一种片盒的位置校准设备制造技术

本申请公开一种片盒的位置校准设备，包括支撑板组件、调整机构和检测机构，其中，支撑板组件连接调整机构，支撑板组件用于承载片盒；检测机构用于检测片盒的实际位置；调整机构用于在检测机构检测到实际位置不在预设位置的情况下，驱动片盒在支撑板组件上进行偏摆运动和/或平移运动，以使片盒从实际位置运动至预设位置。本申请能够实现对片盒的准确定位，进而保证取片位置的准确，有效防止取片失败或者机械手撞片等异常。

【技术实现步骤摘要】
一种片盒的位置校准设备
本专利技术涉及半导体
，尤其涉及一种片盒的位置校准设备。
技术介绍
片盒的位置校准设备广泛应用于半导体
，比如进行硅取样时，需要将片盒先放置于位置校准设备上调整好水平度，再操作机械手从片盒中取出硅片。但是目前的片盒位置校准设备，其校准操作都是在取样之前进行，如果取样过程中片盒的位置发生了偏差，则需要人工暂停重新进行调整，这样将会影响生产效率，如果偏差没有被及时发现，可能造成取片失败或机械手撞片，致使硅片或者机械手损坏。
技术实现思路
本专利技术公开一种片盒的位置校准设备，以解决目前的位置校准设备无法实时进行位置调整的问题。为了解决上述问题，本专利技术采用下述技术方案：一种片盒的位置校准设备，包括支撑板组件、调整机构和检测机构，其中：所述支撑板组件连接于所述调整机构，所述支撑板组件用于承载所述片盒；所述检测机构用于检测所述片盒的实际位置；所述调整机构用于在所述检测机构检测到所述实际位置不在预设位置的情况下，驱动片盒在所述支撑板组件上进行偏摆运动和/或平移运动，以使所述片盒从所述实际位置运动至所述预设位置。。本专利技术采用的技术方案能够达到以下有益效果：通过在位置校准设备上设置调整机构和检测机构，能够通过检测机构的检测，以及通过调整机构的调整，将片盒的实际位置调整至预设位置，从而实现对片盒的准确定位，进而保证取片位置的准确，有效防止取片失败或者机械手撞片等异常。附图说明此处所说明的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，构成本专利技术的一部分，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：图1为相关技术中采用的位置校准设备结构图；图2为本专利技术实施例公开的位置校准设备结构图；图3为本专利技术实施例公开的支撑杆组件结构图；图4为本专利技术实施例公开的第三驱动机构结构图；图5为本专利技术实施例公开的第四驱动机构结构图；图6为本专利技术实施例公开的位置校准设备出现偏摆的状态图；图7为本专利技术实施例公开的对图6进行偏摆调整之后的状态图；图8为本专利技术实施例公开的位置校准设备出现移动的状态图；图9为本专利技术实施例公开的对图8进行平移调整之后的状态图。附图标记说明：1＇-放置板、2＇-支撑柱、3＇-卡子、4＇-调平螺母、1-底板、2-第一测距传感器、4-第二测距传感器、3-第三测距传感器、5-角度传感器、Q-平移调整机构、100-第一驱动机构、6-第一驱动电机、7-第一丝杠、8-第一滑台、200-第二驱动机构、9-第二驱动电机、10-第二丝杠、11-第二滑台、12-支撑杆组件、12A-第一支撑头、12B-支撑杆、12C-第二支撑头、P-偏摆调整机构、300-第三驱动机构、13-第三丝杠、14-第三拉杆、14A-第三拉杆头、15-第三伺服电机、21-第三滑台、400-第四驱动机构、16-第四丝杠、17-第四拉杆、17A-第四拉杆头、18-第四伺服电机、22-第四滑台、19-支撑板组件、19A-承载板、19B-托板、20-限位件、23-片盒、OX-第一轴线、OY-第二轴线、O1-第一方向、O2-第二方向、O3-第三方向、X-横向、Y-纵向。具体实施方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术具体实施例及相应的附图对本专利技术技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。以下结合附图，详细说明本专利技术各个实施例公开的技术方案。首先介绍相关技术中使用的校准装置。如图1所示，在相关技术中，放置板1＇用于放置片盒23，卡子3＇用于对片盒23进行卡接固定，支撑柱2＇用于支撑放置板1＇，支撑柱2＇上的调平螺母4＇用于调整放置板1＇的水平度，使用时首先将片盒23放置在放置板1＇上，并使其被卡子3＇进行固定，然后通过调平螺母4＇对放置板1＇进行调平，待对片盒23的固定和调平都完毕后，再通过机械手对片盒23中的硅片进行取样。但是采用上述装置对放置板1＇进行调整，调整方式单一，同时也无法实时知晓所片盒23于放置板1＇上出现的误差，这样可能导致取到的硅片和机械手不同心，进而导致机台报警，从而影响产能，如果该误差过大，更可能造成取片失败或机械手撞片，致使硅片或者机械手损坏。针对上述问题，开发了本申请的校准装置，下面进行介绍。请参考图2～图9，本申请公开了一种位置校准设备，该校准设备可以用于对片盒23进行位置校准，其主要部件包括支撑板组件19、调整机构和检测机构，下面对这些零部件逐一介绍。支撑板组件19作为中间载体使用，支撑板组件19的外形通常为一个矩形的平板，以便于调整机构的连接和片盒23的放置。检测机构通常设置为传感器，能够用于检测片盒23的实际位置，以便对片盒23的实际位置进行实时监控。调整机构作为整个位置校准设备的核心部件，能够提供驱动力，从而实现片盒23的位置调整。在检测机构检测到实际位置不在预设位置的情况下，调整机构可用于驱动片盒23从实际位置运动至预设位置，具体来说调整机构驱动片盒23在支撑板组件19上进行偏摆运动和/或平移运动，以使片盒23由实际位置运动至所述预设位置。其中预设位置为片盒23在取片过程中取片位置。这样在片盒23取样过程中，检测机构提供实时监控，并将监控到的片盒23实际位置偏离预设位置的数据进行反馈，调整机构再根据接收到的数据对片盒23位置实时调整，使片盒23的实际位置复位至预设位置，进而可保证片盒23位置的正确性以及在取样过程中防止撞片。在更为具体的实施方案中，检测机构包括角度检测设备，比如角度检测设备可以是陀螺仪、角度传感器等。而片盒23的实际位置包括实际角度，片盒23的预设位置包括预设角度，角度检测设备可以用于检测片盒23的实际角度。其中预设角度可以为平行于地面的水平方位，当片盒23相对于水平方向发生了倾斜时，即代表片盒23的实际角度与预设角度不重合，该异常便被角度检测设备进行监控，并作为异常数据反馈给调整机构。而调整机构可以包括偏摆调整机构P，偏摆调整机构P与支撑板组件19相连。支撑板组件19具有轴线，轴线为支撑板组件19的转动提供了基础，具体可以通过在支撑板组件19穿设转轴形成轴线，也可以通过其他方式形成轴线。如图6和图7所示，在实际角度不为预设角度时，即片盒23相对于水平方位出现了偏斜，角度检测设备可将此种情况作为信号反馈至偏摆调整机构P，使偏摆调整机构P驱动支撑板组件19绕轴线转动，在支撑板组件19绕轴线转动时，片盒23可随支撑板组件19进行绕轴线的偏摆运动。这样片盒23就能够通过偏摆运动从实际角度转动至预设角度，即片盒23回复至水平方位。综上，片盒23本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种片盒(23)的位置校准设备，其特征在于：包括支撑板组件(19)、调整机构和检测机构，其中：/n所述支撑板组件(19)连接所述调整机构，所述支撑板组件(19)用于承载所述片盒(23)；/n所述检测机构用于检测所述片盒(23)的实际位置；/n所述调整机构用于在所述检测机构检测到所述实际位置不在预设位置的情况下，驱动所述片盒(23)在所述支撑板组件(19)上进行偏摆运动和/或平移运动，以使所述片盒(23)从所述实际位置运动至所述预设位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种片盒(23)的位置校准设备，其特征在于：包括支撑板组件(19)、调整机构和检测机构，其中：
所述支撑板组件(19)连接所述调整机构，所述支撑板组件(19)用于承载所述片盒(23)；
所述检测机构用于检测所述片盒(23)的实际位置；
所述调整机构用于在所述检测机构检测到所述实际位置不在预设位置的情况下，驱动所述片盒(23)在所述支撑板组件(19)上进行偏摆运动和/或平移运动，以使所述片盒(23)从所述实际位置运动至所述预设位置。


