基板搬运机器人及基板搬运方法技术

基板搬运机器人(10)具备：基台(31)；手(12)，具有载置基板(W)的基板载置部(12a)；多关节构造的机器人臂(11)，基端部与基台连结，前端部与手连结，包括多个关节(61、62、63)；机器人臂驱动机构(20)，包括驱动源(22)、和将驱动源的驱动力传递至机器人臂的关节来使关节位移的驱动力传递部(23)；机器人控制部(41)，控制驱动源的动作以使手在目标位置采取目标姿势，机器人控制部使手从手拾起基板的位置即第1目标位置(L3)的下方的第1下方位置(L1)上升到第1目标位置的上方的第1上方位置(L4)，并在从第1下方位置到第1下方位置与第1目标位置之间的第1中间位置(L2)的第1区间(A1)使多个关节的至少1个单向地位移。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板搬运机器人及基板搬运方法
本专利技术涉及基板搬运机器人及基板搬运方法。
技术介绍
以往以来公知有移送晶片的机器人。专利文献1的机器人将收容于FOUP等晶片载体的晶片取出后，使晶片向定位器移动。然后，机器人使在定位器中粗略对准后的晶片移动至工作台。然后，在工作台精密地进行对准，进行晶片的试验等处理。专利文献1：日本特表2010-527515号公报但是，专利文献1的机器人在从定位器搬运至工作台时有可能打乱晶片的对准，因此存在需要在工作台进行精密的对位的问题。
技术实现思路
为了解决上述课题，本专利技术的一个形态所涉及的基板搬运机器人具备：基台；手，具有载置基板的基板载置部；多关节构造的机器人臂，其基端部与前述基台连结，前端部与前述手连结，并且包括多个关节；机器人臂驱动机构，包括驱动源、和将前述驱动源的驱动力传递至前述机器人臂的前述关节来使该关节位移的驱动力传递部；以及机器人控制部，控制前述驱动源的动作以使前述手在目标位置采取目标姿势，前述机器人控制部使前述手从前述手拾起前述基板的位置亦即第1目标位置的下方的第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板搬运机器人，其特征在于，具备：/n基台；/n手，具有载置基板的基板载置部；/n多关节构造的机器人臂，其基端部与所述基台连结，前端部与所述手连结，并且包括多个关节，/n机器人臂驱动机构，包括驱动源、和将所述驱动源的驱动力传递至所述机器人臂的所述关节来使该关节位移的驱动力传递部；以及/n机器人控制部，控制所述驱动源的动作以使所述手在目标位置采取目标姿势，/n所述机器人控制部使所述手从所述手拾起所述基板的位置亦即第1目标位置的下方的第1下方位置上升到所述第1目标位置的上方的第1上方位置，并且在从所述第1下方位置到该第1下方位置与所述第1目标位置之间的第1中间位置的第1区间，使多个所述关节...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20190509 US 16/407,6011.一种基板搬运机器人，其特征在于，具备：
基台；
手，具有载置基板的基板载置部；
多关节构造的机器人臂，其基端部与所述基台连结，前端部与所述手连结，并且包括多个关节，
机器人臂驱动机构，包括驱动源、和将所述驱动源的驱动力传递至所述机器人臂的所述关节来使该关节位移的驱动力传递部；以及
机器人控制部，控制所述驱动源的动作以使所述手在目标位置采取目标姿势，
所述机器人控制部使所述手从所述手拾起所述基板的位置亦即第1目标位置的下方的第1下方位置上升到所述第1目标位置的上方的第1上方位置，并且在从所述第1下方位置到该第1下方位置与所述第1目标位置之间的第1中间位置的第1区间，使多个所述关节中的至少1个所述关节单向地位移。


2.根据权利要求1所述的基板搬运机器人，其特征在于，
所述机器人控制部在所述第1区间使各所述关节单向地位移。


3.根据权利要求1或2所述的基板搬运机器人，其特征在于，
所述基板搬运机器人将保持于定位器的所述基板移送至工作台，
所述第1目标位置是将保持于所述定位器的所述基板拾起的位置。


4.根据权利要求1或2所述的基板搬运机器人，其特征在于，
所述驱动力传递部包括将所述驱动力传递至所述关节的齿轮、齿形带以及链中的至少任一个。


5.一种基板搬运机器人，其特征在于，具备：
基台；
手，具有载置基板的基板载置部；
多关节构造的机器人臂，其基端部与所述基台连结，前端部与所述手连结，并且包括多个关节...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉田雅也，阿维什·阿肖克·巴瓦尼，曾铭，布兰东·李，里安·勒，
申请(专利权)人：川崎重工业株式会社，川崎机器人美国有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP