MEMS扫描镜制造技术

本发明专利技术公开一种MEMS扫描镜。该MEMS扫描镜的一具体实施方式包括反射镜、用于使反射镜绕旋转轴旋转的压电致动器及反射镜旋转角度感测装置，反射镜旋转角度感测装置为压阻式压力传感器，该传感器包括：第一导电类型导电半导体层；形成在半导体层中具有第二导电类型的一个压阻区域和第一至第四电极接触区域，该压阻区域具有对称形状，第一电极接触区域和第二电极接触区域位于该压阻区域对称轴方向的两端，第三电极接触区域和第四电极接触区域位于压阻区域两侧关于该对称轴对称设置；形成在半导体层中包围压阻区域的环形保护区域，该环形保护区域不与压阻区域接触，具有第一导电类型且杂质浓度大于半导体层的杂质浓度。该实施方式可提升感测精度。可提升感测精度。可提升感测精度。

【技术实现步骤摘要】
MEMS扫描镜


[0001]本专利技术涉及激光投影
更具体地，涉及一种MEMS扫描镜。

技术介绍

[0002]采用MEMS(Micro Electro Mechanical System，微机电系统)扫描镜的激光投影仪，具有低成本、小型化等优点，具有广阔的市场前景。
[0003]传统的MEMS扫描镜常采用扭杆致动方式，反射镜被两个、三个或更多的支撑该反射镜的扭杆带动倾斜并扭转，以执行光学扫描，采用共振驱动来实现大的扫描角度，需要通过结构设计将反射镜倾斜运动的共振频率与驱动频率相匹配。
[0004]在驱动MEMS扫描镜或监控反射镜角度时，为了维持共振状态，目前的方式是设置用于感测反射镜偏转角度的角度传感器，驱动器根据角度传感器输出的信号控制施加到致动器的驱动电压或驱动频率，来驱动反射镜旋转。对于传统的扭杆型MEMS扫描镜，角度传感器为在扭杆边缘位置设置的采用压电效应或压阻效应的角度传感器。
[0005]一方面，对于采用压阻效应的角度传感器，其为压阻式压力传感器，包括在扭杆边缘设置的四个压敏电阻元件，其中，压敏电阻元本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS扫描镜，包括反射镜、用于使所述反射镜绕旋转轴旋转的压电致动器及反射镜旋转角度感测装置，其特征在于，所述反射镜旋转角度感测装置为压阻式压力传感器，所述压阻式压力传感器包括：第一导电类型导电半导体层；形成在所述半导体层中具有第二导电类型的一个压阻区域和第一至第四电极接触区域，该压阻区域具有对称形状，第一电极接触区域和第二电极接触区域位于该压阻区域对称轴方向的两端，第三电极接触区域和第四电极接触区域位于压阻区域两侧关于该对称轴对称设置；形成在所述半导体层中包围所述压阻区域的环形保护区域，该环形保护区域不与所述压阻区域接触，具有第一导电类型且杂质浓度大于所述半导体层的杂质浓度。2.根据权利要求1所述的MEMS扫描镜，其特征在于，该压力传感器进一步包括形成在所述半导体层上的绝缘层；形成在所述绝缘层上的分别与第一至第四电极接触区域电接触的第一至第四电极，以惠斯顿电桥方式电连接；以及形成在所述绝缘层上与环形保护区域电接触的保护电极，所述保护电极用于施加保护电压以使所述压阻区域与环形保护区域形成的二极管被反向偏置。3.根据权利要求1所述的MEMS扫描镜，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：林育菁，畠山庸平，
申请(专利权)人：歌尔股份有限公司，
类型：发明
国别省市：