脱泡装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种脱泡装置，包括：闸板部，提供用于对粘附有薄膜的基板进行脱泡的脱泡空间；下部框架，配置于闸板部的下侧，用于支撑所述闸板部；上部框架，配置于闸板部的上侧，用于支撑所述闸板部；升降部，使闸板部沿上下方向移动，以使所述闸板部在密闭所述脱泡空间的密闭位置与开放所述脱泡空间的开放位置之间移动；限制部，在限制位置与允许位置之间移动，在所述限制位置，所述限制部通过被所述上部框架支撑而在所述密闭位置限制所述闸板部移动，在所述允许位置，通过解除对所述上部框架的支撑而允许所述闸板部移动；移动部，结合于所述限制部，使所述限制部沿垂直于所述上下方向的方向在所述限制位置与所述允许位置之间移动。向在所述限制位置与所述允许位置之间移动。向在所述限制位置与所述允许位置之间移动。

Deaeration unit

【技术实现步骤摘要】
脱泡装置


[0001]本专利技术涉及一种脱泡装置，该装置用于去除基板与薄膜之间的气泡。

技术介绍

[0002]通常，液晶显示器(LCD，Liquid Crystal Display)、有机发光显示器(OLED，Organic Light Emitting Diodes)、等离子显示器(PDP，Plasma Display Panel)、电泳显示器(EPD，Electrophoretic Display)等显示装置以及太阳能电池等，通过各种工序制造而成。这些制造工序中包括在基板(Substrate)上粘附薄膜(Film)的薄膜粘附工序。例如，液晶显示器可以通过在基板上粘附偏光薄膜的薄膜粘附工序制造而成。
[0003]在完成这种薄膜粘附工序之后，会进行去除基板与薄膜之间存在的气泡的脱泡工序。在进行这种脱泡工序时，将使用脱泡装置。脱泡装置使通过薄膜粘附工序而粘附有薄膜的基板在高温高压下保持规定时间，从而去除基板与薄膜之间的气泡。
[0004]现有技术的脱泡装置包括闸板部和升降部。
[0005]所述闸板部提供用于对粘附有薄膜的基板进行脱泡的脱泡空间。所述闸板部能够支撑粘附有薄膜的基板。所述闸板部可以包括多个闸板。此时，所述脱泡空间可以分别位于所述多个闸板之间。
[0006]所述升降部用于移动所述闸板部。所述升降部能够使所述闸板部沿上下方向移动，以使所述闸板部在密闭所述脱泡空间的密闭位置与开放所述脱泡空间的开放位置之间移动。在所述开放位置，能够进行从所述脱泡空间卸载粘附有薄膜的基板的卸载工序及向所述脱泡空间装载所述粘附有薄膜的基板的装载工序。
[0007]其中，在进行所述脱泡工序时，所述脱泡空间的内部压力增加，所述内部压力沿所述上下方向作用。当所述闸板部受到所述内部压力的影响而在所述密闭位置沿上下方向移动时，会导致所述脱泡空间的密闭解除，因此，会导致完成所述脱泡工序的基板的品质下降。
[0008]为了防止该情况发生，现有技术的脱泡装置需要额外的用于限制所述闸板部移动的构件，以在所述密闭位置承受作用于所述脱泡空间的内部压力。然而，在现有技术的脱泡装置中，额外的构件承受所述内部压力的耐受力差，因此，难以为所述脱泡工序营造稳定的工艺环境。另外，在现有技术的脱泡装置中，额外的构件沿与所述闸板部的移动方向相同的所述上下方向移动，以限制所述闸板部的移动。因此，现有技术的脱泡装置在所述上下方向上的整体尺寸增加，因而难以实现小型化。

