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对准装置、透镜对准系统制造方法及图纸
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下载对准装置、透镜对准系统的技术资料
文档序号:29418904
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该对准装置具备:基座工作台;多个电动致动器,它们安装于基座工作台;以及对准工作台,其支承于多个电动致动器。多个电动致动器分别具有在相对于基座工作台接近远离的方向上驱动对准工作台的直动装置。...
该专利属于THK株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过THK株式会社授权不得商用。
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