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基板搬运机器人(10)具备：基台(31)；手(12)，具有载置基板(W)的基板载置部(12a)；多关节构造的机器人臂(11)，基端部与基台连结，前端部与手连结，包括多个关节(61、62、63)；机器人臂驱动机构(20)，包括驱动源(22)、...该专利属于川崎重工业株式会社;川崎机器人(美国)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过川崎重工业株式会社;川崎机器人(美国)有限公司授权不得商用。