一种具有镜面振幅放大功能的微镜制造技术

本发明专利技术涉及一种具有镜面振幅放大功能的微镜，包括依次设置的衬底层、掩埋层和器件层，器件层上设置有镜面、至少一个弹性件和至少一个驱动结构，镜面通过弹性件与驱动结构相连；驱动结构包括驱动板，驱动板上设置有多个刻蚀通孔，刻蚀通孔用于减小驱动板运动时的空气阻尼。本发明专利技术提供的具有镜面振幅放大功能的微镜可实现更大的镜面偏转幅度，其主要功能性结构适用于各种驱动方式的微镜。适用于各种驱动方式的微镜。适用于各种驱动方式的微镜。

【技术实现步骤摘要】
一种具有镜面振幅放大功能的微镜


[0001]本专利技术涉及微机电系统(MEMS:Micro-electromechanical SYstems)
，具体涉及一种具有镜面振幅放大功能的微镜。

技术介绍

[0002]自1980年第一款扫描式硅镜发布以来，微机电系统(MEMS:Micro-electromechanical SYstems)，被广泛应用于光学扫描领域，并发展出大量的技术及产品。光学扫描领域已经成为了MEMS研究的重要方向。而随着技术的发展，在过去的十年间，微型投影技术和众多的医学成像技术的应用，成为了当前MEMSS光学扫描装置，尤其是激光扫描装置发展的主要方向。微型投影技术的发展，促使了一系列新型产品的出现，比如手机大小的微型激光投影仪或者带有激光投影功能的智能手机、驾驶车辆时车内放置的可用于显示导航信息的抬头显示器HUD，虚拟现实技术VR、增强现实技术AR等在内的各种可穿戴设备等。
[0003]现有的MEMS微镜，其镜面通过延伸出的扭转轴与固定的锚点相连，悬挂在背腔结构结构上方。其中，扭转轴通常设置在镜面的轴线上。并且本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有镜面振幅放大功能的微镜，其特征在于，包括依次设置的衬底层、掩埋层和器件层，所述器件层上设置有镜面、至少一个弹性件和至少一个驱动结构，所述镜面通过所述弹性件与所述驱动结构相连；所述驱动结构包括驱动板，所述驱动板上设置有多个刻蚀通孔，所述刻蚀通孔用于减小驱动板运动时的空气阻尼。2.根据权利要求1所述的具有镜面振幅放大功能的微镜，其特征在于，所述至少一个驱动结构包括第一驱动结构，所述第一驱动结构包括第一驱动板、第一锚点、至少一个第一悬臂梁和两个相对设置的第一固定框架；所述第一驱动板和所述第一锚点设置于两个所述第一固定框架之间，所述第一驱动板位于所述镜面和所述第一锚点之间；所述第一驱动板通过所述第一悬臂梁与所述第一锚点相连，所述第一驱动板通过弹性件与所述镜面相连；所述第一驱动结构还包括第一梳齿对结构，所述第一梳齿对结构包括第一动梳齿和第一静梳齿，所述第一动梳齿分布于所述第一驱动板朝向所述第一固定框架的两侧，所述第一静梳齿分布于所述第一固定框架上，所述第一动梳齿与所述第一静梳齿相互交错分布构成第一平面梳齿对或第一垂直梳齿对。3.根据权利要求2所述的具有镜面振幅放大功能的微镜，其特征在于，所述至少一个驱动结构还包括第二驱动结构，所述第二驱动结构与所述第一驱动结构关于所述镜面沿Y方向的对称轴相对称，所述第二驱动结构包括第二驱动板、第二锚点、至少一个第二悬臂梁和两个第二固定框架，两个第二固定框架相对设置，所述第二驱动板和所述第二锚点设置于两个所述第二固定框架之间，所述第二驱动板位于所述镜面和所述第二锚点之间；所述第二驱动板通过所述第二悬臂梁与所述第二锚点相连，所述第二驱动板通过所述弹性件与所述镜面相连；所述第二驱动结构还包括第二梳齿对结构，所述第二梳齿对结构包括第二动梳齿和第二静梳齿，所述第二动梳齿分布于所述第二驱动板朝向所述第二固定框架的两侧，所述第二静梳齿分布于所述第二固定框架上，所述第二动梳齿与所述第二静梳齿相互交错分布构成第二平面梳齿对或第二垂直梳齿对。4.根据权利要求3所述的具有镜面振幅放大功能的微镜，其特征在于，所述镜面、所述第一驱动板、所述第二驱动板、所述弹性件、所述第一动梳齿、所述第二动梳齿、所述第一悬臂梁和所述第二悬臂梁构成所述微镜的可动结构，所述可动结构、所述第一静梳齿和所述第二静梳齿的下方均设置有背腔结构。5.根据权利要求4所述的具有镜面振幅放大功能的微镜，其特征在于，所述背腔结构内的底面设置有与所述刻蚀通孔相配合的第三静梳齿，所述第三静梳齿的数量小于或等于所述刻蚀通孔的数量，所述刻蚀通孔能够随着...

【专利技术属性】
技术研发人员：马宏，
申请(专利权)人：觉芯电子无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：