一种玻璃衬底的MEMS扫描振镜制造技术

本实用新型专利技术专利属于光学MEMS、3D传感技术、激光扫描、激光传感技术领域，尤其涉及一种玻璃衬底的MEMS扫描振镜。本实用新型专利技术一种玻璃衬底的MEMS扫描振镜，包括玻璃衬底、单晶硅、光学反射膜和引线pad；玻璃衬底位于单晶硅的底部，光学反射膜和引线pad设置在单晶硅的上部；单晶硅上刻蚀加工出硅扭转梁、MEMS驱动器和硅通气孔。本实用新型专利技术设计的一种玻璃衬底的MEMS扫描振镜，采用玻璃衬底取代单晶硅衬底，从而利用硅

【技术实现步骤摘要】
一种玻璃衬底的MEMS扫描振镜


[0001]本技术专利属于光学MEMS、3D传感技术、激光扫描、激光传感
，尤其涉及一种玻璃衬底的MEMS扫描振镜。

技术介绍

[0002]激光扫描或者光学扫描技术是激光应用的关键技术，通过扫描振镜可以实现特定图案的激光扫描，从而实现动态结构光的生成、激光投影成像、激光三维测量、激光3D打印、激光加工等应用。基于MEMS技术的激光扫描器具有扫描速度快、单芯片多轴扫描、体积小、功耗低、成本低等许多优势，成为低功率激光扫描的主要技术，具有广阔的市场前景。
[0003]MEMS扫描振镜目前已得到广泛的研究，目前市场上多家公司可以提供MEMS扫描振镜芯片。这些公司的MEMS扫描振镜芯片都采用了基于硅衬底的MEMS扫描振镜技术，其制作技术都采用了硅
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硅键合技术。硅
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硅键合技术是MEMS体硅工艺中的重要键合技术之一，其技术上很成熟，但其工艺要求很高、生产效率低，例如对键合硅表面要求苛刻的光洁度、平坦度和清洁度，其工艺温度高达1000
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>1100度，导致其本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种玻璃衬底的MEMS扫描振镜，其特征在于：包括玻璃衬底、单晶硅、光学反射膜和引线pad；玻璃衬底位于单晶硅的底部，光学反射膜和引线pad设置在单晶硅的上部；单晶硅上刻蚀加工出硅扭转梁、MEMS驱动器和硅通气孔。2.根据权利要求1所述的一种玻璃衬底的MEMS扫描振镜，其特征在于：所述MEMS驱动器为静电梳齿驱动器。3.根据权利要求1所述的一种玻璃衬底的MEMS扫描振镜，其特征在于：所述MEMS驱动器为压电扭转驱动器。4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭俊兴，杜先鹏，金传广，
申请(专利权)人：苏州小优智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：