光刻胶回收装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种光刻胶回收装置，包括旋转组件、升降隔离组件及回收组件，升降隔离组件包括隔离挡板、顶升杆及升降驱动件，升降驱动件设置于基座上，顶升杆的一端与升降驱动件连接，顶升杆的另一端设置于隔离挡板上，并且隔离挡板收容于容置槽内，升降驱动件用于驱动顶升杆升降，进而使得隔离挡板做上下移动。本实用新型专利技术通过在废液回收槽体及光刻胶回收槽体之间设置隔离挡板，使得装置在处于不同状态的时候，可以升起或者下降隔离挡板，进而实现光刻胶和废液的分离回收，提高回收效率。本装置将清洁排液系统和生产排液系统分开，以达到光刻胶不被污染，可以有效地进行回收利用。

【技术实现步骤摘要】
光刻胶回收装置
本技术涉及光刻胶涂胶生产领域，特别是涉及一种光刻胶回收装置。
技术介绍
集成电路制造技术是微电子工业的基础，近年来，随着集成电路器件的蓬勃发展，也带动了半导体制作工艺的发展，其生产规模越来越大；当然，在半导体制作过程中，光刻胶的涂覆是一道非常重要的工艺工序，因为将光刻胶涂覆在半导体、导体和绝缘体等样品上，然后经过黄光工艺中的曝光、显影后留下的光刻胶对底层起保护作用，再采用相应的超净高纯试剂对没有留下光刻胶的地方进行蚀刻，从而可以完成将掩膜版Mask图形转移到样品上的一个图形转移过程，这样就可以在样品上制作出非常精细的图案，是一道比较精细和精密的过程。所以，对光刻胶的涂覆要求则比较高，尤其是涂覆光刻胶膜层的品质和均匀性。目前，业界半导体黄光工艺中用到的光刻胶涂胶工艺和设备主要有Spin旋转涂布、辗涂、浸涂以及喷涂等几种方式。在电子工业的半导体制作过程中Spin旋转涂布因为其光刻胶膜厚涂覆比较均匀而应用得最多，但Spin涂胶机由于自身设备工艺的特点，在旋转台板高速旋转时，光刻胶均匀散布在整张基板上的同时，大部分的光刻胶则会被甩出，这部分被甩出的光刻胶与光刻胶清洁剂混合，导致光刻胶被污染，无法简单有效的回收利用，最终只能作为废液排出，造成极大的浪费。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术中的不足之处，提供一种将清洁排液系统和生产排液系统分开，以达到光刻胶不被污染，可以进行有效回收利用的光刻胶回收装置。本技术的目的是通过以下技术方案来实现的：一种光刻胶回收装置，包括：旋转组件，所述旋转组件包括基座、旋转基台、旋转外壳及旋转驱动件，所述旋转驱动件设置于所述基座上，所述旋转外壳固定于所述旋转驱动件上，所述旋转外壳上开设有容置槽，所述旋转基台收容于所述容置槽内，并且所述旋转基台设置于所述旋转驱动件的输出端上；升降隔离组件，所述升降隔离组件包括隔离挡板、顶升杆及升降驱动件，所述升降驱动件设置于所述基座上，所述顶升杆的一端与所述升降驱动件连接，所述顶升杆的另一端设置于所述隔离挡板上，并且所述隔离挡板收容于所述容置槽内，所述升降驱动件用于驱动所述顶升杆升降，进而使得所述隔离挡板做上下移动；及回收组件，所述回收组件包括废液回收槽体及光刻胶回收槽体，所述废液回收槽体设置于所述隔离挡板内侧区域处，所述光刻胶回收槽体设置于所述隔离挡板的外侧区域及所述旋转外壳之间。在其中一个实施例中，所述旋转驱动件包括旋转电机、旋转驱动杆及固定轴套，所述旋转电机设置于所述基座上，所述旋转驱动杆的一端与所述旋转电机的输出端连接，所述旋转驱动杆的另一端设置于所述旋转基台上，所述固定轴套套置于所述旋转驱动杆外，并且所述旋转外壳设置于所述固定轴套远离所述旋转电机的一端上。在其中一个实施例中，所述隔离挡板为环形结构。在其中一个实施例中，所述顶升杆设置有多个，所述升降驱动件设置有多个，每一所述升降驱动件分别对应与一个所述顶升杆连接，并且所述旋转外壳的底板上开设有多个通孔，每一所述顶升杆远离所述升降驱动件的一端分别对应穿设一所述通孔，所述顶升杆远离所述升降驱动件的一端设置于所述隔离挡板上。在其中一个实施例中，所述升降驱动件为升降电机。在其中一个实施例中，所述升降隔离组件还包括支撑座，所述支撑座设置于所述基座上，所述升降驱动件设置于所述支撑座上。在其中一个实施例中，所述回收组件还包括下滑圆盘，所述下滑圆盘的圆心位置处套置于所述旋转驱动杆上，所述下滑圆盘的边缘位置处与所述废液回收槽体连接。在其中一个实施例中，所述废液回收槽体的侧壁上具有倾斜斜面，所述光刻胶回收槽体的侧壁上具有下滑斜面。在其中一个实施例中，所述回收组件还包括废液回收管及废液收集箱，所述废液收集箱放置于所述基座上，所述旋转外壳位于所述废液回收槽体的底部位置处开设有废液漏液孔，所述废液回收管的一端与所述废液漏液孔连通，所述废液回收管的另一端与所述废液收集箱的进液口连通。在其中一个实施例中，所述回收组件还包括光刻胶回收管及光刻胶收集箱，所述光刻胶收集箱放置于所述基座上，所述旋转外壳位于所述光刻胶回收槽体的底部位置处开设有光刻胶漏液孔，所述光刻胶回收管的一端与所述光刻胶漏液孔连通，所述光刻胶回收管的另一端与所述光刻胶收集箱的进液口连通。本技术相比于现有技术的优点及有益效果如下：本技术为一种光刻胶回收装置，通过在废液回收槽体及光刻胶回收槽体之间设置隔离挡板，使得装置在处于不同状态的时候，可以升起或者下降隔离挡板，进而实现光刻胶和废液的分离回收，提高回收效率。本装置将清洁排液系统和生产排液系统分开，以达到光刻胶不被污染，可以有效地进行回收利用。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本技术一实施方式的光刻胶回收装置的结构示意图；图2为图1所示的光刻胶回收装置的内部结构示意图。具体实施方式为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的较佳实施方式。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本技术的公开内容理解的更加透彻全面。需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。请参阅图1，一种光刻胶回收装置，包括：旋转组件100、升降隔离组件200及回收组件300，需要说明的是，所述旋转组件100用于转动旋转基台，所述升降隔离组件200用于隔离旋转过程中的废液和光刻胶，所述回收组件300用于回收废液或者光刻胶。请参阅图1和图2，所述旋转组件100包括基座110、旋转基台120、旋转外壳130及旋转驱动件140，所述旋转驱动件设置于所述基座上，所述旋转外壳固定于所述旋转驱动件上，所述旋转外壳上开设有容置槽131，所述旋转基台收容于所述容置槽内，并且所述旋转基台设置于所述旋转驱动件的输出端上。需要说明的是，所述基座110用于固定整个装置；所述旋转基台120用于放置待涂胶的液晶面板，并且通过外部的放胶本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻胶回收装置，其特征在于，包括：/n旋转组件，所述旋转组件包括基座、旋转基台、旋转外壳及旋转驱动件，所述旋转驱动件设置于所述基座上，所述旋转外壳固定于所述旋转驱动件上，所述旋转外壳上开设有容置槽，所述旋转基台收容于所述容置槽内，并且所述旋转基台设置于所述旋转驱动件的输出端上；/n升降隔离组件，所述升降隔离组件包括隔离挡板、顶升杆及升降驱动件，所述升降驱动件设置于所述基座上，所述顶升杆的一端与所述升降驱动件连接，所述顶升杆的另一端设置于所述隔离挡板上，并且所述隔离挡板收容于所述容置槽内，所述升降驱动件用于驱动所述顶升杆升降，进而使得所述隔离挡板做上下移动；及/n回收组件，所述回收组件包括废液回收槽体及光刻胶回收槽体，所述废液回收槽体设置于所述隔离挡板内侧区域处，所述光刻胶回收槽体设置于所述隔离挡板的外侧区域及所述旋转外壳之间。/n

