基板搬运机器人及基板搬运方法技术

基板搬运机器人(10)具备：基台(31)；手(12)，具有载置基板(W)的基板载置部(12a)；多关节构造的机器人臂(11)，基端部与基台连结，前端部与手连结，包括多个关节(61、62、63)；机器人臂驱动机构(20)，包括驱动源(22)、和将驱动源的驱动力传递至机器人臂的关节来使关节位移的驱动力传递部(23)；机器人控制部(41)，控制驱动源的动作以使手在目标位置采取目标姿势，机器人控制部使手从手拾起基板的位置即第1目标位置(L3)的下方的第1下方位置(L1)上升到第1目标位置的上方的第1上方位置(L4)，并在从第1下方位置到第1下方位置与第1目标位置之间的第1中间位置(L2)的第1区间(A1)使多个关节的至少1个单向地位移。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板搬运机器人及基板搬运方法
本专利技术涉及基板搬运机器人及基板搬运方法。
技术介绍
以往以来公知有移送晶片的机器人。专利文献1的机器人将收容于FOUP等晶片载体的晶片取出后，使晶片向定位器移动。然后，机器人使在定位器中粗略对准后的晶片移动至工作台。然后，在工作台精密地进行对准，进行晶片的试验等处理。专利文献1：日本特表2010-527515号公报但是，专利文献1的机器人在从定位器搬运至工作台时有可能打乱晶片的对准，因此存在需要在工作台进行精密的对位的问题。
技术实现思路
为了解决上述课题，本专利技术的一个形态所涉及的基板搬运机器人具备：基台；手，具有载置基板的基板载置部；多关节构造的机器人臂，其基端部与前述基台连结，前端部与前述手连结，并且包括多个关节；机器人臂驱动机构，包括驱动源、和将前述驱动源的驱动力传递至前述机器人臂的前述关节来使该关节位移的驱动力传递部；以及机器人控制部，控制前述驱动源的动作以使前述手在目标位置采取目标姿势，前述机器人控制部使前述手从前述手拾起前述基板的位置亦即第1目标位置的下方的第1下方位置上升到前述第1目标位置的上方的第1上方位置，并在从前述第1下方位置到该第1下方位置与前述第1目标位置之间的第1中间位置的第1区间使多个前述关节中的至少1个前述关节单向地位移。根据该结构，能够使手的定位精度提高。本专利技术起到能够使手的定位精度提高的效果。附图说明图1是表示实施方式所涉及的基板处理系统的结构例的俯视图。图2是表示图1的基板处理系统的基板移载设备的结构例的立体图。图3是表示图1的基板处理系统的基板搬运机器人的驱动机构的结构例的剖视图。图4是表示图1的基板处理系统的基板搬运机器人从定位器的保持部拾起晶片的动作例的图。图5是表示图1的基板处理系统的基板搬运机器人将晶片放置于工作台的动作例的图。图6是表示图1的基板处理系统的基板搬运机器人的定位误差的测量结果的图。具体实施方式一个形态所涉及的基板搬运机器人具备：基台；手，具有载置基板的基板载置部；多关节构造的机器人臂，其基端部与前述基台连结，前端部与前述手连结，并且包括多个关节；机器人臂驱动机构，包括驱动源、和将前述驱动源的驱动力传递至前述机器人臂的前述关节来使该关节位移的驱动力传递部；以及机器人控制部，控制前述驱动源的动作以使前述手在目标位置采取目标姿势，前述机器人控制部使前述手从前述手拾起前述基板的位置亦即第1目标位置的下方的第1下方位置上升到前述第1目标位置的上方的第1上方位置，并在从前述第1下方位置到该第1下方位置与前述第1目标位置之间的第1中间位置的第1区间，使多个前述关节中的至少1个前述关节单向地位移。根据该结构，能够使手的定位精度提高。也可以构成为，前述机器人控制部在前述第1区间使各前述关节单向地位移。根据该结构，能够使手的定位精度进一步提高。也可以构成为，前述基板搬运机器人将保持于定位器的前述基板移送至工作台，前述第1目标位置是将保持于前述定位器的前述基板拾起的位置。根据该结构，能够抑制在定位器进行了对位的基板的位置在从定位器拾起基板时错乱。另一形态所涉及的基板搬运机器人具备：基台；手，具有载置基板的基板载置部；多关节构造的机器人臂，其基端部与前述基台连结，前端部与前述手连结，并包括多个关节；机器人臂驱动机构，包括驱动源、和将前述驱动源的驱动力传递至前述机器人臂的前述关节来使该关节位移的驱动力传递部；以及机器人控制部，控制前述驱动源的动作以使前述手在目标位置采取目标姿势，前述机器人控制部使前述手从前述手将前述基板放置于工作台的位置亦即第2目标位置的上方的第2上方位置下降到前述第2目标位置的下方的第2下方位置，并在从前述第2上方位置到该第2上方位置与前述第2目标位置之间的第2中间位置的第2区间使多个前述关节中的至少1个前述关节单向地位移。根据该结构，能够使手的定位精度提高，并能够使基板处理设备的生产率提高。另外，能够抑制在定位器进行了对位的基板的位置在将基板放置于工作台时错乱。也可以构成为，前述机器人控制部在前述第2区间使各前述关节单向地位移。根据该结构，能够使手的定位精度进一步提高。也可以构成为，前述驱动力传递部包括将前述驱动力传递至前述关节的齿轮、齿形带以及链中的至少任一个。根据该结构，能够抑制由齿隙引起的手的定位精度的下降。以下，参照附图对实施方式进行说明。此外，并不通过本实施方式限定本专利技术。