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一种多功能硅片打磨台制造技术
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下载一种多功能硅片打磨台的技术资料
文档序号:29073609
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本实用新型公开了一种多功能硅片打磨台,涉及到打磨台领域,包括底盘,所述底盘的上表面中部开设有凹槽,所述凹槽的内部设置有放置板,所述放置板的下表面中部通过轴承活动连接有螺纹杆,所述凹槽的槽底中部贯穿开设有螺纹槽,所述螺纹杆的底端贯穿螺纹槽并延...
该专利属于张新河所有,仅供学习研究参考,未经过张新河授权不得商用。
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