【技术实现步骤摘要】
一种具有创新电互连结构的微镜装置及制作方法
[0001]本专利技术涉及微机电系统领域，尤其涉及一种一种具有创新电互连结构的微镜装置及制作方法。
技术介绍
[0002]自1980年第一款扫描式硅镜发布以来，微机电系统， microelectromechanical systems，以下简称MEMS，被广泛应用于光学扫描领域，并发展出大量的技术及产品。光学扫描领域已经成为了MEMS研究的重要方向。而随着技术的发展，在过去的十年间，微型投影技术和众多的医学成像技术的应用，成为了当前MEMS光学扫描装置，尤其是激光扫描装置发展的主要方向。微型投影技术的发展，促使了一系列新型产品的出现，比如手机大小的微型激光投影仪或者带有激光投影功能的智能手机、驾驶车辆时车内放置的可用于显示导航信息的抬头显示器HUD，虚拟现实技术VR、增强现实技术AR等在内的各种可穿戴设备等。
[0003]现有的MEMS微镜，以形成电隔离槽的方式，使微镜的各器件层结构间处于电隔离状态。常见的电隔离槽有两种，一种是分隔式电隔离槽，通过深刻蚀工艺刻蚀器件层，使器...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具有创新电互连结构的微镜装置，其特征在于，包括框架、连接装置、电互连装置和电隔离装置，所述框架包括第一框架(110)和第二框架(120)，所述第一框架(110)活动置于所述第二框架(120)内部，所述连接装置一端设置在所述第一框架(110)上，另一端设置在所述第二框架(120)上，所述电隔离装置将所述框架划分为多个电隔离区间，所述电互连装置的端部位于不同的所述电隔离区间内；所述电互连装置包括介质层(130)和金属线(140)，所述介质层(130)和所述金属线(140)堆叠排布在所述框架上，所述介质层(130)靠近所述框架设置。2.根据权利要求1所述的具有创新电互连结构的微镜装置，其特征在于，还包括镜面(101)，所述镜面(101)的一组对边上设置有第一动梳齿(114)，另一对边上固定设置有第一扭转轴(111)，所述第一扭转轴(111)连接所述第一框架(110)和所述镜面(101)。3.根据权利要求2所述的具有创新电互连结构的微镜装置，其特征在于，所述第一框架(110)内框架靠近所述第一动梳齿(114)的一侧设置有第一静梳齿(115)，所述第一静梳齿(115)与所述第一动梳齿(114)构成梳齿对结构，所述第一框架(110)与所述第一扭转轴(111)连接处设置有锚点，所述锚点上设置有焊盘，所述第一框架(110)垂直于所述第一扭转轴(111)的外框架上设置有第二动梳齿(124)。4.根据权利要求3所述的具有创新电互连结构的微镜装置，其特征在于，所述第一静齿梳(115)上还依次设置有绝缘层和金属层，所述绝缘层靠近所述第一静齿梳(115)设置。5.根据权利要求4所述的具有创新电互连结构的微镜装置，其特征在于，所述第二框架(120)的内框架上固定设置有第二静梳齿(125)，所述第二静梳齿(125)与所述第二动梳齿(124)构成梳齿对结构，所述第二框架(120)的内部为空腔(118)，所述镜面(101)和所述第一框架(110)均设置于所述空腔(118)上方。6.根据权利要求5所述的具有创新电互连结构的微镜装置，其特征在于，所述电隔离装置包括第一电隔离槽(117)和第二电隔离槽(127)，所述第一电隔离槽(117)位于所述框架上，所述第二电隔离槽(127)设置于所述连接装置和所述第二框架之间。7.根据权利要求6所述具有创新电互连结构的微镜装置，其特征在于，所述连接装置包括第二扭转轴(121)和若干弹性部件(122)，所述第二扭转轴(121)一端固定设置在所述第一框架(110)外框架上，另一端设置在所述第二框架(120)内框架上，所述第二扭转轴(121)垂直于所述第一扭转轴(111)，所述若干弹性部件(122)一端设置在所述第一框架(110)上，另一端设置在所述第二框架(120)上，所述若干弹性部件(122)与所述第一框架(110)和所述第二框架(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：马宏，
申请(专利权)人：觉芯电子无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：
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