下载光刻胶回收装置的技术资料

文档序号:29391734

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本实用新型公开一种光刻胶回收装置,包括旋转组件、升降隔离组件及回收组件,升降隔离组件包括隔离挡板、顶升杆及升降驱动件,升降驱动件设置于基座上,顶升杆的一端与升降驱动件连接,顶升杆的另一端设置于隔离挡板上,并且隔离挡板收容于容置槽内,升降驱动...
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