2.根据权利要求1所述的位置校准设备，其特征在于，所述检测机构包括角度检测设备，所述角度检测设备用于检测所述片盒(23)的实际角度，所述实际位置包括所述实际角度，所述预设位置包括预设角度；
所述调整机构包括偏摆调整机构(P)，所述偏摆调整机构(P)与所述支撑板组件(19)相连，所述支撑板组件(19)具有轴线；
所述偏摆调整机构(P)用于在所述实际角度不为所述预设角度时，驱动所述支撑板组件(19)绕所述轴线转动，以使所述片盒(23)随所述支撑板组件(19)进行所述偏摆运动，并使所述片盒(23)从所述实际角度摆动至所述预设角度。


3.根据权利要求2所述的位置校准设备，其特征在于：所述轴线包括互为相交的第一轴线(OX)和第二轴线(OY)，
所述偏摆调整机构(P)可驱动所述支撑板组件(19)绕所述第一轴线(OX)或所述第二轴线(OY)进行转动。


4.根据权利要求3所述的位置校准设备，其特征在于：所述位置校准设备还包括支撑杆组件(12)和底板(1)，所述底板(1)和所述支撑板组件(19)间隔设置，所述支撑杆组件(12)的第二端转动连接于所述支撑板组件(19)，所述支撑杆组件(12)的第一端转动连接于所述底板(1)；
所述偏摆调整机构(P)包括第三驱动机构(300)和第四驱动机构(400)，所述第三驱动机构(300)的第一端连接所述底板(1)，所述第三驱动机构(300)的第二端转动连接所述支撑板组件(19)；所述第四驱动机构(400)的第一端连接所述底板(1)，所述第四驱动机构(400)的第二端转动连接所述支撑板组件(19)，第三驱动机构(300)和第四驱动机构(400)均可进行伸缩运动，
所述第三驱动机构(300)的第二端与所述支撑杆组件(12)的第二端的连线构成所述第二轴线(OY)；所述第四驱动机构(400)的第二端与所述支撑杆组件(12)的第二端的连线构成所述第一轴线(OX)；
所述支撑板组件(19)可随所述第三驱动机构(300)的伸缩运动绕所述第一轴线(OX)进行转动，以及可随所述第四驱动机构(400)的伸缩运动绕所述第二轴线(OY)进行转动。


5.根据权利要求4所述的位置校准设备，其特征在于：所述第三驱动机构(300)包括沿自身伸出方向依次连接的第三伺服电机(15)、第三丝杠(13)、第三滑台(21)和第三拉杆(14)；
所述第三驱动机构(300)的第一端通过所述第三伺服电机(15)连接所述底板(1)，所述第三驱动机构(300)的第二端通过所述第三拉杆(14)转动连接所述支撑板组件(19)，所述第三丝杠(13)的两端分别转动连接所述第三伺服电机(15)和螺旋配合于所述第三滑台(21)。


6.根据权利要求4所述的位置校准设备，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹子剑，赵海洋，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11