另外，以下，在全部附图中，对相同或者相当的要素标注相同的附图标记，省略其重复的说明。图1是表示实施方式所涉及的基板处理系统100的结构例的俯视图。如图1所示，基板处理系统100具备基板处理设备1和基板移载设备2，将以多个收容于被称为FOUP(FrontOpeningUnifiedPod)的载体110的状态被搬运至基板处理系统100的晶片W，通过基板移载设备2从载体110取出，移送至基板处理设备1的工作台3。此时，基板移载设备2调整晶片W的朝向，载置于工作台3。然后，在基板处理设备1中对晶片W实施预先决定的处理。在本实施方式中，在基板处理设备1，对生成了多个芯片的硅晶片W实施评价各芯片的电路的特性的试验。然后，在对晶片W实施预先决定的处理后，基板移载设备2将晶片W从工作台3移送至载体110，再次收容于载体110。为了防止这些过程中的颗粒向晶片W的附着等，基板处理系统100包括用于较高地保持基板处理设备1的处理空间1a和基板移载设备2的准备空间2a的清洁度的未图示的装置。此外，基板处理系统100处理的基板并不限于晶片，也可以是玻璃基板。图2是表示基板移载设备2的结构例的立体图。图3是表示基板搬运机器人10的机器人臂驱动机构20的结构例的剖视图。基板移载设备2是在载体110与工作台3之间移送晶片W的设备，包括基板搬运机器人10。另外，基板移载设备2包括在从载体110朝向工作台3移送晶片W的过程中调整晶片W的朝向的定位器50。基板搬运机器人10是配置于基板移载设备2的准备空间2a的机器人，例如是SCARA型水平多关节机器人。如图2所示，基板搬运机器人10包括机器人臂11、手12、机器人臂驱动机构20(参照图3)、基台31、机器人控制部41。基台31固定于基板移载设备2的准备空间2a。手(叶片)12是在其上载置晶片W的被动手，具有形成为在水平方向上延伸的薄板状并在上表面载置晶片W的基板载置部12a。在基板载置部12a，形成宽度方向中央部的前端部朝向手12的基端侧被较大地切口的切口12b，从而在为了将晶片W载置于工作台3、后述的定位器50的保持部51或将晶片W从上述部件拾起而使手12升降时，手12不干扰工作台3、保持部51。此外，取而代之，手12也可以是将晶片W吸引保持的伯努利手等吸引保持工件的吸附手、把持晶片W的边缘的边缘夹持手。机器人臂11是包括多个关节的多关节构造，基端部与基台31连结，前端部与本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板搬运机器人，其特征在于，具备：/n基台；/n手，具有载置基板的基板载置部；/n多关节构造的机器人臂，其基端部与所述基台连结，前端部与所述手连结，并且包括多个关节，/n机器人臂驱动机构，包括驱动源、和将所述驱动源的驱动力传递至所述机器人臂的所述关节来使该关节位移的驱动力传递部；以及/n机器人控制部，控制所述驱动源的动作以使所述手在目标位置采取目标姿势，/n所述机器人控制部使所述手从所述手拾起所述基板的位置亦即第1目标位置的下方的第1下方位置上升到所述第1目标位置的上方的第1上方位置，并且在从所述第1下方位置到该第1下方位置与所述第1目标位置之间的第1中间位置的第1区间，使多个所述关节中的至少1个所述关节单向地位移。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20190509 US 16/407,6011.一种基板搬运机器人，其特征在于，具备：
基台；
手，具有载置基板的基板载置部；
多关节构造的机器人臂，其基端部与所述基台连结，前端部与所述手连结，并且包括多个关节，
机器人臂驱动机构，包括驱动源、和将所述驱动源的驱动力传递至所述机器人臂的所述关节来使该关节位移的驱动力传递部；以及
机器人控制部，控制所述驱动源的动作以使所述手在目标位置采取目标姿势，
所述机器人控制部使所述手从所述手拾起所述基板的位置亦即第1目标位置的下方的第1下方位置上升到所述第1目标位置的上方的第1上方位置，并且在从所述第1下方位置到该第1下方位置与所述第1目标位置之间的第1中间位置的第1区间，使多个所述关节中的至少1个所述关节单向地位移。


2.根据权利要求1所述的基板搬运机器人，其特征在于，
所述机器人控制部在所述第1区间使各所述关节单向地位移。


3.根据权利要求1或2所述的基板搬运机器人，其特征在于，
所述基板搬运机器人将保持于定位器的所述基板移送至工作台，
所述第1目标位置是将保持于所述定位器的所述基板拾起的位置。


4.根据权利要求1或2所述的基板搬运机器人，其特征在于，
所述驱动力传递部包括将所述驱动力传递至所述关节的齿轮、齿形带以及链中的至少任一个。


5.一种基板搬运机器人，其特征在于，具备：
基台；
手，具有载置基板的基板载置部；
多关节构造的机器人臂，其基端部与所述基台连结，前端部与所述手连结，并且包括多个关节...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉田雅也，阿维什·阿肖克·巴瓦尼，曾铭，布兰东·李，里安·勒，
申请(专利权)人：川崎重工业株式会社，川崎机器人美国有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP