下载一种具有创新电互连结构的微镜装置及制作方法的技术资料

文档序号:29008220

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本发明公开了一种具有创新电互连结构的微镜装置及制作方法,包括框架、连接装置、电互连装置、电隔离装置和镜面,所述框架包括第一框架和第二框架,所述第一框架与第二框架通过连接装置活动连接,所述电隔离装置将所述框架划分为多个电隔离区间,所述电互连装...
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