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本实用新型专利属于光学MEMS、3D传感技术、激光扫描、激光传感技术领域，尤其涉及一种玻璃衬底的MEMS扫描振镜。本实用新型一种玻璃衬底的MEMS扫描振镜，包括玻璃衬底、单晶硅、光学反射膜和引线pad；玻璃衬底位于单晶硅的底部，光学反射膜和...
该专利属于苏州小优智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州小优智能科技有限公司授权不得商用。

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