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机台的控制方法、装置、系统及存储介质制造方法及图纸
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文档序号:29202358
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本发明涉及一种机台的控制方法、装置、系统及存储介质,所述方法包括:监测机台在工作状态下保养参数的值,根据所述保养参数的值判断所述机台是否需要保养;控制需要保养的机台执行保养作业,监测所述机台在保养作业结束后保养参数的值,根据所述保养参数的值...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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