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本发明涉及一种具有镜面振幅放大功能的微镜，包括依次设置的衬底层、掩埋层和器件层，器件层上设置有镜面、至少一个弹性件和至少一个驱动结构，镜面通过弹性件与驱动结构相连；驱动结构包括驱动板，驱动板上设置有多个刻蚀通孔，刻蚀通孔用于减小驱动板运动时...
该专利属于觉芯电子（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过觉芯电子（无锡）有限公司授权不得商用。

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