技术实现思路

[0009]技术问题
[0010]本专利技术旨在解决上述问题，其提供一种脱泡装置，该脱泡装置能够提高在密闭位置上承受作用于脱泡空间的内部压力的耐受力。
[0011]本专利技术用于提供一种脱泡装置，该脱泡装置便于实现小型化。
[0012]技术方案
[0013]为了解决上述技术问题，本专利技术可以包括如下结构。
[0014]本专利技术的脱泡装置可以包括：闸板部，提供用于对粘附有薄膜的基板进行脱泡的脱泡空间；下部框架，配置于所述闸板部的下侧，用于支撑所述闸板部；上部框架，配置于所述闸板部的上侧，用于支撑所述闸板部；升降部，使所述闸板部沿上下方向移动，以使所述闸板部在密闭所述脱泡空间的密闭位置与开放所述脱泡空间的开放位置之间移动；限制部，在限制位置与允许位置之间移动，其中，在所述限制位置，所述限制部通过被所述上部框架支撑而在所述密闭位置限制所述闸板部移动，在所述允许位置，通过解除对所述上部框架的支撑而允许所述闸板部移动；以及移动部，其结合于所述限制部，使所述限制部沿垂直于所述上下方向的方向在所述限制位置与所述允许位置之间移动。
[0015]有益效果
[0016]本专利技术能够实现如下效果。
[0017]本专利技术能够提高承受脱泡空间的内部压力的耐受力，从而实现脱泡工序所需的稳定的工艺环境。
[0018]本专利技术能够降低限制部损坏乃至破损的可能性，从而不仅能够减少所述限制部的维修成本，还能够提高所述限制部的运行率。
[0019]本专利技术能够减小上下方向上的整体尺寸，从而便于实现小型化。
附图说明
[0020]图1是示出本专利技术的脱泡装置的闸板部的密闭位置的立体图。
[0021]图2是示出本专利技术的脱泡装置的限制部的允许位置的立体图。
[0022]图3是示出本专利技术的脱泡装置的闸板部的开放位置的立体图。
[0023]图4是根据图1中的I-I剖面线示出闸板部的密闭位置的侧剖面图。
[0024]图5是根据图3中的II-II剖面线示出闸板部的开放位置的侧剖面图。
[0025]图6是本专利技术的脱泡装置的限制部的立体图。
[0026]图7是示出本专利技术的脱泡装置的限制部的限制位置的侧剖面图。
[0027]图8是示出本专利技术的脱泡装置的限制部的允许位置的侧剖面图。
[0028]图9是以图1为基准从侧面观察到的本专利技术的脱泡装置的侧视图。
[0029]图10是以图2为基准从侧面观察到的本专利技术的脱泡装置的侧视图。
[0030]图11是以图3为基准从侧面观察到的本专利技术的脱泡装置的侧视图。
[0031]图12是示出本专利技术的脱泡装置的连接部的立体图。
[0032]图13是示出本专利技术的脱泡装置的插入部的侧剖面图。
[0033]图14是以密闭位置为基准示出本专利技术的脱泡装置的连接部插入到插入部中的状态的侧剖面图。
[0034]图15是以开放位置为基准示出本专利技术的脱泡装置的连接部插入到插入部中的状态的侧剖面图。
[0035]图16示出在闸板部包括下部板的实施例中下侧闸板部件与所述下部板之间的连接结构的主剖面图。
[0036]图17是示出本专利技术的脱泡装置的闸板移动部件朝向前进方向移动的状态的立体
图。
[0037]图18是示出本专利技术的脱泡装置的引导部件的局部立体图。
[0038]图19是根据图3的III-III剖面线示出的主剖面图。
[0039]图20是以图19为基准省略引导部件的图。
[0040]图21是为了对夹紧机构进行说明而放大示出图17的A部分的放大图。
[0041]附图标记：
[0042]1：脱泡装置
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2：闸板部
[0043]21：上部板
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22：闸板部件
[0044]221：闸板主体
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222：闸板移动部件
[0045]223：引导部件
