转接组件和气相沉积设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种转接组件和气相沉积设备，其中，转接组件包括承载架；连接部，连接部设置于承载架上，连接部上设置有多个连接件；液体分配组件，液体分配组件通过连接件与连接部相连接；气体分配组件，气体分配组件通过连接件与连接部相连接。本实用新型专利技术提供的转接组件，实现了将液体分配组件和气体分配组件的集中布置，进而实现了通过转接组件对液体分配组件和气体分配组件的集中转接，从而使得在对设备进行安装时，无需针对气体或液体传输管路和分配组件进行单独布置与安装，直接将液体和气体的传输接口连接于液体分配组件以及气体分配组件的入口，即可实现液体和气体分配管路的安装布置，简化了设备的安装过程，降低了安装成本。

【技术实现步骤摘要】
转接组件和气相沉积设备
本技术涉及工程设备
，具体而言，涉及一种转接组件和一种气相沉积设备。
技术介绍
相关技术中，气相沉积设备中的多个元件均需要冷却液体对其冷却，或者需要压缩空气为其提供动力，因此在安装设备时，需要提供多条气体或液体传输管路，同时配备多个气体或液体传输所需的元器件，导致设备装配过程中线路的布置与安装复杂，安装成本也比较高。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。为此，本技术的第一目的在于提供一种转接组件。本技术的第二目的在于提供一种气相沉积设备。为有鉴于此，本技术的第一方面提供了转接组件，包括：承载架；连接部，连接部设置于承载架上，连接部上设置有多个连接件；液体分配组件，液体分配组件通过连接件与连接部相连接；气体分配组件，气体分配组件通过连接件与连接部相连接。本技术提供的转接组件，包括承载架和连接部，其中，连接部设置于承载架上，以使承载架对连接部起到固定作用，连接部上还设置有多个连接件；进一步地，转接组件还包括液体分配组件和气体分配组件，液体分配组件和气体分配组件均通过连接件与连接部相连接，以实现液体分配组件与气体分配组件集中于连接部上，进而实现了通过转接组件对气体以及液体分配组件的集中转接。本技术提供的转接组件，将液体分配组件和气体分配组件通过连接件与连接部相连接，同时，将连接部设置于承载架上，从而实现了将液体分配组件和气体分配组件的集中布置，进而实现了通过转接组件对液体分配组件和气体分配组件的集中转接，从而使得在对设备进行安装时，无需针对气体或液体传输管路和分配组件进行单独布置与安装，直接将液体和气体的传输接口连接于液体分配组件以及气体分配组件的入口，即可实现液体和气体分配管路的安装布置，简化了设备的安装过程，降低了安装成本。同时，转接组件无需固定在特定位置，可以自由移动，从而使得液体和气体管路的位置安排更加灵活，进一步地提高了设备安装的灵活性，方便设备安装。另外，本技术提供的上述实施例中的转接组件还可以具有如下附加技术特征：在上述技术方案中，进一步地，连接部包括：连接板，连接板与承载架相连接；多个连接件分别设置于连接板的不同位置。在该技术方案中，连接部可以为与承载架相连接的连接板，同时将多个连接件设置于连接板上的不同位置，从而使得液体分配组件和气体分配组件可以同时连接于连接板上，并且不会对彼此造成影响，进一步保证了设备的液体分配和气体分配的稳定。具体地，多个连接件可以设置于连接板同一侧的不同位置，以使得液体分配组件和气体分配组件在连接板上依次有序排列，以方便工作人员进行操作，多个连接件也可以根据设备的结构分别设置于连接板的两侧，从而便于液体分配组件和气体分配组件的连接，以提高安装的灵活性。在上述任一技术方案中，进一步地，液体分配组件包括：第一管体，第一管体上设置有多个出液口；第一阀门，第一阀门设置于出液口上。在该技术方案中，液体分配组件可以包括第一管体，通过第一管体实现液体的传输，进一步地，在第一管体上设置有多个出液口，从而使得液体在流经第一管体之后根据设备的具体需有对液体进行进一步的分配。具体地，当出液口不启用时，可以通过封液盖将出液口密封，当出液口启用时，在每个出液口上均可以设置第一阀门，并在第一阀门上连接外接管路，通过调节第一阀门实现出液口的开启与关闭，同时还可以通过调节第一阀门开口的大小来调节出液口排出液体的流量，以满足设备的需求。进一步地，在第一管体的入口处，可以设置连接法兰，通过法兰将设备的液体输入管路与液体分配组件相连接，以实现液体的引入。安装过程简单成本低廉。在上述任一技术方案中，进一步地，液体分配组件还包括：第二阀门，设置于第一管体的入口与出液口之间；过滤器，设置于第二阀门与出液口之间；压力表，设置于第一管体上；温度表，设置于第一管体上。在该技术方案中，通过设置于第一管体入口与出液口之间的第二阀门，可以实现通过对第二阀门进行调节，以实现液体输入管路与第一管体之间的通断，以及调节液体进入液体分配组件的流量的大小。