【技术实现步骤摘要】
能够实现八边形光敏芯片切割的方法
本专利技术属于半导体领域,涉及光电探测器制造技术,具体来说,是一种能够提升光敏芯片切割效率的方法。
技术介绍
现有行业中,多象限光电探测器产品制造工艺中,光敏芯片的外观都是比较规则的八边形形状,光敏芯片圆片制造过程中为提升效率单个芯片布局紧凑,芯片各切割道不能兼容同时切割,故光敏芯片的切割一般分为俩次来做,第一次切割成方形,第二次再切割成八边形。第二次切割成八边形的过程中,现在行业的通用做法是在蓝膜上贴上方形芯片,再在芯片的另外四个边方向沿切割道足条线切割,最后成品为八边形光敏芯片。由于要预留切割机刀片的下刀和收刀位置,故在蓝膜上贴的芯片数量有限,且不能兼容多个芯片的切割。在切割操作时,只能单个芯片和单条切割线切割,且设备是手动切割操作,生产效率极其低下。
技术实现思路
针对现有技术存在的切割八边形光敏芯片过程中存在的切割效率低的问题,本专利技术提供了一种能够实现八边形光敏芯片切割的方法,通过该方法能够实现多个芯片多个方向的同时切割,大大提升了芯片的切割效率。为实 ...
【技术保护点】
1.一种能够实现八边形光敏芯片切割的方法,其特征在于,包括:/n贴膜机(1),其具有一贴膜表面(11),所述贴膜表面(11)上开设有一环形沟槽(12),位于环形沟槽(12)外周的贴膜表面(11)上设有限位部件;/n蓝膜定位环(2),其具有与贴膜表面(11)贴合的环形压紧面(21)以及从环形压紧面(21)向下延伸并与环形沟槽(12)配合的压紧环(22),所述压紧环(22)设有与限位部件匹配的第一定位部件;/n辅助定位工装,所述辅助定位工装包括:/n工装外环(3),其内部具有一通孔,所述工装外环(3)上设有与限位部件匹配的第二定位部件;/n芯片定位板(4),其固定安装在工装外环 ...
【技术特征摘要】
1.一种能够实现八边形光敏芯片切割的方法,其特征在于,包括:
贴膜机(1),其具有一贴膜表面(11),所述贴膜表面(11)上开设有一环形沟槽(12),位于环形沟槽(12)外周的贴膜表面(11)上设有限位部件;
蓝膜定位环(2),其具有与贴膜表面(11)贴合的环形压紧面(21)以及从环形压紧面(21)向下延伸并与环形沟槽(12)配合的压紧环(22),所述压紧环(22)设有与限位部件匹配的第一定位部件;
辅助定位工装,所述辅助定位工装包括:
工装外环(3),其内部具有一通孔,所述工装外环(3)上设有与限位部件匹配的第二定位部件;
芯片定位板(4),其固定安装在工装外环(3)的通孔内,所述芯片定位板(4)上均匀开设有若干匹配芯片大小的方形放置孔(41);
所述能够实现八边形光敏芯片切割的方法包括如下步骤:
将蓝膜(6)贴合在贴膜机(1)的贴膜表面(11)上;
将蓝膜定位环(2)的环形压紧面(21)压在蓝膜(6)表面,同时确保压紧环(22)置入环形沟槽(12)内,调节蓝膜定位环(2)的位置使得第一定位部件与限位部件配合,将环形压紧面(21)贴合在蓝膜(6)表面确保蓝膜(6)的位置不会改变;
将辅助定位工装置于蓝膜定位环(2)正上方,通过调节辅助定位工装位置使得第二定位部件也与限位部件配合,从而确定若干方形放置孔(41)与蓝膜(6)的相对位置;
将预先切割的方形芯片(5)依次通过方形放置孔(41)贴在与所述方形放置孔(41)对应的蓝膜(6)位置上,待方形芯片(5)的贴合完成后,取下辅助定位工装;
利用预先设定好切割线路的切割机对蓝膜(6)上的方形芯片(5)进行切割,从而完成八边形光敏芯片切割。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述限位部件包括位于环形沟槽(12)外周的贴膜表面(11)上的第一定位柱(13)和第二定位柱(14),所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:谢龙富,陈远国,陈小江,
申请(专利权)人:重庆鹰谷光电股份有限公司,
类型:发明
国别省市:重庆;50
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。