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2231：第一引导主体
[0046]2232：第一引导滚轮
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2233：第二引导主体
[0047]2234：第二引导滚轮
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224：闸板引导槽
[0048]225：闸板引导面
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种脱泡装置，其特征在于，包括：闸板部，提供用于对粘附有薄膜的基板进行脱泡的脱泡空间；下部框架，配置于所述闸板部的下侧，用于支撑所述闸板部；上部框架，配置于所述闸板部的上侧，用于支撑所述闸板部；升降部，使所述闸板部沿上下方向移动，以使所述闸板部在密闭所述脱泡空间的密闭位置与开放所述脱泡空间的开放位置之间移动；限制部，其在限制位置与允许位置之间移动，其中，在所述限制位置，所述限制部通过被所述上部框架支撑而在所述密闭位置限制所述闸板部移动，在所述允许位置，通过解除对所述上部框架的支撑而允许所述闸板部移动；以及移动部，其结合于所述限制部，使所述限制部沿垂直于所述上下方向的方向在所述限制位置与所述允许位置之间移动。2.根据权利要求1所述的脱泡装置，其特征在于，所述限制部包括：限制部件，可移动地配置于所述闸板部所具备的上部板的上表面；以及第一旋转部件，可旋转地结合于所述限制部件的一侧，其中，随着所述限制部件移动，所述第一旋转部件与所述上部板的上表面接触并进行旋转。3.根据权利要求2所述的脱泡装置，其特征在于，所述限制部进一步包括可旋转地结合于所述限制部件的另一侧的第二旋转部件，其中，随着所述限制部件移动，所述第二旋转部件与所述上部框架接触并进行旋转。4.根据权利要求1所述的脱泡装置，其特征在于，所述限制部包括：限制部件，可移动地配置于所述闸板部所具备的上部板的上表面；以及限制面，在所述限制位置朝向所述上部框架的下表面，其中，所述限制面平行于所述上部框架的下表面。5.根据权利要求1所述的脱泡装置，其特征在于，所述限制部包括多个限制部件，所述多个限制部件彼此隔开，并在所述限制位置被所述上部框架支撑，其中，所述多个限制部件在所述限制位置被所述上部框架的彼此不同的部位支撑。6.根据权利要求1所述的脱泡装置，其特征在于，所述限制部包括限制部件，当所述限制部件位于所述允许位置时，对所述上部框架的支撑被解除，在所述允许位置，所述限制部件的上表面位于比所述上部框架的下表面更靠上侧的位置。7.根据权利要求1所述的脱泡装置，其特征在于，进一步包括连接部，所述连接部引导所述闸板部，以使所述闸板部在所述开放位置与所述密闭位置之间移动，所述闸板部包括：多个闸板部件，彼此隔开配置以形成多个脱泡空间；以及上部板，配置于所述多个闸板部件的上侧，其中，所述连接部将所述上部板与所述多个闸板部件中邻接配置于所述上部板的上侧闸板部件相互连接，同时将所述多个闸板部件相互连接，
所述升降部使所述上部板朝向下侧方向移动，从而使所述闸板部位于所述密闭位置，另外，使所述上部板朝向上侧方向移动，从而使所述闸板部位于所述开放位置。8.根据权利要求1所述的脱泡装置，其特征在于，进一步包括连接部，所述连接部引导所述闸板部，以使所述闸板部在所述开放位置与所述密闭位置之间移动，所述闸板部包括多个闸板部件，所述多个闸板部件彼此隔开配置以形成多个脱泡空间，所述多个闸板部件分别包括：闸板主体，与所述连接部连接；闸板移动部件，能够沿垂直于所述上下方向的前后方向移动；以及引导部件，配置于所述闸板主体与所述闸板移动部件之间，用于引导所述闸板移动部件沿所述前后方向移动。9.根据权利要求8所述的脱泡装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔闰光，李雨星，
申请(专利权)人：DAS株式会社，
类型：发明
国别省市：