进一步地，通过在第一管体上设置过滤器，可以对流入液体分配组件的液体进行过滤，去除其中的杂质，从而避免对管体内部造成堵塞，保证转接组件的稳定性。进一步地，在第一管体上还可以设置有压力表和温度表，用于对第一管体内的液体的压力和温度进行监测，防止压力或温度过高造成液体分配组件运行故障，保证转接组件的稳定性。进一步地，第一管体上还可以设置有报警元件，并且将报警元件与温度表和压力表相连接，在温度表或压力表的示值超过预设阈值时，报警元件发出报警信息，以提示相关操作人员及时调整第一管体内液体的压力或温度，进一步避免了转接组件在运行过程中发生故障。进一步地，通过在第一管体上设置第二阀门、过滤器、压力表以及温度表等元器件，可以使得设备安装时，直接将液体输入主管道连接于第一管体上即可，无需在单独配备液体传输的相关元器件，进一步地简化了设备的安装过程。在上述任一技术方案中，进一步地，气体分配组件包括：第二管体；分气块，与第二管体连通，分气块上设置有多个出气口；连接头，设置于出气口上。在该技术方案中，气体分配组件可以包括第二管道和与第二管道相连通的分气块，具体地，设备运行时所需的气体可以通过第二管道传输至分气块内，在经过分气块的分配，通过分气块上的多个出气口分别传输至设备的不同位置，从而实现了气体的分配。进一步地，每个出气口上还可以设置有连接头，通过连接头将分气块的出气口与气体传输管道相连接，以便进一步对气体进行传输分配。具体地，连接头可以采用快接插头，进一步方便了气体传输管道的连接。在上述任一技术方案中，进一步地，气体分配组件还包括：第三阀门，设置于第二管体的入口与分气块之间；调压阀，设置于第三阀门与分气块之间；油雾分离器，设置于调压阀与分气块之间。在该技术方案中，通过在第二管体的入口与分气块之间设置第三阀门，可以实现通过调节第三阀门的通断来实现气体输入管路与第二管体之间的通断，同时，还可以通过调节第三阀门开口的大小，来调节气体传输的流量。进一步地，可以通过设置于第二管体上的调压阀，实现对第二管体内气体压力值的调节与监测显示，避免第二管体内气体压力过大导致转接组件出现故障。进一步地，通过在第二管体上设置油雾分离器，可以实现对第二管体中气体中水或者油等杂质的过滤，避免杂质对第二管体本身或者各个连接处造成腐蚀，增加了转接组件的使用寿命。进一步地，还可以在第二管体上设置报警元件，并且将报警元件与调压阀相连接，在调压阀所显示的气体压力值超过预设阈值时，报警元件发出报警，以提示相关操作人员及时调节第二管体内气体的压力值，避免造成转接组件发生故障。进一步地，通过在第二管体上设置第三阀门、调压阀以及油雾分离器等元器件，可以使得设备安装时，直接将液体输入主管道连接于第一管体上即可，无需在单独配备液体传输的相关元器件，进一步地简化了设备的安装过程。在上述任一技术方案中，进一步地，液体分配组本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种转接组件，其特征在于，包括：/n承载架；/n连接部，所述连接部设置于所述承载架上，所述连接部上设置有多个连接件；/n液体分配组件，所述液体分配组件通过所述连接件与所述连接部相连接；/n气体分配组件，所述气体分配组件通过所述连接件与所述连接部相连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种转接组件，其特征在于，包括：
承载架；
连接部，所述连接部设置于所述承载架上，所述连接部上设置有多个连接件；
液体分配组件，所述液体分配组件通过所述连接件与所述连接部相连接；
气体分配组件，所述气体分配组件通过所述连接件与所述连接部相连接。


2.根据权利要求1所述的转接组件，其特征在于，所述连接部包括：
连接板，所述连接板与所述承载架相连接；
多个所述连接件分别设置于所述连接板的不同位置。


3.根据权利要求1所述的转接组件，其特征在于，所述液体分配组件包括：
第一管体，所述第一管体上设置有多个出液口；
第一阀门，所述第一阀门设置于所述出液口上。


4.根据权利要求3所述的转接组件，其特征在于，所述液体分配组件还包括：
第二阀门，设置于所述第一管体的入口与所述出液口之间；
过滤器，设置于所述第二阀门与所述出液口之间；
压力表，设置于所述第一管体上；
温度表，设置于所述第一管体上。


5.根据权利要求3所述的转接组件，其特征在于，所述气体分配组件包括：
第二管体；
分气块，与所述第二管体连通，所述分气块上设置有多个出气...

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，梁建军，柳昆鹏，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32