【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅板的磨削工艺方法
本专利技术属于机械加工领域,具体涉及一种碳化硅板的磨削工艺方法。
技术介绍
碳化硅具有强度大、抗冲击、耐腐蚀、耐高温等优良的理化性能,因此被广泛应用于国防军工及民用的高温炉窑构件、碳化硅板、衬板、支撑件、反射镜等器件中。碳化硅板毛坯表面比较粗糙,通常粗糙度Ra为3.2μm,难以满足高性能器件的使用要求,为此,需对其进行进一步的精密加工。目前,针对碳化硅的加工方法最常见的为化学机械抛光和研磨,但化学机械抛光一般只能加工尺寸较小的碳化硅晶片,加工毛坯的精度一般为纳米级,故不适合尺寸较大、精度较低的碳化硅板加工;研磨加工也主要针对的是高精密零件的超精加工,去除量非常少,效率较低,且需要调制专用的研磨膏。因此,传统的化学机械抛光和研磨加工均不适合精度较低的碳化硅板精密加工,尤其不适用于大尺寸的碳化硅板精密加工。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种碳化硅板的磨削工艺方法,以解决碳化硅板的精密加工问题,克服现有技术的缺陷。本专利技术可实现原始质量较差的大尺寸碳化硅板的精密加工,使其表面粗糙度Ra从3.2μm降低至0.4-0.2μm。为达到上述目的,本专利技术采用如下技术方案:一种碳化硅板的磨削工艺方法,包括以下步骤:步骤一:将碳化硅板粘贴固定在磨床的工作台上;步骤二:采用圆形金刚石砂轮,并使之从碳化硅板的最外边缘处开始进行磨削,磨削过程中同时喷射磨削液;步骤三:使工作台沿着碳化硅板的Y轴方向进行来回移动,且每次移动距离为L+3mm,其 ...
【技术保护点】
1.一种碳化硅板的磨削工艺方法,其特征在于:包括以下步骤:/n步骤一:将碳化硅板粘贴固定在磨床的工作台上;/n步骤二:采用圆形金刚石砂轮,并使之从碳化硅板的最外边缘处开始进行磨削,磨削过程中同时喷射磨削液;/n步骤三:使工作台沿着碳化硅板的Y轴方向进行来回移动,且每次移动距离为L+3mm,其中L为碳化硅板的长度;/n步骤四:工作台每沿着碳化硅板的Y轴方向移动完一次后,砂轮就沿着碳化硅板的X轴方向进给一次,直至将碳化硅板整个平面磨削完。/n
【技术特征摘要】
1.一种碳化硅板的磨削工艺方法,其特征在于:包括以下步骤:
步骤一:将碳化硅板粘贴固定在磨床的工作台上;
步骤二:采用圆形金刚石砂轮,并使之从碳化硅板的最外边缘处开始进行磨削,磨削过程中同时喷射磨削液;
步骤三:使工作台沿着碳化硅板的Y轴方向进行来回移动,且每次移动距离为L+3mm,其中L为碳化硅板的长度;
步骤四:工作台每沿着碳化硅板的Y轴方向移动完一次后,砂轮就沿着碳化硅板的X轴方向进给一次,直至将碳化硅板整个平面磨削完。
2.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:张振宇,廖龙兴,周晨曦,周俊瑞,
申请(专利权)人:江苏宇瑞仕高端智能装备科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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