一种多功能硅片打磨台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多功能硅片打磨台，涉及到打磨台领域，包括底盘，所述底盘的上表面中部开设有凹槽，所述凹槽的内部设置有放置板，所述放置板的下表面中部通过轴承活动连接有螺纹杆，所述凹槽的槽底中部贯穿开设有螺纹槽，所述螺纹杆的底端贯穿螺纹槽并延伸至底盘的下方，所述底盘的下表面中部固定连接有刻度板，所述刻度板位于螺纹杆的一侧，所述凹槽的内腔两侧均设置有夹持机构。本实用新型专利技术通过在放置板的底部设置有螺纹杆，螺纹杆与螺纹槽配合能够调节放置板的高度，进而调节硅片的打磨厚度，在底盘的下表面设置有刻度板，刻度板与螺纹杆配合提高了硅片达膜厚度调整的精度，进而提高了本装置的打磨精度。

【技术实现步骤摘要】
一种多功能硅片打磨台
本技术涉及木地板领域，特别涉及一种多功能硅片打磨台。
技术介绍
硅片切割的厚度一般只有几毫米甚至更薄，由于切割精度的原因以及后续工艺要求的要求，这样的厚度一致性较差，需要进行打磨处理，打磨时一般将硅片固定在打磨底盘上，现有打磨底盘只能针对特定厚度进行打磨，当打磨厚度变化时需要更换打磨底盘，费时费力，而能够调节打磨厚度的打磨盘，其夹持硅片的效果较差，在打磨的过程中不能将硅片稳定的夹持，降低了硅片打磨的精度。因此，专利技术一种多功能硅片打磨台来解决上述问题很有必要。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种多功能硅片打磨台，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种多功能硅片打磨台，包括底盘，所述底盘的上表面中部开设有凹槽，所述凹槽的内部设置有放置板，所述放置板的下表面中部通过轴承活动连接有螺纹杆，所述凹槽的槽底中部贯穿开设有螺纹槽，所述螺纹杆的底端贯穿螺纹槽并延伸至底盘的下方，所述底盘的下表面中部固定连接有刻度板，所述刻度板位于螺纹杆的一侧，所述凹槽的内腔两侧均设置有夹持机构，所述底盘的两端均固定连接有气缸，所述气缸的输出端通过推杆与夹持机构连接，所述底盘的上方设置有安装板，所述安装板的上表面两端均固定连接有液压缸，所述液压缸的输出端通过推杆与底盘的上表面固定连接，所述安装板的上表面中部固定连接有打磨机，所述打磨机输出端的打磨头位于凹槽的正上方。优选的，所述放置板的下表面边缘固定连接有多个呈环形阵列分布的导向杆，所述凹槽的槽底边缘开设有多个呈环形阵列分布的导向槽，所述导向杆位于导向槽的内部。优选的，所述夹持机构的底端固定连接有限位滑块，所述凹槽的槽底两侧均开设有限位滑槽，所述限位滑块位于限位滑槽的内部。优选的，所述夹持机构包括活动板，所述活动板的底端与限位滑块固定连接，所述活动板的一侧中部与气缸上的推杆固定连接。优选的，所述活动板的另一侧固定连接有夹持板，所述夹持板的外侧粘接有橡胶凸起。优选的，所述夹持板的另一侧固定连接有燕尾滑块，所述活动板的另一侧开设有燕尾滑槽，所述燕尾滑块位于燕尾滑槽的内部，且燕尾滑块的底端通过复位弹簧与燕尾滑槽的内底壁连接。本技术的技术效果和优点：1、本技术通过在放置板的底部设置有螺纹杆，螺纹杆与螺纹槽配合能够调节放置板的高度，进而调节硅片的打磨厚度，在底盘的下表面设置有刻度板，刻度板与螺纹杆配合提高了硅片达膜厚度调整的精度，进而提高了本装置的打磨精度。2、本技术通过在放置板的两侧设置有夹持机构，夹持机构通过气缸配合能够将硅片夹持，夹持机构上的夹持板设置为活动结构，能够根据硅片的升降而移动，始终对硅片进行夹持，提高了本装置硅片的打磨精度。附图说明图1为本技术的底盘结构剖面示意图。图2为本技术的整体结构示意图。图3为本技术的夹持机构结构剖面示意图。图中：1、底盘；2、凹槽；3、放置板；4、螺纹杆；5、螺纹槽；6、刻度板；7、夹持机构；8、气缸；9、安装板；10、液压缸；11、打磨机；12、导向杆；13、导向槽；14、限位滑块；15、限位滑槽；16、活动板；17、夹持板；18、橡胶凸起；19、燕尾滑块；20、燕尾滑槽；21、复位弹簧。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本技术提供了如图1-3所示的一种多功能硅片打磨台，如图1所示，包括底盘1，底盘1的上表面中部开设有凹槽2，凹槽2的内部设置有放置板3，放置板3的下表面中部通过轴承活动连接有螺纹杆4，凹槽2的槽底中部贯穿开设有螺纹槽5，螺纹杆4的底端贯穿螺纹槽5并延伸至底盘1的下方，螺纹杆4与螺纹槽5配合能够带动放置板3上下移动，底盘1的下表面中部固定连接有刻度板6，刻度板6位于螺纹杆4的一侧，刻度板6与螺纹杆4配合提高了硅片的调节精度，进而提高了硅片的打磨精度，凹槽2的内腔两侧均设置有夹持机构7，底盘1的两端均固定连接有气缸8，气缸8的输出端通过推杆与夹持机构7连接，放置板3的下表面边缘固定连接有多个呈环形阵列分布的导向杆12，凹槽2的槽底边缘开设有多个呈环形阵列分布的导向槽13，导向杆12位于导向槽13的内部，导向杆12和导向槽13配合对放置板3起到了导向的作用，使得放置板3保持竖直上下移动，夹持机构7的底端固定连接有限位滑块14，凹槽2的槽底两侧均开设有限位滑槽15，限位滑块14位于限位滑槽15的内部，限位滑块14和限位滑槽15配合使得夹持机构7保持水平移动，使得夹持机构7能够将硅片稳定夹持。如图2所示，底盘1的上方设置有安装板9，安装板9的上表面两端均固定连接有液压缸10，液压缸10的输出端通过推杆与底盘1的上表面固定连接，液压缸10带动安装板9的移动距离是固定的，安装板9的上表面中部固定连接有打磨机11，打磨机11输出端的打磨头位于凹槽2的正上方，打磨机11能够对硅片进行打磨工作。如图3所示，夹持机构7包括活动板16，活动板16的底端与限位滑块14固定连接，活动板16的一侧中部与气缸8上的推杆固定连接，活动板16的另一侧固定连接有夹持板17，两个夹持板17配合能够将硅片夹持限位，夹持板17的外侧粘接有橡胶凸起18，橡胶凸起18的设置一方面对硅片起到了保护的作用，另一方面提高了夹持板17的夹持效果，夹持板17的另一侧固定连接有燕尾滑块19，活动板16的另一侧开设有燕尾滑槽20，燕尾滑块19位于燕尾滑槽20的内部，燕尾滑块19和燕尾滑槽20配合使得夹持板17保持竖直上下移动，进而保证了硅片的打磨精度，且燕尾滑块19的底端通过复位弹簧21与燕尾滑槽20的内底壁连接，复位弹簧21的设置使得夹持板17在移动后能够自动复位。本技术工作原理：本装置在工作时，首先将硅片放到放置板3上，然后启动气缸8，气缸8通过推杆带动夹持机构7移动，直至夹持机构7上的夹持板17与硅片接触，两个夹持板17配合将硅片夹持限位，然后拧动螺纹杆4，螺纹杆4与螺纹槽5配合带动放置板3上下移动，放置板3在导向杆12和导向槽13的作用下保持竖直上下移动，放置板3带动硅片上下移动，调节硅片的打磨精度，底盘1下表面的刻度板6与螺纹杆4配合能够精确的调节硅片的打磨厚度，硅片在移动时带动夹持板17上下移动，使得夹持板17带动燕尾滑块19在燕尾滑槽20内上下移动，将夹持板17保持竖直上下移动，进一步提高了硅片打磨的精度。最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本技术的精本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多功能硅片打磨台，包括底盘(1)，其特征在于：所述底盘(1)的上表面中部开设有凹槽(2)，所述凹槽(2)的内部设置有放置板(3)，所述放置板(3)的下表面中部通过轴承活动连接有螺纹杆(4)，所述凹槽(2)的槽底中部贯穿开设有螺纹槽(5)，所述螺纹杆(4)的底端贯穿螺纹槽(5)并延伸至底盘(1)的下方，所述底盘(1)的下表面中部固定连接有刻度板(6)，所述刻度板(6)位于螺纹杆(4)的一侧，所述凹槽(2)的内腔两侧均设置有夹持机构(7)，所述底盘(1)的两端均固定连接有气缸(8)，所述气缸(8)的输出端通过推杆与夹持机构(7)连接，所述底盘(1)的上方设置有安装板(9)，所述安装板(9)的上表面两端均固定连接有液压缸(10)，所述液压缸(10)的输出端通过推杆与底盘(1)的上表面固定连接，所述安装板(9)的上表面中部固定连接有打磨机(11)，所述打磨机(11)输出端的打磨头位于凹槽(2)的正上方。/n

【技术特征摘要】
1.一种多功能硅片打磨台，包括底盘(1)，其特征在于：所述底盘(1)的上表面中部开设有凹槽(2)，所述凹槽(2)的内部设置有放置板(3)，所述放置板(3)的下表面中部通过轴承活动连接有螺纹杆(4)，所述凹槽(2)的槽底中部贯穿开设有螺纹槽(5)，所述螺纹杆(4)的底端贯穿螺纹槽(5)并延伸至底盘(1)的下方，所述底盘(1)的下表面中部固定连接有刻度板(6)，所述刻度板(6)位于螺纹杆(4)的一侧，所述凹槽(2)的内腔两侧均设置有夹持机构(7)，所述底盘(1)的两端均固定连接有气缸(8)，所述气缸(8)的输出端通过推杆与夹持机构(7)连接，所述底盘(1)的上方设置有安装板(9)，所述安装板(9)的上表面两端均固定连接有液压缸(10)，所述液压缸(10)的输出端通过推杆与底盘(1)的上表面固定连接，所述安装板(9)的上表面中部固定连接有打磨机(11)，所述打磨机(11)输出端的打磨头位于凹槽(2)的正上方。


2.根据权利要求1所述的一种多功能硅片打磨台，其特征在于：所述放置板(3)的下表面边缘固定连接有多个呈环形阵列分布的导向杆(12)，所述凹槽(2)的槽底边缘开设有多个呈环形阵列分...

【专利技术属性】
技术研发人员：张新河，
申请(专利权)人：张新河，
类型：新型
国别省市：上海;31