


7.一种对准装置，其中，<...

【专利技术属性】
技术研发人员：福岛一，广田淳，井口润一，岛村真理惠，
申请(专利权)人：THK株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP