【技术实现步骤摘要】
显示器件的蒸镀装置和蒸镀方法
本申请涉及显示领域，具体涉及一种显示器件的蒸镀装置和蒸镀方法。
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiode，OLED)显示器件，是一种主动发光显示器件，由于其具有制备工艺简单、成本低、高对比度、广视角、低功耗等优点，已成为主流显示技术。在制备显示器件的过程时，通常采用真空蒸镀技术。具体地，蒸镀装置中的蒸镀源对蒸镀材料进行加热，使蒸镀材料转换为气态并喷射到待蒸镀的器件的表面，使气化后的蒸镀材料沉积在待蒸镀的器件表面以形成膜层。在相关技术中，一个蒸镀装置用于制造一个膜层，造成蒸镀装置的蒸镀效率较低。申请内容本申请实施例提供一种显示器件的蒸镀装置和蒸镀方法，其能够在一个扫描过程中至少蒸镀两个膜层，提高了蒸镀效率。第一方面，本申请实施例提供一种显示器件的蒸镀装置，其包括：蒸镀基台，用于固定待蒸镀器件；蒸镀单元，与蒸镀基台相对设置且能够沿第一方向移动，蒸镀单元包括用于在待蒸镀器件上蒸镀不同材料的第一蒸镀源和第二蒸镀源...
【技术保护点】
1.一种显示器件的蒸镀装置，其特征在于，包括：/n蒸镀基台，用于固定待蒸镀器件；/n蒸镀单元，与所述蒸镀基台相对设置且能够沿第一方向移动，所述蒸镀单元包括用于在所述待蒸镀器件上蒸镀不同材料的第一蒸镀源和第二蒸镀源，所述第一蒸镀源和所述第二蒸镀源沿所述第一方向设置；在同一时刻，所述第一蒸镀源在所述待蒸镀器件上的第一蒸镀区域包括沿所述第一方向设置的第一部分和第二部分，所述第二蒸镀源在所述待蒸镀器件上的第二蒸镀区域与所述第二部分重叠；所述第二蒸镀区域和所述第二部分用于在所述待蒸镀器件上形成第一膜层，所述第一部分用于在所述第一膜层上形成第二膜层。/n
【技术特征摘要】
1.一种显示器件的蒸镀装置，其特征在于，包括：
蒸镀基台，用于固定待蒸镀器件；
蒸镀单元，与所述蒸镀基台相对设置且能够沿第一方向移动，所述蒸镀单元包括用于在所述待蒸镀器件上蒸镀不同材料的第一蒸镀源和第二蒸镀源，所述第一蒸镀源和所述第二蒸镀源沿所述第一方向设置；在同一时刻，所述第一蒸镀源在所述待蒸镀器件上的第一蒸镀区域包括沿所述第一方向设置的第一部分和第二部分，所述第二蒸镀源在所述待蒸镀器件上的第二蒸镀区域与所述第二部分重叠；所述第二蒸镀区域和所述第二部分用于在所述待蒸镀器件上形成第一膜层，所述第一部分用于在所述第一膜层上形成第二膜层。
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，
所述蒸镀单元还包括第三蒸镀源，所述第三蒸镀源设置于所述第一蒸镀源的远离所述第二蒸镀源的一侧；所述第三蒸镀源在所述待蒸镀器件上的第三蒸镀区域位于所述第一部分的远离第二部分的一侧，且所述第三蒸镀区域用于在所述第二膜层上形成第三膜层；
或者
所述蒸镀单元还包括第三蒸镀源，所述第三蒸镀源设置于所述第二蒸镀源的远离所述第一蒸镀源的一侧；所述第三蒸镀源在所述待蒸镀器件上的第三蒸镀区域位于所述第二部分的远离第一部分的一侧，且所述第三蒸镀区域用于在所述待蒸镀器件上形成第三膜层，所述第一膜层形成于所述第三膜层上。
3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，
所述蒸镀单元还包括与所述蒸镀基台相对设置的移动载台，所述第一蒸镀源、所述第二蒸镀源和所述第三蒸镀源固定于所述移动载台的面向所述蒸镀基台的一侧；
所述蒸镀装置还包括动力单元，连接于所述移动载台且用于驱动所述移动载台沿所述第一方向移动；
优选地，所述蒸镀装置还包括真空腔室，所述蒸镀基台、所述蒸镀单元以及所述动力单元容纳于所述真空腔室内。
4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括连接于所述蒸镀单元的限制单元，所述限制单元具有第一开口和第二开口，所述第一开口用于限定所述第一蒸镀区域，所述第二开口用于限定所述第二蒸镀区域。
5.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述限制单元包括沿所述第一方向设置的第一限制板和第二限制板；
所述第一限制板包括第一连接部和第一倾斜部，所述第一连接部连接所述蒸镀单元和所述第一倾斜部，所述第一倾斜部朝向所述第二限制板倾斜；
所述第二限制板包括第二连接部和第二倾斜部，所述第二连接部连接所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王虎，许瑾，赵伟，曹方义，夏曾强，王宏宇，周小康，蔡明瀚，魏现鹤，艾经伟，张小庆，
申请(专利权)人：云谷固安科技有限公司，
类型：发明
国别省市：河北;13
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