一种高效环保的光刻版清洗夹具制造技术

本实用新型专利技术提供一种高效环保的光刻版清洗夹具，属于光刻版清洗夹具技术领域，该高效环保的光刻版清洗夹具包括底盘，所述底盘上表面的一侧开设有第一滑槽，所述底盘上表面的另一侧开设有第二滑槽，所述第一滑槽的内部活动连接有第一滑块，所述第二滑槽的内部活动连接有第二滑块。该高效环保的光刻版清洗夹具，通过底盘、第一滑槽、第二滑槽、第一滑块、第二滑块和夹板的设置，在使用时先将光刻板放入夹板中，多个夹板可同时放入批量光刻板，再将夹具整体放进清洗液中，当清理完一个光刻板后，拨动夹板使第一滑块和第二滑块在第一滑槽和第二滑槽内移动，从而清洗多个光刻板，大大提高了清洗效率。

【技术实现步骤摘要】
一种高效环保的光刻版清洗夹具
本技术属于光刻版清洗夹具
，具体涉及一种高效环保的光刻版清洗夹具。
技术介绍
光刻版是集成电路、显示器、磁盘、光网络器件、生物芯片等许多产品制造中的关键元素，光刻版是覆有微细图形的高精度石英版，这些产品的制造所使用光刻工艺中，光刻版就用来将关键图形印制到硅片或其他基材上，但是光刻版在长期使用中容易被有机物沾污，经常更换成本非常高，定期清洗可以是去除黏附在光刻板上的颗粒，从而达到延长光刻版的使用寿命。但是现有的清洗方式大多是将光刻板放入夹具中，再将手持夹具放进清洗液中，再用清洁工具清理，但是这种夹具夹持数量有限，效率低，不能批量清理，并且夹具夹装麻烦，需要先打开夹具再放入光刻板，清洗不干净，影响清洗效果。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种高效环保的光刻版清洗夹具，旨在解决现有技术中夹具夹装麻烦，夹持数量有限效率低，不能批量清理的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种高效环保的光刻版清洗夹具，包括底盘，所述底盘上表面的一侧开设有第一滑槽，所述底盘上表面的另一侧开设有第二滑槽，所述第一滑槽的内部活动连接有第一滑块，所述第二滑槽的内部活动连接有第二滑块，所述第一滑块和第二滑块的上表面固定连接有夹板，所述夹板上表面的中部开设有放置槽，所述夹板的一侧开设有活动孔，所述活动孔内壁开设有固定槽。为了使得该一种高效环保的光刻版清洗夹具达到便于固定的作用，作为本技术一种优选的，所述固定槽的内部活动连接有固定块。为了使得该一种高效环保的光刻版清洗夹具达到放置方便的作用，作为本技术一种优选的，所述固定块的一侧固定连接有放置板。为了使得该一种高效环保的光刻版清洗夹具达到便于移动的目的，作为本技术一种优选的，所述底盘上表面的中部固定连接有支撑柱。为了使得该一种高效环保的光刻版清洗夹具达到活动方便的效果，作为本技术一种优选的，所述支撑柱的外表面固定连接有固定环，所述固定环与夹板呈活动连接。为了使得该一种高效环保的光刻版清洗夹具达到引流的作用，作为本技术一种优选的，所述第一滑槽和第二滑槽的内部均开设有通孔。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、该高效环保的光刻版清洗夹具，通过底盘、第一滑槽、第二滑槽、第一滑块、第二滑块和夹板的设置，在使用时先将光刻板放入夹板中，多个夹板可同时放入批量光刻板，再将夹具整体放进清洗液中，当清理完一个光刻板后，拨动夹板使第一滑块和第二滑块在第一滑槽和第二滑槽内移动，从而清洗多个光刻板，大大提高了清洗效率。、该高效环保的光刻版清洗夹具，通过活动孔和放置板的设置，在使用时，先将光刻板放在夹板内，再向下拨动放置板使光刻板完全放进夹具中，再放入清洗液中清洗，清洗完成后，可拨动放置板在活动孔内移动使光刻板向上推出，从而方便工作人员拿取光刻板，夹装方便，大大增加了实用性。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：图1为本技术的正视结构示意图；图2为本技术中的左视结构示意图；图3为本技术中的图1中A处放大结构示意图。