下载转接组件和气相沉积设备的技术资料

文档序号:29098438

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本实用新型提供了一种转接组件和气相沉积设备,其中,转接组件包括承载架;连接部,连接部设置于承载架上,连接部上设置有多个连接件;液体分配组件,液体分配组件通过连接件与连接部相连接;气体分配组件,气体分配组件通过连接件与连接部相连接。本实用新型...
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