调整方法及装置、调整设备和存储介质制造方法及图纸

一种调整方法、调整装置、调整设备和非易失性计算机可读存储介质。调整方法包括输入待测图像至检测模型，以输出所述待测图像的置信度；根据所述置信度确定调整系数，所述调整系数和所述置信度负相关；根据所述调整系数和预设的损失函数计算损失值；及根据所述损失值调整所述检测模型，以使得所述检测模型收敛。通过输入待测图像到检测模型，以输出待测图像的置信度，从而根据置信度确定调整系数，置信度越低(即待测图像越难)时，调整系数则越大，从而使得基于调整系数计算的损失值调整检测模型时，对检测模型的影响越大，从而提高检测模型对难样本的训练效果，即使难样本的数量较少，也能保证检测模型的准确性，从而防止漏检或过检。

【技术实现步骤摘要】
调整方法及装置、调整设备和存储介质
本申请涉及检测
，特别涉及一种调整方法、调整装置、调整设备和非易失性计算机可读存储介质。
技术介绍
目前，在对晶圆进行检测时，一般会采集晶圆的图像作为样本，但由于晶圆的不同类型的缺陷的出现几率不同，从而导致样本的难易程度不同，缺陷出现的几率越高，样本越多，则该类型的样本越简单，反之则越难，在对检测模型进行训练时，由于难样本的数量较少，使得检测模型对难样本的训练效果较差，从而导致检测模型在检测晶圆的缺陷时的准确性较低，容易出现漏检或过检。
技术实现思路
本申请提供了一种调整方法、调整装置、调整设备和非易失性计算机可读存储介质。本申请实施方式的调整方法包括输入待测图像至检测模型，以输出所述待测图像的置信度；根据所述置信度确定调整系数，所述调整系数和所述置信度负相关；根据所述调整系数和预设的损失函数计算损失值；及根据所述损失值调整所述检测模型，以使得所述检测模型收敛。本申请实施方式的调整装置包括第一输入输出模块、确定模块、计算模块和调整模块。所述第一输入输出模块用于输入待测图像至检测模型，以输出所述待测图像的置信度；所述确定模块用于根据所述置信度确定调整系数，所述调整系数和所述置信度负相关；所述计算模块用于根据所述调整系数和预设的损失函数计算损失值；及所述调整模块用于根据所述损失值调整所述检测模型，以使得所述检测模型收敛。本申请实施方式的调整设备包括处理器。所述处理器用于：输入待测图像至检测模型，以输出所述待测图像的置信度；根据所述置信度确定调整系数，所述调整系数和所述置信度负相关；根据所述调整系数和预设的损失函数计算损失值；及根据所述损失值调整所述检测模型，以使得所述检测模型收敛。本申请实施方式的一种包含计算机程序的非易失性计算机可读存储介质，当所述计算机程序被一个或多个处理器执行时，使得所述处理器执行所述调整方法。所述调整方法包括输入待测图像至检测模型，以输出所述待测图像的置信度；根据所述置信度确定调整系数，所述调整系数和所述置信度负相关；根据所述调整系数和预设的损失函数计算损失值；及根据所述损失值调整所述检测模型，以使得所述检测模型收敛。本申请的调整方法、调整装置、调整设备和非易失性计算机可读存储介质，通过输入待测图像到检测模型，以输出待测图像的置信度，从而根据置信度确定调整系数，置信度越低，表示检测模型对该待测图像的检测准确性越低，表示该待测图像越难，因此，置信度越低(即待测图像越难)时，调整系数则越大，从而使得基于调整系数计算的损失值调整检测模型时，对检测模型的影响越大，从而提高检测模型对难样本的训练效果，即使难样本的数量较少，也能保证检测模型的准确性，从而防止漏检或过检。本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。附图说明为了更清楚地说明本申请实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本申请某些实施方式的调整方法的流程示意图；图2是本申请某些实施方式的调整装置的模块示意图；图3是本申请某些实施方式的调整设备的平面示意图；图4是本申请某些实施方式的调整方法的流程示意图；图5是本申请某些实施方式的调整方法的原理示意图；图6是本申请某些实施方式的调整方法的流程示意图；图7是本申请某些实施方式的调整方法的流程示意图；图8是本申请某些实施方式的调整方法的流程示意图；图9至图13是本申请某些实施方式的调整方法的原理示意图；及图14是本申请某些实施方式的处理器和计算机可读存储介质的连接示意图。具体实施方式以下结合附图对本申请的实施方式作进一步说明。附图中相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。另外，下面结合附图描述的本申请的实施方式是示例性的，仅用于解释本申请的实施方式，而不能理解为对本申请的限制。请参阅图1至图3，本申请实施方式的调整方法包括以下步骤：011：输入待测图像至检测模型，以输出待测图像的置信度；012：根据置信度确定调整系数，调整系数和置信度负相关；013：根据调整系数和预设的损失函数计算损失值；及014：根据损失值调整检测模型，以使得检测模型收敛。本申请实施方式的调整装置10包括第一输入输出模块11、确定模块12、计算模块13和调整模块14。第一输入输出模块11用于输入待测图像至检测模型，以输出待测图像的置信度；确定模块12用于根据置信度确定调整系数，调整系数和置信度负相关；计算模块13用于根据调整系数和预设的损失函数计算损失值；调整模块14用于根据损失值调整检测模型，以使得检测模型收敛。也即是说，步骤011可以由第一输入输出模块11实现、步骤012可以由确定模块12执行、步骤013可以由计算模块13执行和步骤014可以由调整模块14执行。本申请实施方式的调整设备100包括处理器20。处理器20用于输入待测图像至检测模型，以输出待测图像的置信度；根据置信度确定调整系数，调整系数和置信度负相关；根据调整系数和预设的损失函数计算损失值；及根据损失值调整检测模型，以使得检测模型收敛。也即是说，步骤011、步骤012、步骤013和步骤014可以由处理器20执行。具体地，待测图像可通过调整设备100拍摄待测工件200获取，待测工件200可以是晶圆。调整设备100可以是测量机。可以理解，调整设备100的具体形式并不限于测量机，还可以是任意能够对待测工件200进行检测的设备，待测工件200也不限于晶圆。调整设备100包括处理器20、运动平台30和传感器40。处理器20和传感器40均可设置在运动平台30。运动平台30可用于承载待测工件200，运动平台30移动以带动传感器40移动，以使得传感器40采集待测工件200的信息，从而生成待测图像。例如，运动平台30包括XY运动平台31和Z运动平台32，传感器40设置在运动平台30上，具体为：传感器40设置在Z运动平台32，其中，XY运动平台31用于控制待测工件200沿水平面移动，改变待测工件200和传感器40在水平面的相对位置，Z运动平台32用于控制传感器40沿垂直水平面的方向移动，如此，通过XY运动平台31和Z运动平台32配合实现传感器40相对待测工件200的三维位置(即，在水平面的相对位置和垂直水平面方向的相对位置)。可以理解，运动平台30并不限于上述结构，只需能够改变传感器40相对待测工件200的三维位置即可。传感器40可以是一个或多个，多个传感器40可以是不同类型的传感器40，如传感器40可包括可见光摄像头、深度摄像头等。本实施方式中，传感器40为可见光摄像头。在待测图像时，可将待本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种调整方法，其特征在于，包括：/n输入待测图像至检测模型，以输出所述待测图像的置信度；/n根据所述置信度确定调整系数，所述调整系数和所述置信度负相关；/n根据所述调整系数和预设的损失函数计算损失值；及/n根据所述损失值调整所述检测模型，以使得所述检测模型收敛。/n

【技术特征摘要】
1.一种调整方法，其特征在于，包括：
输入待测图像至检测模型，以输出所述待测图像的置信度；
根据所述置信度确定调整系数，所述调整系数和所述置信度负相关；
根据所述调整系数和预设的损失函数计算损失值；及
根据所述损失值调整所述检测模型，以使得所述检测模型收敛。


2.根据权利要求1所述的调整方法，其特征在于，在所述置信度为0.5时，所述调整系数为1。


3.根据权利要求1所述的调整方法，其特征在于，所述根据所述置信度确定调整系数，包括：
根据所述置信度和预设的调整阈值确定所述调整系数。


4.根据权利要求3所述的调整方法，其特征在于，所述根据所述置信度和预设的调整阈值确定所述调整系数，包括：
在所述调整系数大于所述调整阈值时，确定所述调整阈值为所述调整系数。


5.根据权利要求3所述的调整方法，其特征在于，还包括：
获取多个不同的所述调整阈值对应的多个所述检测模型；
输入预设的验证集至多个所述检测模型，以输出多个识别率；
所述根据所述置信度和预设的调整阈值确定所述调整系数，包括：
根据所述置信度和所述识别率最高的所述调整阈值确定所述调整系数。


6.根据权利要求1所述的调整方法，其特征在于，所述根据所述损失值调整所述检测模型，以使得所述检测模型收敛，包括：
输入预设的验证集到所述检测...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，肖安七，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44