【技术实现步骤摘要】
MEMS扫描镜
[0001]本专利技术涉及激光投影
更具体地，涉及一种MEMS扫描镜。
技术介绍
[0002]采用MEMS(Micro Electro Mechanical System，微机电系统)扫描镜的激光投影仪，具有低成本、小型化等优点，具有广阔的市场前景。
[0003]传统的MEMS扫描镜常采用扭杆致动方式，反射镜被两个、三个或更多的支撑该反射镜的扭杆带动倾斜并扭转，以执行光学扫描，采用共振驱动来实现大的扫描角度，需要通过结构设计将反射镜倾斜运动的共振频率与驱动频率相匹配。
[0004]在驱动MEMS扫描镜或监控反射镜角度时，为了维持共振状态，目前的方式是设置用于感测反射镜偏转角度的角度传感器，驱动器根据角度传感器输出的信号控制施加到致动器的驱动电压或驱动频率，来驱动反射镜旋转。对于传统的扭杆型MEMS扫描镜，角度传感器为在扭杆边缘位置设置的采用压电效应或压阻效应的角度传感器。
[0005]对于采用压阻效应的角度传感器，其为压阻式压力传感器，包括在扭杆边缘设置的四个压敏电阻元件，其中...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种MEMS扫描镜，包括反射镜、用于使所述反射镜绕旋转轴旋转的压电致动器及反射镜偏转角度检测装置，其特征在于，所述反射镜偏转角度检测装置包括压阻式压力传感器，所述压阻式压力传感器包括：第一导电类型导电半导体层；形成在所述半导体层中具有一个第二导电类型的压阻区域；形成在所述半导体层中所述压阻区域周围的保护区域，具有第一导电类型且杂质浓度大于所述半导体层的杂质浓度，形成在所述半导体层上的绝缘层，以及形成在绝缘层上的金属布线，在该压阻区域设置四个端子，使该传感器具有X
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ducer配置且压阻区域具有被移除的中心区域；第一导电类型为n型，所述第二导电类型为p型；或者，所述第一导电类型为p型，所述第二导电类型为n型。2.根据权利要求1所述的MEMS扫描镜，其特征在于，所述压阻区域的形状为圆形、矩形或菱形。3.根据权利要求1所述的MEMS扫描镜，其特征在于，所述被移除的中...
【专利技术属性】
技术研发人员：林育菁，畠山庸平，薛高鹏，
申请(专利权)人：歌尔股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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