【技术特征摘要】
1.一种光刻胶回收装置，其特征在于，包括：
旋转组件，所述旋转组件包括基座、旋转基台、旋转外壳及旋转驱动件，所述旋转驱动件设置于所述基座上，所述旋转外壳固定于所述旋转驱动件上，所述旋转外壳上开设有容置槽，所述旋转基台收容于所述容置槽内，并且所述旋转基台设置于所述旋转驱动件的输出端上；
升降隔离组件，所述升降隔离组件包括隔离挡板、顶升杆及升降驱动件，所述升降驱动件设置于所述基座上，所述顶升杆的一端与所述升降驱动件连接，所述顶升杆的另一端设置于所述隔离挡板上，并且所述隔离挡板收容于所述容置槽内，所述升降驱动件用于驱动所述顶升杆升降，进而使得所述隔离挡板做上下移动；及
回收组件，所述回收组件包括废液回收槽体及光刻胶回收槽体，所述废液回收槽体设置于所述隔离挡板内侧区域处，所述光刻胶回收槽体设置于所述隔离挡板的外侧区域及所述旋转外壳之间。


2.根据权利要求1所述的光刻胶回收装置，其特征在于，所述旋转驱动件包括旋转电机、旋转驱动杆及固定轴套，所述旋转电机设置于所述基座上，所述旋转驱动杆的一端与所述旋转电机的输出端连接，所述旋转驱动杆的另一端设置于所述旋转基台上，所述固定轴套套置于所述旋转驱动杆外，并且所述旋转外壳设置于所述固定轴套远离所述旋转电机的一端上。


3.根据权利要求1所述的光刻胶回收装置，其特征在于，所述隔离挡板为环形结构。


4.根据权利要求1所述的光刻胶回收装置，其特征在于，所述顶升杆设置有多个，所述升降驱动件设置有多个，每一所述升降驱动件分别对应与一个所述顶升杆连接，并且所述旋转外壳的底...

【专利技术属性】
技术研发人员：张卫丽，申浩，司斌，李伟界，
申请(专利权)人：信利惠州智能显示有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44