【技术实现步骤摘要】
一种晶圆级音叉晶体振子频率激光微调装置测试平台
本申请涉及微型音叉晶体生产用设备，尤其涉及一种晶圆级音叉晶体振子频率激光微调装置测试平台。
技术介绍
随着通讯技术的发展，电子器件向小型化，微型化方向发展，应用与电子系统的实时时钟信号的音叉型石英晶体谐振器，采用光刻半导体工艺制程，音叉晶体微型晶片在整片晶圆片上制作完成，在制作过程中由于腐蚀、电极成型等加工误差会导致频率不一致，需要在晶圆片上对每个音叉晶片进行激光调频，晶圆片为石英材质，厚度薄，易碎，需要特殊的测试平台放置，并精准对位。
技术实现思路
针对上述问题，本技术的技术方案是：一种晶圆级音叉晶体振子频率激光微调装置测试平台，其组成包括滑轨一，其特征在于：所述滑轨上安装有可以在其上横向滑动的滑轨二，所述滑轨二上安装有可以在其上纵向滑动的滑块，所述滑块上固定安装有升降电机，所述升降电机的顶端固定安装有测试平台，所述测试平台为空心结构，其上表面上均匀布置有气孔，其侧壁上通过抽气管连接抽风机。为了更好的调整晶片的位置，所述测试平台相邻的两边固定安装有挡板，另外一组相邻的两边安装有晶圆定位机构，所述晶圆定位机构包括固定板、气缸和探针，所述固定板水平固定安装在测试平台的侧壁上，所述气缸水平固定安装在固定板上，所述气缸的推杆端固定安装有探针，所述探针伸出时紧贴测试平台的上表面。本技术的有益效果是：1、本技术通过滑轨一、滑轨二和升降电机的共同作用，可有效调整晶片在横向和纵向上的位置，定位更加精准，利于提高加工效率和速度。2、本...
【技术保护点】
1.一种晶圆级音叉晶体振子频率激光微调装置测试平台，其组成包括滑轨一（1），其特征在于：所述滑轨一（1）上安装有可以在其上横向滑动的滑轨二（2），所述滑轨二（2）上安装有可以在其上纵向滑动的滑块（3），所述滑块（3）上固定安装有升降电机（4），所述升降电机（4）的顶端固定安装有测试平台（7），所述测试平台（7）为空心结构，其上表面上均匀布置有气孔（11），其侧壁上通过抽气管（5）连接抽风机。/n
【技术特征摘要】
1.一种晶圆级音叉晶体振子频率激光微调装置测试平台，其组成包括滑轨一（1），其特征在于：所述滑轨一（1）上安装有可以在其上横向滑动的滑轨二（2），所述滑轨二（2）上安装有可以在其上纵向滑动的滑块（3），所述滑块（3）上固定安装有升降电机（4），所述升降电机（4）的顶端固定安装有测试平台（7），所述测试平台（7）为空心结构，其上表面上均匀布置有气孔（11），其侧壁上通过抽气管（5）连接抽风机。
2....
【专利技术属性】
技术研发人员：汪晓虎，谢凡，黄大勇，鲁壑，李天宝，
申请(专利权)人：随州泰华电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42
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