图中：1、底盘；2、第一滑槽；3、第二滑槽；4、第一滑块；5、第二滑块；6、夹板；7、放置槽；8、活动孔；9、固定槽；10、固定块；11、放置板；12、支撑柱；13、固定环；14、通孔。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例请参阅图1-3，本技术提供以下技术方案：一种高效环保的光刻版清洗夹具，包括底盘1，底盘1上表面的一侧开设有第一滑槽2，底盘1上表面的另一侧开设有第二滑槽3，第一滑槽2的内部活动连接有第一滑块4，第二滑槽3的内部活动连接有第二滑块5，第一滑块4和第二滑块5的上表面固定连接有夹板6，夹板6上表面的中部开设有放置槽7，夹板6的一侧开设有活动孔8，活动孔8内壁开设有固定槽9。在本技术的具体实施例中，在使用时先将光刻板放入夹板6中，多个夹板6可同时放入批量光刻板，再将夹具整体放进清洗液中，当清理完一个光刻板后，拨动夹板6使第一滑块4和第二滑块5在第一滑槽2和第二滑槽3内移动，从而清洗多个光刻板，大大提高了清洗效率。具体的，固定槽9的内部活动连接有固定块10。本实施例中：在使用时，固定块10使夹具连接更牢固，不易滑动。具体的，固定块10的一侧固定连接有放置板11。本实施例中：在使用时，先将光刻板放进夹板6中，清洗完成后，放置板11方便取出光刻板。具体的，底盘1上表面的中部固定连接有支撑柱12。本实施例中：在使用时，可手持支撑柱12放进清洗液中，避免了腐蚀的危险。具体的，支撑柱12的外表面固定连接有固定环13，固定环13与夹板6呈活动连接。本实施例中：在使用时，固定环13使夹板6更稳定的连接和活动，增加了夹具的使用寿命。具体的，第一滑槽2和第二滑槽3的内部均开设有通孔14。本实施例中：在清洗完成后，拿出夹具时，通孔14可将残留的清洗液流出，防止污染。本技术的工作原理及使用流程：该一种高效环保的光刻版清洗夹具在使用时，先将光刻板放入夹板6中，多个夹板6可同时放入批量光刻板，再将夹具整体放进清洗液中，当清理完一个光刻板后，拨动夹板6使第一滑块4和第二滑块5在第一滑槽2和第二滑槽3内移动，从而清洗多个光刻板，大大提高了清洗效率，清洗完成后，可拨动放置板11在活动孔8内移动使光刻板向上推出，从而方便工作人员拿取光刻板，夹装方便，增加了实用性。最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高效环保的光刻版清洗夹具，包括底盘（1），其特征在于：所述底盘（1）上表面的一侧开设有第一滑槽（2），所述底盘（1）上表面的另一侧开设有第二滑槽（3），所述第一滑槽（2）的内部活动连接有第一滑块（4），所述第二滑槽（3）的内部活动连接有第二滑块（5），所述第一滑块（4）和第二滑块（5）的上表面固定连接有夹板（6），所述夹板（6）上表面的中部开设有放置槽（7），所述夹板（6）的一侧开设有活动孔（8），所述活动孔（8）内壁开设有固定槽（9）。/n

【技术特征摘要】
1.一种高效环保的光刻版清洗夹具，包括底盘（1），其特征在于：所述底盘（1）上表面的一侧开设有第一滑槽（2），所述底盘（1）上表面的另一侧开设有第二滑槽（3），所述第一滑槽（2）的内部活动连接有第一滑块（4），所述第二滑槽（3）的内部活动连接有第二滑块（5），所述第一滑块（4）和第二滑块（5）的上表面固定连接有夹板（6），所述夹板（6）上表面的中部开设有放置槽（7），所述夹板（6）的一侧开设有活动孔（8），所述活动孔（8）内壁开设有固定槽（9）。


2.根据权利要求1所述的一种高效环保的光刻版清洗夹具，其特征在于：所述固定槽（9）的内部活动连接有固定块（10）。

【专利技术属性】
技术研发人员：明静，张敏，
申请(专利权)人：深圳微纳电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44