机台的控制方法、装置、系统及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种机台的控制方法、装置、系统及存储介质，所述方法包括：监测机台在工作状态下保养参数的值，根据所述保养参数的值判断所述机台是否需要保养；控制需要保养的机台执行保养作业，监测所述机台在保养作业结束后保养参数的值，根据所述保养参数的值判断所述机台是否完成保养；对判断为未完成保养的机台执行保养参数重置作业。上述机台的控制方法、装置、系统及存储介质能够避未对机台的保养参数重置而导致保养参数持续累计，使得避免误触发保养排成系统将机台切换为保养状态，从而避免造成生产周期混乱，使得机台正确有效的保养的同时提升机台工作效率。的同时提升机台工作效率。的同时提升机台工作效率。

【技术实现步骤摘要】
机台的控制方法、装置、系统及存储介质


[0001]本申请涉及集成电路
，特别是涉及一种机台的控制方法、装置、系统及存储介质。

技术介绍

[0002]目前，生产制造所使用的制造执行系统(MES，Manufacturing Execution System)包括保养排成系统(PMS)及生产作业(MM)系统，如何通过保养排成系统对机台进行保养和通过生产作业系统控制机台运行，使得机台正确有效率的执行保养排成并使得机台运行达到产出最大效益对于生产制造尤为重要。
[0003]其中，机台在保养状态下，保养排成系统对机台执行保养作业。保养作业结束后需要对保养参数重置，如此才能完成保养，使得机台可以返回工作状态继续运行。
[0004]然而，传统技术对保养参数重置时存在失误的风险，导致保养参数持续累计，使得系统误判该机台再次达到保养门槛，从而误触发保养排成系统将机台切换为保养状态，造成生产周期混乱，效率低下。

技术实现思路

[0005]基于此，有必要针对现有技术对保养参数重置时存在失误的风险，导致保养参数持续累计，使得系统误判本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种机台的控制方法，其特征在于，包括：监测机台在工作状态下保养参数的值，根据所述保养参数的值判断所述机台是否需要保养；控制需要保养的机台执行保养作业，监测所述机台在保养作业结束后保养参数的值，根据所述保养参数的值判断所述机台是否完成保养；对判断为未完成保养的机台执行保养参数重置作业。2.根据权利要求1所述的机台的控制方法，其特征在于，所述机台在所述工作状态下的所述保养参数具有工作阈值，在所述工作状态下当监测到所述保养参数的值达到所述工作阈值时，控制所述机台由所述工作状态切换至保养状态；所述方法还包括：更新所述机台的切换时间，并记录所述切换时间更新的频次。3.根据权利要求1所述的机台的控制方法，其特征在于，还包括：当判断为所述机台完成保养时，控制所述机台由保养状态切换至所述工作状态，更新所述机台的保养时间，并记录所述保养时间更新的频次。4.根据权利要求1所述的机台的控制方法，其特征在于，还包括：所述机台执行保养参数重置作业结束时，更新所述机台的重置时间，并记录所述重置时间更新的频次。5.根据权利要求2所述的机台的控制方法，其特征在于，还包括：监测所述切换时间是否在第一时间间隔内被更新，以判断所述机台的工作状态是否异常。6.根据权利要求3所述的机台的控制方法，其特征在于，还包括：监测所述机台的保养时间是否在第二时间间隔内被更新，以判断所述机台的保养作业是否异常。7.一种机台的控制装置，其特征在于，包括：机台状态监测模块，用于监测机台在工作状态下保养参数的值，根据所述保养参数的值判断所述机台是否需要保养；保养作业监测模块，用于控制需要保养的机台执行保养作业，检测所述机台在保养作业结束后保养参数的值，根据所述保养参数的值判断所述机台是否完成保养；保养参数重置模块，用于对判断为未完成保养的机台执行保养参数重置作业。8.根据权利要求7所述的机台的控制装置，其特征在于，所述机台在所述工作状态下的所述保养参数具有工作阈值，在所述工作状态下所述机台状态监测模块当监测到所述保养参数的值达到所述工作阈值时，控制所述机台由所述工作状态切换至保养状态；所述机台状态监...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖帆伟，马永，张韬，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：